PANDA/PUMA
罗茨泵
PANDA/PUMA 罗茨泵能够提高真空泵的抽速和极限压力, 它们可以将真空系统的性能提升约十倍。
PANDA/PUMA 可以配合前级泵使用,非常适合在特定工作压力下需要高抽速的应用。
Busch 普旭罗茨泵备有众多尺寸可供选择, 因此抽速和极限压力均可根据工艺条件进行量身定制。
相较于 PUMA 罗茨泵,PANDA 罗茨泵标配有旁通阀, PUMA/ PANDA 系列均兼容变速驱动装置。
工作原理
在 PANDA/PUMA 罗茨泵的外壳中,两个转子同步旋转。由于转子具有特殊轮廓且采用精密工艺制造,它们不会彼此触碰或触碰到壳体。因此,工艺室内无需添加任何润滑液或工作液。在转子旋转过程中,转子和外壳之间的气体被传输到前级泵中。
PANDA WV
- 出色的容积效率
- 集成旁通阀
- 干式和非接触式压缩
- 维护量少
- 适用于多种类型的前级泵
PANDA WV 系列的优势
PANDA WV 显著提升多种类型的前级泵在粗真空、中真空和高真空范围内的性能。
它们标配有一个旁通阀, 能可靠地防止罗茨泵过载或过热,并允许其在高压差工作条件下使用。
PANDA WV 罗茨泵采用完全非接触式运行方式,工艺室内无需任何工作液。因此,可尽可能减少维护工作。此外,PANDA WV 罗茨泵还具备出色的容积效率和低能耗等优势。所有这些特点令其实现了低运行成本。
PANDA WV 可以直接通过法兰连接到前级泵或系统中的任何其它位置, 它们还兼容变速驱动装置。
所有 PANDA WV 产品
PUMA WY
- 可以配备变速驱动
- 干式和非接触式压缩
- 适用于多种类型的前级泵
- 维护量少
- 出色的容积效率
- 密封防漏 (> 1x10-6 mbar x l/s)
- GGG40 外壳具有出色的机械耐受性和耐化学腐蚀性
PUMA WY 系列的优势
PUMA WY 显著提升多种类型的前级泵在中真空和高真空范围内的性能, 它专为满足半导体工艺而设计。
得益于直接法兰连接的水冷型电机,PUMA WY 罗茨泵密封性高,几乎不会在大气中发生泄漏, 它们是处理腐蚀性或毒性气体的理想选择。
PUMA WY 罗茨泵采用完全非接触式运行方式,工艺室内无需任何工作液。因此,可尽可能减少维护工作。此外,PUMA WY 罗茨泵还具备出色的容积效率和低能耗等优势。所有这些特点令其实现了低运行成本。
PUMA WY 可通过压力开关控制。达到最佳工作压力时,压力开关将会启动罗茨泵。此外,PUMA WY 提供附有变速驱动装置的型号。
PUMA WY 的电机和外壳之间没有任何联轴器,结构紧凑, 它们可以直接通过法兰连接到前级泵或系统中的任何其它位置。
所有 PUMA WY 产品
PANDA WZ
- 出色的容积效率
- 集成旁通阀
- 密封防漏 (> 1x10-6 mbar x l/s)
- 干式和非接触式压缩
- 适用于多种类型的前级泵
- 维护量少
PANDA WZ 系列的优势
PANDA WZ 显著提升了多种类型的前级泵在中真空和高真空范围内的性能, 它专为满足半导体工艺而设计。
得益于直接法兰连接的水冷型电机,PANDA WZ 罗茨泵密封性高,几乎不会在大气中发生泄漏, 它们是处理腐蚀性或毒性气体的理想选择。
PANDA WZ 的电机和外壳之间没有任何联轴器,结构紧凑, 它们可以直接通过法兰连接到前级泵或系统中的任何其它位置。
PANDA WZ 罗茨泵采用完全非接触式运行方式,工艺室内无需任何工作液。因此,可尽可能减少维护工作。此外,PANDA WZ 罗茨泵还具备出色的容积效率和低能耗等优势。所有这些特点令其实现了低运行成本。
PANDA 罗茨泵标配一个旁通阀, 能可靠地防止罗茨泵过载或过热,并允许其在高压差工作条件下使用。此外,PANDA WZ 可兼容变速驱动装置。
所有 PANDA WZ 产品
PUMA WP
- 可以配备变速驱动
- 干式和非接触式压缩
- 适用于多种类型的前级泵
- 维护量少
- 出色的容积效率
- GGG40 外壳具有出色的机械耐受性和耐化学腐蚀性
PUMA WP 系列的优势
PUMA WP 显著提升多种类型的前级泵在粗真空和中真空范围内的性能。
PUMA WP 可通过压力开关控制, 达到最佳工作压力时,压力开关将会启动罗茨泵。此外,PUMA WP 提供附有变速驱动装置的型号。
PUMA WP 罗茨泵采用完全非接触式运行方式,工艺室内无需任何工作液。因此,可尽可能减少维护工作。此外,PUMA WP 罗茨泵还具备出色的容积效率和低能耗等优势。所有这些特点令其实现了低运行成本。
PUMA WP 可以直接通过法兰连接到前级泵或系统中的任何其它位置。