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真空计

控制真空度可确保顺畅的工艺流程和高质量的产品。

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Busch 普旭 VACTEST 是一种新型的真空测量设备。它采用将真空测量技术的新发展与出色加工质量融于一体的设计,提供一系列创新、全面的一体式真空计和控制器产品。

您的优势一览

成熟

全面的测量范围(1600 至 5 · 10⁻¹⁰mbar)、先进的微控制器技术

可靠

高工业标准、结构坚固、对振动通风不敏感

高效

模块化设计,即插即用传感器实现尽可能长的正常运行时间

VACTEST 真空计非常可靠、耐用且易于操作, 我们向业内其他公司推荐 VACTEST。
Astrid Hernández,智利 Frigorifico Osorno 实验室负责人

VACTEST 产品系列

Busch 普旭 VACTEST 提供三个产品系列,确保满足多种真空系统或工艺的精准度、测量范围和功能需求。

凭借诸多先进技术可实现从 1600 至 5·10-10 mbar 的广泛测量范围,并以高精度覆盖几乎所有真空度。

传感器均符合 CE 和 RoHS 等国际标准和法规。与我们种类丰富的真空泵、鼓风机和压缩机系列产品相对应,我们针对多种工艺流程提供不同的测量技术。

移动式真空计

VACTEST 移动式真空计是一款可实现优质服务或真空工艺流程质量保证的优质手持式产品。这款通过蓄电池供电的测量仪具备多种功能,如用于导出数据和可视化的 USB 接口、数据记录器,甚至可以在真空环境下使用。
  • VACTEST TPP 900
    VACTEST TPP 900

    测量范围:
    1200–5 · 10⁻⁴ mbar
    测量原理:
    压阻式 / Pirani

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  • VACTEST TRP 900
    VACTEST TRP 900

    测量范围:
    1600–1 mbar
    测量原理:
    压阻式

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  • VACTEST TTP 900
    VACTEST TTP 900

    测量范围:
    100–1 · 10⁻³ mbar
    测量原理:
    Pirani

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  • VACTEST PPP 700 D
    VACTEST PPP 700 D

    测量范围:
    1200 - 0.01 mbar
    测量原理:
    压阻式 / Pirani

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  • VACTEST TPP 900
    VACTEST TPP 900

    测量范围:
    1200–5 · 10⁻⁴ mbar
    测量原理:
    压阻式 / Pirani

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  • VACTEST TRP 900
    VACTEST TRP 900

    测量范围:
    1600–1 mbar
    测量原理:
    压阻式

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  • VACTEST TTP 900
    VACTEST TTP 900

    测量范围:
    100–1 · 10⁻³ mbar
    测量原理:
    Pirani

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  • VACTEST PPP 700 D
    VACTEST PPP 700 D

    测量范围:
    1200 - 0.01 mbar
    测量原理:
    压阻式 / Pirani

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数字变送器

VACTEST 数字变送器是一款高端仪表,有多种可选配置,符合各项标准要求。其智能微控制器结构可实现出色的传感器控制,并具有多种可选设置,是诸多应用的理想解决方案。
  • VACTEST DCC 400 / DCC 400 D
    VACTEST DCC 400 / DCC 400 D

    测量范围:
    2 · 10⁻³–5 · 10⁻⁹ mbar
    测量原理:
    倒置磁控管

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  • VACTEST DPH 400 / DPH 400 D
    VACTEST DPH 400 / DPH 400 D

    测量范围:
    1000–5 · 10⁻¹⁰ mbar
    测量原理:
    Pirani / Bayard-Alpert

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  • VACTEST DPP 400 / DPP 400 D
    VACTEST DPP 400 / DPP 400 D

    测量范围:
    1200–1 · 10⁻⁴ mbar
    测量原理:
    压阻式 / Pirani

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  • VACTEST DTP 400 C / DTP 400 DC
    VACTEST DTP 400 C / DTP 400 DC

    测量范围:
    1000–5 · 10⁻⁴ mbar
    测量原理:
    Pirani

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  • VACTEST DTP 400 / DTP 400 D
    VACTEST DTP 400 / DTP 400 D

    测量范围:
    1000–1 · 10⁻⁴ mbar
    测量原理:
    Pirani

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  • VACTEST DPC 400 / DPC 400 D
    VACTEST DPC 400 / DPC 400 D

