目前,在国内一家大型玻璃生产企业的车间内,共有 Bsuch 普旭的 10 台 R5 RA 油润滑旋片真空泵、14 台 PANDA WZ 罗茨真空泵、2 台COBRA NC 干式螺杆真空泵和 2 台 ZEBRA RH 双级油润滑旋片真空泵正在客户现场持续运行,用于抽空多个真空腔室。Low-E 玻璃正是在这些腔室内采用真空磁控溅射技术进行镀膜的。
在抽空腔室后,引入惰性气体(通常使用氩气)并施加几百伏的电压,阴极在此条件下会产生高能量的电子。电子逸出并撞击惰性气体使得气体分子发生电离,电离产生的正离子会撞击镀膜材料并从中释放出原子。这些原子会吸附在玻璃表面,最终凝结成薄薄的镀膜层。
通过这种方法制作的 Low-E 玻璃与普通玻璃相比,隔热性强、保温性好,并且耐高温。在炎热的夏天,它能够有效反射阳光,将热量抵挡在窗外;而在寒冷的冬天,它能够将远红外热辐射反射回室内,维持室内的热量。

正在抽空腔室的 R5 RA 系列油润滑旋片真空泵。照片来源:Busch 普旭中国。