优化的气密性，适合中真空和高真空应用
可靠
特殊叶片设计，防止粉末和颗粒沉积，由 GGG40 材料制成的坚固结构，密封防漏
性能出色
专为满足中真空和高真空范围内要求严苛的应用（包括防止粉尘沉积的半导体工艺）而设计，出色的容积效率
灵活
在不同的操作条件下提供可靠的性能，提升大部分型号的前级泵的性能
技术规格
市场和应用
平板显示器生产
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等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)
半导体生产
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严苛
太阳能发电行业
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等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)