COMBI
真空泵浦機組COMBI 真空泵浦機組是完美的真空產生器，可滿足幾乎每個工業製程的精確要求。其結合真空助力器和前級泵浦（backing pump），組成一個精巧的單元。
由於機械助力泵浦和前級泵浦的組合方式多種多樣，工作壓力和抽氣速率可根據幾乎所有製程條件和泵送介質進行精確調整。適用於各種不同的應用。這些應用包括鍍膜、熱處理、真空乾燥、層壓、真空包裝和裝載互鎖腔室（load-lock Chamber）。
根據真空助力器和前級泵浦的組合及結構尺寸，可提供不同的設計版本。真空泵浦和機械助力泵浦可在基礎框架上直接以法蘭連接在一起，或裝配在機架上。
我們的產品組合中提供以下 COMBI 版本：
- COMBI BRV，採用 R5 油潤滑迴轉葉片式真空泵浦作為前級泵浦，而 PANDA 作為真空助力器。
- COMBI BNV，搭配 COBRA 乾式螺旋式真空泵浦作為前級泵浦，而 PANDA 作為真空助力器。
- COMBI CMM 配備兩台 MINK MM 乾式爪式真空泵浦，其中一台作為另一台的前級泵浦。