    测量范围:
    1000–5 · 10⁻⁹ mbar
    测量原理:
    Pirani / 倒置磁控管

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模拟变送器

VACTEST 模拟变送器采用紧凑、坚固和实用的设计。凭借出色的测量精准度和稳定性,这些变送器成为集中监测和控制系统的理想之选。
  • VACTEST GCD 200
    VACTEST GCD 200

    测量范围:
    200–0.1 mbar
    测量原理:
    电容式

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  • VACTEST GRP 100 / GRP 200
    VACTEST GRP 100 / GRP 200

    测量范围:
    1400–1 mbar
    测量原理:
    压阻式

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  • VACTEST GTP 100 C
    VACTEST GTP 100 C

    测量范围:
    1000–5 · 10⁻⁴ mbar
    测量原理:
    Pirani

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  • VACTEST GTP 100 / GTP 200
    VACTEST GTP 100 / GTP 200

    测量范围:
    1000–1 · 10⁻⁴ mbar
    测量原理:
    Pirani

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控制器

这两个有源传感器控制器 CTR 002 和 CTR 004 是紧凑型控制单元,可与两个或四个真空计同时运行。

真空计的类型

根据您的工艺流程中的真空度,选择不同的测量原理。真空分为四个级别:

  • 粗真空
  • 中真空
  • 高真空
  • 超高真空

精准的压力测量是真空辅助生产工艺中的关键因素, 它可确保理想的效率与出色的产品质量。多种传感器技术可用于精确测量历经 140 年发展的真空, 它们可以分为两大类:直接压力测量和间接压力测量。

直接压力测量:

间接压力测量:
了解如何选择合适的真空测量设备。
继续阅读

直接压力测量
(不受气体类型影响)

直接测量原理与工艺气体无关,而是基于分子流施加在膜片上的压力。这种方法主要用于粗真空和中真空工艺。随着压力的降低,气体分子的数量会逐渐变少,直至传感器无法检测到它们。
压阻式传感器的真空测量原理

压阻式传感器

这种坚固并且经济的压阻式传感器技术可以测量由膜片偏转引起的应变计电阻的变化。该传感器的坚固性和多功能性使其成为粗真空范围内测量绝对压力的理想选择。

  • 测量范围:1600 至 1 mbar
  • 出色的测量精确度
  • 耐化学腐蚀的陶瓷传感器
  • 响应时间短
  • 高可靠性
  • 长期稳定
电容式传感器的真空测量原理

电容式传感器

高分辨率、高精度的电容式传感器可测量由膜片偏转引起的板式电容器电容的变化。这些传感器专为要求高精度和化学相容性的工业应用而设计。

  • 测量范围:200 至 0.1 mbar
  • 出色的测量精确度
  • 耐化学腐蚀的陶瓷传感器
  • 高可靠性
  • 温度补偿
  • 工业金属设计
  • 高防护等级

间接压力测量
(取决于气体类型)

更高的真空度下,则使用基于工艺气体特殊性质(例如:热导率或电离概率)的间接测量原理。与直接测量方法相反,这些原理取决于工艺气体的性质,因此,必须为不同于空气或氮气的工艺气体应用特定的修正系数。
皮拉尼(Pirani)真空测量原理

Pirani 压力表

坚固可靠的皮拉尼(Pirani)传感器可以测量气体的热导率。加热丝与其周围环境之间的热传递将随压力成比例变化。皮拉尼(Pirani)传感器是中真空应用的理想解决方案。

  • 测量范围广,从 1000 至 1·10-4 mbar
  • 可选择与压阻式传感器组合使用,以提高测量高压时的精确度
  • 细螺旋线圈可实现更高精确度、更耐用
  • 通过特定的温度补偿实现卓越的稳定性
  • 出色的抗污染性
  • 可选 Pt/Rh 细丝用于腐蚀性应用
冷阴极真空测量原理

冷阴极压力表

经济且坚固的冷阴极(倒置磁控管)可以测量等离子体的电导率。中性气体分子通过与电子碰撞而电离,并被阴极收集。所产生的电流即可指示高真空和超高真空工艺中压力的大小。

  • 与 Pirani 传感器结合使用,测量范围更大:1000 至 5·10-9 mbar
  • 测量不确定度低:高真空下 <25%
  • 自动通电和断电以延长传感器的使用寿命
  • 即使在高真空条件下也能快速点火
  • 低杂散磁场
  • 运行期间 Pirani 零压力自动调节
热阴极真空测量原理

