PANDA/PUMA
罗茨泵
PANDA/PUMA 罗茨泵能够提高真空泵的抽速和极限压力， 它们可以将真空系统的性能提升约十倍。
PANDA/PUMA 可以配合前级泵使用，非常适合在特定工作压力下需要高抽速的应用。
Busch 普旭罗茨泵备有众多尺寸可供选择， 因此抽速和极限压力均可根据工艺条件进行量身定制。
相较于 PUMA 罗茨泵，PANDA 罗茨泵标配有旁通阀， PUMA/ PANDA 系列均兼容变速驱动装置。
工作原理
在 PANDA/PUMA 罗茨泵的外壳中，两个转子同步旋转。由于转子具有特殊轮廓且采用精密工艺制造，它们不会彼此触碰或触碰到壳体。因此，工艺室内无需添加任何润滑液或工作液。在转子旋转过程中，转子和外壳之间的气体被传输到前级泵中。
探索我们的 PANDA/PUMA 系列
PANDA WV
- 出色的容积效率
- 集成旁通阀
- 干式和非接触式压缩
- 维护量少
- 适用于多种类型的前级泵
PANDA WV 系列的优势
PANDA WV 显著提升多种类型的前级泵在粗真空、中真空和高真空范围内的性能。
它们标配有一个旁通阀， 能可靠地防止罗茨泵过载或过热，并允许其在高压差工作条件下使用。
PANDA WV 罗茨泵采用完全非接触式运行方式，工艺室内无需任何工作液。因此，可尽可能减少维护工作。此外，PANDA WV 罗茨泵还具备出色的容积效率和低能耗等优势。所有这些特点令其实现了低运行成本。
PANDA WV 可以直接通过法兰连接到前级泵或系统中的任何其它位置， 它们还兼容变速驱动装置。
PUMA WY
- 可以配备变速驱动
- 干式和非接触式压缩
- 适用于多种类型的前级泵
- 维护量少
- 出色的容积效率
- 密封防漏 (> 1x10-6 mbar x l/s)
- GGG40 外壳具有出色的机械耐受性和耐化学腐蚀性
PUMA WY 系列的优势
PUMA WY 显著提升多种类型的前级泵在中真空和高真空范围内的性能， 它专为满足半导体工艺而设计。
得益于直接法兰连接的水冷型电机，PUMA WY 罗茨泵密封性高，几乎不会在大气中发生泄漏， 它们是处理腐蚀性或毒性气体的理想选择。
PUMA WY 罗茨泵采用完全非接触式运行方式，工艺室内无需任何工作液。因此，可尽可能减少维护工作。此外，PUMA WY 罗茨泵还具备出色的容积效率和低能耗等优势。所有这些特点令其实现了低运行成本。
PUMA WY 可通过压力开关控制。达到最佳工作压力时，压力开关将会启动罗茨泵。此外，PUMA WY 提供附有变速驱动装置的型号。
PUMA WY 的电机和外壳之间没有任何联轴器，结构紧凑， 它们可以直接通过法兰连接到前级泵或系统中的任何其它位置。
PANDA WZ
- 出色的容积效率
- 集成旁通阀
- 密封防漏 (> 1x10-6 mbar x l/s)
- 干式和非接触式压缩
- 适用于多种类型的前级泵
- 维护量少
PANDA WZ 系列的优势
PANDA WZ 显著提升了多种类型的前级泵在中真空和高真空范围内的性能， 它专为满足半导体工艺而设计。
得益于直接法兰连接的水冷型电机，PANDA WZ 罗茨泵密封性高，几乎不会在大气中发生泄漏， 它们是处理腐蚀性或毒性气体的理想选择。
PANDA WZ 的电机和外壳之间没有任何联轴器，结构紧凑， 它们可以直接通过法兰连接到前级泵或系统中的任何其它位置。
PANDA WZ 罗茨泵采用完全非接触式运行方式，工艺室内无需任何工作液。因此，可尽可能减少维护工作。此外，PANDA WZ 罗茨泵还具备出色的容积效率和低能耗等优势。所有这些特点令其实现了低运行成本。
PANDA 罗茨泵标配一个旁通阀， 能可靠地防止罗茨泵过载或过热，并允许其在高压差工作条件下使用。此外，PANDA WZ 可兼容变速驱动装置。
PUMA WP
- 可以配备变速驱动
- 干式和非接触式压缩
- 适用于多种类型的前级泵
- 维护量少
- 出色的容积效率
- GGG40 外壳具有出色的机械耐受性和耐化学腐蚀性
PUMA WP 系列的优势
PUMA WP 显著提升多种类型的前级泵在粗真空和中真空范围内的性能。
PUMA WP 可通过压力开关控制， 达到最佳工作压力时，压力开关将会启动罗茨泵。此外，PUMA WP 提供附有变速驱动装置的型号。
PUMA WP 罗茨泵采用完全非接触式运行方式，工艺室内无需任何工作液。因此，可尽可能减少维护工作。此外，PUMA WP 罗茨泵还具备出色的容积效率和低能耗等优势。所有这些特点令其实现了低运行成本。
PUMA WP 可以直接通过法兰连接到前级泵或系统中的任何其它位置。
