PANDA/PUMA

PANDA WZ 显著提升了多种类型的前级泵在中真空和高真空范围内的性能， 它专为满足半导体工艺而设计。

得益于直接法兰连接的水冷型电机，PANDA WZ 罗茨泵密封性高，几乎不会在大气中发生泄漏， 它们是处理腐蚀性或毒性气体的理想选择。

PANDA WZ 的电机和外壳之间没有任何联轴器，结构紧凑， 它们可以直接通过法兰连接到前级泵或系统中的任何其它位置。


PANDA WZ 罗茨泵采用完全非接触式运行方式，工艺室内无需任何工作液。因此，可尽可能减少维护工作。此外，PANDA WZ 罗茨泵还具备出色的容积效率和低能耗等优势。所有这些特点令其实现了低运行成本。

PANDA 罗茨泵标配一个旁通阀， 能可靠地防止罗茨泵过载或过热，并允许其在高压差工作条件下使用。此外，PANDA WZ 可兼容变速驱动装置。

PANDA WV 显著提升多种类型的前级泵在粗真空、中真空和高真空范围内的性能。

它们标配有一个旁通阀， 能可靠地防止罗茨泵过载或过热，并允许其在高压差工作条件下使用。

PANDA WV 罗茨泵采用完全非接触式运行方式，工艺室内无需任何工作液。因此，可尽可能减少维护工作。此外，PANDA WV 罗茨泵还具备出色的容积效率和低能耗等优势。所有这些特点令其实现了低运行成本。

PANDA WV 可以直接通过法兰连接到前级泵或系统中的任何其它位置， 它们还兼容变速驱动装置。

PUMA WY 显著提升多种类型的前级泵在中真空和高真空范围内的性能， 它专为满足半导体工艺而设计。

得益于直接法兰连接的水冷型电机，PUMA WY 罗茨泵密封性高，几乎不会在大气中发生泄漏， 它们是处理腐蚀性或毒性气体的理想选择。

PUMA WY 罗茨泵采用完全非接触式运行方式，工艺室内无需任何工作液。因此，可尽可能减少维护工作。此外，PUMA WY 罗茨泵还具备出色的容积效率和低能耗等优势。所有这些特点令其实现了低运行成本。

PUMA WY 可通过压力开关控制。达到最佳工作压力时，压力开关将会启动罗茨泵。此外，PUMA WY 提供附有变速驱动装置的型号。

PUMA WY 的电机和外壳之间没有任何联轴器，结构紧凑， 它们可以直接通过法兰连接到前级泵或系统中的任何其它位置。

PUMA WP 显著提升多种类型的前级泵在粗真空和中真空范围内的性能。

PUMA WP 可通过压力开关控制， 达到最佳工作压力时，压力开关将会启动罗茨泵。此外，PUMA WP 提供附有变速驱动装置的型号。

PUMA WP 罗茨泵采用完全非接触式运行方式，工艺室内无需任何工作液。因此，可尽可能减少维护工作。此外，PUMA WP 罗茨泵还具备出色的容积效率和低能耗等优势。所有这些特点令其实现了低运行成本。

PUMA WP 可以直接通过法兰连接到前级泵或系统中的任何其它位置。

PUMA WG 罗茨泵可在粗真空范围内提供高性能。这使得它们非常适合抵抗大气压力进行压缩时涉及高压差和气体流量的应用，例如钢水脱气或油气回收。通过串联两个 PUMA WG 增压泵，罗茨泵产品系列的极限压力可进一步降低至 20 至 30 hPa (mbar)。与其他罗茨泵相结合，可在中真空范围内实现更低的压力。

得益于内部气体循环冷却，PUMA WG 罗茨泵可以抵抗大气压力进行压缩，而不会有热过载的危险。气冷式罗茨泵使用一部分泵送介质进行热管理，而不是使用环境空气或水。

在运行期间，泵送介质在被压缩并通过出口排出时会升温。然后流经与排放口相连的热交换器，在那里通过周围的冷却水进行冷却。热量通过换热器的板壁传送至冷却水，从而降低气体温度。部分冷却气体再循环到压缩腔室，在那里与进入的工艺气体混合，冷却内部组件。即使在极限压力下运行，这种受控循环也可确保平衡的热量分布。

通过将可选变速驱动 (VSD) 与 PUMA WG 罗茨泵配合使用，可以调节其转速以匹配所需的真空度，从而降低能耗并提高效率。