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RANGU

扩散真空泵

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RANGU 是扩散真空泵系列, 它们是专门为工业高真空应用而设计, 其中包括玻璃镀膜装置、真空炉、金属镀膜、物理气相沉积 (PVD)、表面处理或薄膜镀膜等应用。

RANGU 扩散真空泵依据久经考验的蒸汽原理运行, 即使在恶劣的条件下也具有出色的可靠性。

工作原理

RANGU 扩散真空泵的基本部件是一个底部可加热的圆柱形泵组, 油被用作液体并被加热。油液蒸汽升至喷嘴系统中, 然后经过数级蒸汽处理,油液在高压下被排出系统。

工艺气体分子被这些蒸汽收集,并继续向前级泵的出口输送。油蒸汽在水冷真空泵机组的内表面凝结,并被导流回底部。

RANGU DF

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坚固可靠的高真空发生器

  • 很高的抽气速率和气体流量
  • 操作可靠
  • 使用寿命长
  • 几乎免维护

RANGU DF 系列的优势

RANGU DF 扩散真空泵是高真空应用的理想解决方案, 它们是需要高抽速和气体流量工艺的理想选择。

该系列真空泵具有性能出色、稳定并且运行可靠等突出特点。即使在可能会导致其他真空泵损坏的恶劣工作条件下,它们也几乎不会受到影响。它们能够维持高运行效率,几乎免维护

RANGU 扩散真空泵可在10-3 hPa (mbar) 的进气压力下运行。为了产生预真空,我们推荐使用 R5 旋片真空泵或 COBRA 螺杆真空泵,并为每台真空泵都配备一台罗茨泵。

所有 RANGU DF 产品

  • RANGU DF 1000-2800 A
    RANGU DF 1000-2800 A

    极限压力:
    < 7 · 10⁻⁸ hPa (mbar)
    额定抽速:

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