优化的气密性,适合中真空和高真空应用
可靠
实心叶片设计,结构坚固,在不同的运行条件下十分可靠,密封防漏,并配备阻隔气体连接件
性能出色
卓越的容积效率、高极限压力、集成旁通阀,专为中高真空应用而设计,包括:太阳能、平板和半导体工艺
灵活
可以直接通过法兰连接到系统中的任何位置,提升所有类型的前级泵的性能,纵向或横向排放
技术规格
市场和应用
车辆及运输
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真空压铸
锂电池生产
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真空干燥
制冷
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真空干燥
设计选项
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ATEX - 用于爆炸危险区域。