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PANDA/PUMA

罗茨泵

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PANDA/PUMA 罗茨泵能够提高真空泵的抽速和极限压力, 它们可以将真空系统的性能提升约十倍。

PANDA/PUMA 可以配合前级泵使用,非常适合在特定工作压力下需要高抽速的应用。

Busch 普旭罗茨泵备有众多尺寸可供选择, 因此抽速和极限压力均可根据工艺条件进行量身定制。

相较于 PUMA 罗茨泵,PANDA 罗茨泵标配有旁通阀, PUMA/ PANDA 系列均兼容变速驱动装置

工作原理

在 PANDA/PUMA 罗茨泵的外壳中,两个转子同步旋转。由于转子具有特殊轮廓且采用精密工艺制造,它们不会彼此触碰或触碰到壳体。因此,工艺室内无需添加任何润滑液或工作液。

在转子旋转过程中,转子和外壳之间的气体被传输到前级泵中。

探索我们的 PANDA/PUMA 系列

PANDA WV

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针对附旁通阀工业应用的性能优化大师

  • 出色的容积效率
  • 集成旁通阀
  • 干式和非接触式压缩
  • 维护量少
  • 适用于多种类型的前级泵

PANDA WV 系列的优势

PANDA WV 显著提升多种类型的前级泵在粗真空、中真空和高真空范围内的性能。

它们标配有一个旁通阀, 能可靠地防止罗茨泵过载或过热,并允许其在高压差工作条件下使用。

PANDA WV 罗茨泵采用完全非接触式运行方式,工艺室内无需任何工作液。因此,可尽可能减少维护工作。此外,PANDA WV 罗茨泵还具备出色的容积效率和低能耗等优势。所有这些特点令其实现了低运行成本。

PANDA WV 可以直接通过法兰连接到前级泵或系统中的任何其它位置, 它们还兼容变速驱动装置。

所有 PANDA WV 产品

  • PANDA WV 0250/0500 C
    PANDA WV 0250/0500 C

    极限压力:

    额定抽速:
    min. 250 m³/h max. 500 m³/h

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  • PANDA WV 1200–2400 A
    PANDA WV 1200–2400 A

    极限压力:

    额定抽速:
    min. 1050 m³/h max. 2120 m³/h

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  • PANDA WV 4500 B
    PANDA WV 4500 B

    极限压力:

    额定抽速:
    4500 m³/h

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PUMA WY

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优化气密性,适合中真空和高真空应用

  • 可以配备变速驱动
  • 干式和非接触式压缩
  • 适用于多种类型的前级泵
  • 维护量少
  • 出色的容积效率
  • 密封防漏 (> 1x10-6 mbar x l/s)
  • GGG40 外壳具有出色的机械耐受性和耐化学腐蚀性

PUMA WY 系列的优势

PUMA WY 显著提升多种类型的前级泵在中真空和高真空范围内的性能, 它专为满足半导体工艺而设计。

得益于直接法兰连接的水冷型电机,PUMA WY 罗茨泵密封性高,几乎不会在大气中发生泄漏, 它们是处理腐蚀性或毒性气体的理想选择。

PUMA WY 罗茨泵采用完全非接触式运行方式,工艺室内无需任何工作液。因此,可尽可能减少维护工作。此外,PUMA WY 罗茨泵还具备出色的容积效率和低能耗等优势。所有这些特点令其实现了低运行成本。

PUMA WY 可通过压力开关控制。达到最佳工作压力时,压力开关将会启动罗茨泵。此外,PUMA WY 提供附有变速驱动装置的型号。

PUMA WY 的电机和外壳之间没有任何联轴器,结构紧凑, 它们可以直接通过法兰连接到前级泵或系统中的任何其它位置。

所有 PUMA WY 产品

  • PUMA WY 0500–1250 C
    PUMA WY 0500–1250 C

    极限压力:

    额定抽速:
    min. 500 m³/h max. 1250 m³/h

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  • PUMA WY 2000/4500 C
    PUMA WY 2000/4500 C

