COBRA DS 1200/1800 A/A x
Torra skruvvakuumpumpar
den nya generationen torrgående vakuumpumpar för krävande processer
Hög kapacitet
Avancerad skruvteknik, perfekta driftkvaliteter, integrerad vakuumbooster, perfekt lämpad för tillämpningar inom solceller, platta bildskärmar och halvledare samt krävande processer med höga gastemperaturer som etsning och CVD, goda egenskaper för pulverhantering, tantalbelagd skruv för krävande tillämpningar
Effektiv
Låg ägandekostnad, minimalt underhåll, långa serviceintervaller, hög tillgänglighet, högt kvävegenomflöde, låg energiförbrukning, variabel temperaturregulator
Kompakt
Platsbesparande design, direktmonterad kapslad motor, förpump och vakuumbooster kombinerade på en kompakt ram, låg vibrationsnivå
Tekniska specifikationer
Marknader och tillämpningar
-
Uppgradering - tryckväxlingsadsorption
-
Organisk lysdiod (OLED)
-
Lastlåskammare
-
Plasmaförstärkt kemisk ångdeposition (PECVD)
-
Fysisk ångdeposition (PVD)
-
Avgasning
-
Medel
-
Hård
-
Lätt
-
Plasmaförstärkt kemisk ångdeposition (PECVD)