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尾气处理系统

我们的解决方案:GABA

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半导体工业使用的气体不仅有毒、易燃,甚至对环境有害,对人类也有害, 例如:在生产微型芯片的过程中使用的气体。根据国家法律,必须减少这类气体的排放, 这意味着,必须将它们降至各自的阈值极限值(TLV)以下。

不同的气体需要不同的处理技术,如:热法、湿法,甚至两种技术结合。然后,工艺废气才能被排放到大气中。不损害大自然, 打造更环保的世界。

工作原理

无焰催化
该催化剂系统结合了无焰催化热氧化和湿处理技术,可消减易燃、水溶性气体和 NF₃。在热氧化过程中可能产生的粉末和水溶性气体将被上游多级湿化区收集。

热湿法
将电热和湿法处理技术结合在一个系统中,以消减氢基气体,如:NH₃、SiH₄以及 NF₃。在燃烧室中,通过热氧化作用改变易燃和发火工艺气体的化学性质, 然后将水溶性气体溶解在上游湿化室中。

洗涤塔
在四个独立的反应室中,废气气流(特别是外延制程中产生的废气气流)被喷水。固体副产品被水滴捕获并溶解, 然后,洗涤塔将水从出口气流中分离出来。

GABA AWE

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EPI 工艺中的洗涤塔气体减排

  • 创新的洗涤塔技术
  • 适用于半导体行业不可或缺的 EPI 工艺
  • 享有专利的进气口防堵器
  • 延长维修间隔时间
  • 无需蜜阱收集副产品
  • 采用变频控制的文丘里装置
  • 四个工艺进气口分别连接四个不同的腔室

GABA AWE 系列的优点

GABA AWE 是我们创新研发的洗涤塔,专为半导体行业不可或缺的 EPI 工艺而研发, 将出众的运行安全性与超高水平的工艺稳定性相结合。

我们的 AWE 系列配备了享有专利的有毒气体进气口,可以防止洗涤塔进气口发生堵塞, 从而延长了使用寿命,同时也降低了运营成本。维护工作仅限于定期更换进气口防堵器, 更换便捷,无需拆卸设备。

GABA AWE 采用了特殊设计,无需再从蜜阱废弃物中分离生产过程中的副产品。洗涤塔可以处理所有的工艺残留物,且不会堵塞进气口。水溶性副产品在洗涤液中发生反应,固体颗粒被分离,或在运行过程中与废水一起被抽走。

生产工艺中所需的真空由一个变频控制的文丘里装置提供和主动控制, 从而确保生产车间恒定的工艺压力和无故障运行。所有工艺设置都能通过一个带有彩色显示屏和触摸屏的可编程逻辑控制器(PLC)进行操作。

所有 GABA AWE 产品

GABA AFC

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高效的无焰催化气体减排

  • 结合使用无焰催化热氧化和热湿法气体减排技术
  • 能够处理可燃和可溶性气体
  • 出色的减排效率
  • 高温电加热器
  • 全交换系统
  • 四个工艺进气口分别连接四个不同的腔室

GABA AFC 系列的优点

GABA AFC 尾气处理系统专门设计用于减少或清除生产工艺中的有害气体和空气污染物, 一般而言,它们会改变气体的化学成分。结合使用无焰催化热氧化和热湿法气体减排技术,则能够处理可燃和可溶气体

GABA AFC 使用高温加热器及加热后的催化剂, 这样,就可以在无焰情况下实现充分燃烧。为了提高目标气体的去除效率,适当的温度和正确的工作液是关键所在。热系统提供稳定的处理条件,同时产生的副产品(即 NOx、CO2)大幅减少。水溶性气体、副产品以及来自反应室的热气在湿室中被处理。

为了避免在维护过程中发生污染,GABA AFC 被设计成全交换系统, 所有模块都可单独进行更换,无需打开腔体。

AFC 系列尾气处理系统标配四个工艺气体进气口, 因此,该系统可以连接到一个工艺工具的四个不同腔体或多个工具,视具体应用而定。

所有 GABA AFC 产品

GABA ATW

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安全的热湿气体减排系统

  • 结合使用无焰催化热氧化和热湿法气体减排技术
  • 能够处理可燃和可溶性气体
  • 高温电加热器
  • 四个工艺进气口分别连接四个不同的腔室

GABA ATW 系列的优点

GABA ATW 尾气处理系统利用热湿气体减排技术工作, 这意味着,它们会改变工艺气体的化学成分。对于易燃和易自燃气体,通过无焰热氧化进行处理;对于水溶性气体,通过水溶解进行处理。

ATW 可以达到与燃烧器洗涤系统一样高的温度,使用电能,而非天然气, 从而消除了生产过程中与气体相关的所有风险。

我们的 GABA ATW 可以连接工厂的常规排气系统, 这些尾气处理系统配备四个工艺气体进气口。因此,该系统可以连接到一个工艺工具的四个不同腔体或多个工具,视具体应用而定。

所有 GABA ATW 产品