热阴极压力表

根据 Bayard-Alpert 原理,稳定且可重复的热阴极通过热电子发射测量气体电离。离子收集器的电流与气体压力成线性关系, 这项技术是最精确的高真空和超高真空测量原理之一。

  • 与 Pirani 传感器结合使用,测量范围更大:1000 至 5·10-10 mbar
  • 出色的测量精确度:低于 10 mbar 时的不确定性 <10%
  • 双丝,使用寿命更长
  • 自动通电和断电以延长传感器的使用寿命
  • 运行期间 Pirani 零压力自动调节
  • 经过 >100,000 次震动通风循环测试

校准服务

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随着时间的推移,因为压力表会暴露于多个温度和压力循环中,其工厂校准性能会下降, 这将导致某些材料膨胀和收缩,从而导致测量值的变化。

在校准过程中,将压力表与校准用压力表进行比较,并生成报告以记录偏差。
校准服务

常见问题解答

什么是真空计?

真空计是一种在应用中测量真空度的仪表, 它可以确保在您的整个工艺流程中提供正确的真空度。监控真空度可确保您的工艺流程平稳运行,并确保您产品的高质量, 例如:正确包装食品,或者将不同材料层准确地层压在一起。

这些设备具有结构坚固、可靠及测量精确度高等突出特性,无论是应用于工业生产或科研,都是监测和控制您的真空工艺流程的理想之选。

如何选择合适的真空测量设备?

在使用正确的测量原理选择真空计时,了解压力范围、所需精确度、气体成分、工艺和环境条件至关重要。

您当地的 Busch 普旭代表可以帮助您选择合适的真空计。

1. 压力范围和所需精确度

要获得真空泵所产生的真空度的准确读数,真空计必须能够在与真空泵性能相对应的范围内进行测量。否则,真空计可能无法在您的工艺真空范围内进行测量。下表显示了 VACTEST 所涵盖的压力范围。根据压力范围的不同,可能需要将不同的测量原理组合到一台测量仪器中。

测量原理
压力范围
精确度
压阻式
1600 - 1 hPa (mbar)
< 全量程的 0.3%
电容式
200 - 0.1 hPa (mbar)
< 全量程的 0.25%
皮拉尼(Pirani)传感器
1000 - 1 · 10⁻⁴ hPa (mbar)
1000 - 20 hPa(mbar):读数的 30%(20 - 2.0 · 10-3 hPa)(mbar):读数的 10%
冷阴极
2 · 10⁻³ - 5 · 10⁻⁹ hPa (mbar)
读数的 < 25%
热阴极
3 · 10⁻³ - 5 · 10⁻¹⁰ hPa (mbar)
读数的 <10%

2. 气体成分

真空计有一个传感器,可能会与测量介质接触。应考虑到这种接触可能引起的反应, 例如:介质是否具有腐蚀性,在特定温度下是否会变硬,或者是否会在传感元件中留下沉淀物?

3. 工艺和环境条件

应考虑到您的真空计所处的工作环境。温度、湿度和灰尘均会影响其精确度和使用寿命。

真空计有何用途?

真空计可以测量工艺流程中的真空度。

压力表和真空计之间有何区别?

压力表是一种测量系统与大气压力之间的压力差的仪表。因此,真空计可被看作是一种压力表。

但是,其他压力表主要用于测量高于大气压的压力,而真空计用于测量低于大气压的压力。

模拟压力表有哪些技术特性?

模拟压力表具有五个技术特性。

1. 高性能:性能出众,符合严苛标准

  • 扩展的测量范围 1200 - 5·10-10 mbar
  • 出色的测量精确度和可靠性
  • 智能数字微控制器
  • 标配两个内置设定点
  • 烘烤温度高达 180°C,无需移除电子元件

2. 坚固性和耐用性:针对工业应用开发

  • 传感器坚固耐用,对震动通风和震动不敏感
  • 金属密封,泄漏率超低
  • IP40 或 IP54(可选)
  • 正压极限高达 10 bar

3. 以应用为导向:高灵活性

  • RS485 接口和 0 - 10 V 输出信号
  • 高清晰度集成显示屏(可选)
  • 与竞争对手的压力表兼容 - 可定制输出信号
  • 独立压力表电源,无需调节器