    极限压力:

    额定抽速:
    min. 2010 m³/h max. 4500 m³/h

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PANDA WZ

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优化气密性,适合中真空和高真空应用

  • 出色的容积效率
  • 集成旁通阀
  • 密封防漏 (> 1x10-6 mbar x l/s)
  • 干式和非接触式压缩
  • 适用于多种类型的前级泵
  • 维护量少

PANDA WZ 系列的优势

PANDA WZ 显著提升了多种类型的前级泵在中真空和高真空范围内的性能, 它专为满足半导体工艺而设计。

得益于直接法兰连接的水冷型电机,PANDA WZ 罗茨泵密封性高,几乎不会在大气中发生泄漏, 它们是处理腐蚀性或毒性气体的理想选择。

PANDA WZ 的电机和外壳之间没有任何联轴器,结构紧凑, 它们可以直接通过法兰连接到前级泵或系统中的任何其它位置。


PANDA WZ 罗茨泵采用完全非接触式运行方式,工艺室内无需任何工作液。因此,可尽可能减少维护工作。此外,PANDA WZ 罗茨泵还具备出色的容积效率和低能耗等优势。所有这些特点令其实现了低运行成本。

PANDA 罗茨泵标配一个旁通阀, 能可靠地防止罗茨泵过载或过热,并允许其在高压差工作条件下使用。此外,PANDA WZ 可兼容变速驱动装置

所有 PANDA WZ 产品

  • PANDA WZ 0250–2000 B
    PANDA WZ 0250–2000 B

    极限压力:

    额定抽速:
    min. 263 m³/h max. 2120 m³/h

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  • PANDA WZ 2400 A
    PANDA WZ 2400 A

    极限压力:

    额定抽速:
    2120 m³/h

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  • PANDA WZ 3600 A
    PANDA WZ 3600 A

    极限压力:

    额定抽速:
    3600 m³/h

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PUMA WP/WPA

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适合工业真空应用的性能优化大师

  • 可以配备变速驱动
  • 干式和非接触式压缩
  • 适用于多种类型的前级泵
  • 维护量少
  • 出色的容积效率
  • GGG40 外壳具有出色的机械耐受性和耐化学腐蚀性

PUMA WP/WPA 系列的优势

PUMA WP/WPA 显著提升多种类型的前级泵在粗真空和中真空范围内的性能。

PUMA WP/WPA 可通过压力开关控制, 达到最佳工作压力时,压力开关将会启动罗茨泵。此外,PUMA WP/WPA 提供附有变速驱动装置的型号。

PUMA WP/WPA 罗茨泵采用完全非接触式运行方式,工艺室内无需任何工作液。因此,可尽可能减少维护工作。此外,PUMA WP/WPA 罗茨泵还具备出色的容积效率和低能耗等优势。所有这些特点令其实现了低运行成本。

PUMA WP/WPA 可以直接通过法兰连接到前级泵或系统中的任何其它位置。

所有 PUMA WP/WPA 产品

  • PUMA WP 0250/0500 D2/D4
    PUMA WP 0250/0500 D2/D4

    极限压力:

    额定抽速:
    min. 260 m³/h max. 520 m³/h

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  • PUMA WP 0700/1000 D/D2/D4
    PUMA WP 0700/1000 D/D2/D4

    极限压力:

    额定抽速:
    min. 700 m³/h max. 1000 m³/h

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  • PUMA WP 1250–4500 B2/D2
    PUMA WP 1250–4500 B2/D2

    极限压力:

    额定抽速:
    min. 1295 m³/h max. 4500 m³/h

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  • PUMA WPA 040–075 A
    PUMA WPA 040–075 A

    极限压力:

    额定抽速:
    min. 3850 m³/h max. 7350 m³/h

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  • PUMA WPA 080/095 A
    PUMA WPA 080/095 A

    极限压力:

    额定抽速:
    min. 8000 m³/h max. 9535 m³/h

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