den nya generationen torrgående vakuumpumpar för krävande processer
Hög kapacitet
Avancerad skruvteknik, perfekta driftkvaliteter, integrerad vakuumbooster, perfekt lämpad för kemisk förångningsdeposition, snabb termisk bearbetning eller atomlagerdeposition
Effektiv
Låg ägandekostnad, minimalt underhåll, långa serviceintervall, hög tillgänglighet, effektiv indirekt vattenkylning, högt kvävegenomflöde
Kompakt
Platsbesparande design, direktmonterad kapslad motor, förpump och vakuumbooster på en kompakt ram
Tekniska specifikationer
Marknader och tillämpningar
Produktion av platta bildskärmar
-
Plasmaförstärkt kemisk ångdeposition (PECVD)
-
Lastlåskammare
-
Organisk lysdiod (OLED)
-
Fysisk ångdeposition (PVD)
Produktion av litiumjonbatteri
-
Avgasning
Produktion av halvledare
-
Medel
-
Hård
-
Lätt
Solkraftsindustri
-
Plasmaförstärkt kemisk ångdeposition (PECVD)