4. 完备控制:个性化配置

  • 由于采用外部调节器,测量值一目了然
  • 通过 PLC 或 PC 对压力表进行定制化配置
  • 通过蓝牙模块进行无线连接
  • 通过 VACTEST 浏览器软件进行配置和数据管理

5. 易于维护:即插即用式传感器更换件

  • 可现场更换
  • 无需专用工具
  • 无需校准即可更换传感器
  • 传感器更换件会自动获取所有参数

数字压力表有哪些技术特性?

数字压力表具有三个技术特性。

1. 先进技术:准确的测量结果

  • 测量范围广:1400 - 1·10-4 mbar,涵盖整个粗真空和中真空范围
  • 出色的测量精确度
  • 通过特定的温度补偿实现卓越的测量稳定性

2. 运行可靠性和安全性:符合工业要求

  • 坚固的不锈钢外壳
  • 抗震动通风和震动
  • 在复杂应用中运行可靠
  • 金属密封,泄漏率超低

3. 适用范围广:适用于多种工艺

  • 采用非常紧凑的工业设计
  • 灵活的模拟输出信号(0 - 10 V 或 4 - 20 mA,视型号而定)
  • 通过数字按钮进行零位调整
  • 与外部调节器兼容

移动式仪表有哪些技术特性?

移动式仪表具有四种技术特性。

1. 出色的精确度:长期测量

  • 测量范围广:1600 - 5·10-4 mbar
  • 出色的测量精确度:可达全量程的 0.3%
  • 电池寿命长达 2500 小时

2. 紧凑便携:独特的手持式压力表系列

  • 非常紧凑轻巧的手持式真空计
  • 可拆卸的外置 Pirani 传感器,配备长寿命螺旋线圈(TTP 900)
  • 在复杂应用中运行可靠
  • 可在真空室内使用

3. 可选接口:数据记录器和存储功能

  • 用于数据导出和可视化的 USB 接口
  • 通过 USB 连接 PC 进行在线读取
  • 通过 VACTEST 浏览器软件轻松导出和管理数据
  • 可进行多达 2000 次测量的数据记录器
  • 最小和最大存储功能

4. 以维护为导向:快速真空测试

  • 专为方便真空装置的维护检查而设计
  • 通过降压或升压的方法实现抽速和泄漏率功能

应该多久校准一次压力表?

您的真空计应每年重新校准一次。

您的压力表是否需要重新校准?立即了解更多有关 Busch 普旭校准服务的信息,或联系我们的 Busch 普旭服务专家!

真空计有哪些典型应用?

真空计适用于在生产工艺中使用真空发生器的行业, 包括汽车工业、制药以及食品与饮料真空包装等领域。使用真空计可确保真空泵系统在所需的压力范围内安全运行,并保持产品一致性。

什么是有源传感器控制器?

使用有源传感器控制器,您可以一目了然地查看测量值。两个紧凑型控制单元可与两个或四个真空传感器同时运行。它们既可以用作台式设备,也可以安装在机架上,配备带背景照明的大型 LCD 显示屏、多个继电器触点以及 USB 和 RS232 接口。CTR 002 和 CTR 004 通过直观导航可以对传感器进行全面控制和配置。可轻松调整诸如气体种类修正系数、压力单位、设定点和其他有益功能之类的参数。

如何保护压力表?

为了延长压力表的使用期限和确保测量精确度,必须防止其受到污染。因此,强烈建议在传感器和真空系统之间安装保护装置。Busch 普旭可以提供挡板、管道过滤器和螺旋管,以确保测量设备的安全运行。

是否可以更换传感头?

备用传感器头可用于所有数字式变送器。即插即用功能可保留校准和设置参数,确保快速更换传感器,而不影响工艺流程。

我的真空计能否通过软件进行控制?

Busch 普旭提供的 VACTEST 浏览器可以作为一款不可或缺的软件工具,可快速高效地对工艺数据进行可视化、分析和比较。VACTEST 浏览器提供 Lite 和 Pro 版本,功能丰富,包括计算泄漏率、远程控制有源传感器控制器、抽真空曲线比较、数字式变送器参数的配置等等。

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