扩散真空泵

扩散真空泵的基本部件是一个底部可加热的圆柱形泵组， 油作为一种用于加热的液体。油液蒸汽升至喷嘴系统中， 然后经过数级蒸汽处理，油液在高压下被排出系统。

工艺气体分子被这些蒸汽收集，并继续向前级泵的出口输送。油蒸汽在水冷真空泵机组的内表面凝结，并被导流回底部。