干式螺杆真空泵的类型
Busch 普旭提供两大干式螺杆真空泵系列产品:COBRA Industry 干式螺杆真空泵适用于抽取需要可靠且无污染气体和蒸汽的工业应用。
COBRA Semicon 干式螺杆真空泵是光伏电池、平板显示器、半导体生产等高要求工艺以及众多工业镀膜应用的理想之选。
产品系列 | 额定抽速 | 类型 |
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COBRA NX | 350 m³/h - 950 m³/h | 工业 |
COBRA NX PLUS | 900 m³/h | 工业 |
COBRA NC | 110 m³/h - 2,500 m³/h | 工业 |
COBRA NS | 70 m³/h - 600 m³/h | 工业 |
COBRA NF | 750 m³/h - 950 m³/h | 工业 |
COBRA DX | 650 m³/h - 950 m³/h | 工业 |
COBRA BA | 85 m³/h - 105 m³/h | 半导体 |
COBRA BC | 100 m³/h - 1,580 m³/h | 半导体 |
COBRA DS | 70 m³/h - 1,640 m³/h | 半导体 |