RANGU
扩散真空泵
RANGU 是扩散真空泵系列， 它们是专门为工业高真空应用而设计， 其中包括玻璃镀膜装置、真空炉、金属镀膜、物理气相沉积 (PVD)、表面处理或薄膜镀膜等应用。
RANGU 扩散真空泵依据久经考验的蒸汽原理运行， 即使在恶劣的条件下也具有出色的可靠性。
工作原理
RANGU 扩散真空泵的基本部件是一个底部可加热的圆柱形泵组， 油被用作液体并被加热。油液蒸汽升至喷嘴系统中， 然后经过数级蒸汽处理，油液在高压下被排出系统。工艺气体分子被这些蒸汽收集，并继续向前级泵的出口输送。油蒸汽在水冷真空泵机组的内表面凝结，并被导流回底部。
RANGU DF
坚固可靠的高真空发生器
- 很高的抽气速率和气体流量
- 操作可靠
- 使用寿命长
- 几乎免维护
RANGU DF 系列的优势
RANGU DF 扩散真空泵是高真空应用的理想解决方案， 它们是需要高抽速和气体流量工艺的理想选择。
该系列真空泵具有性能出色、稳定并且运行可靠等突出特点。即使在可能会导致其他真空泵损坏的恶劣工作条件下，它们也几乎不会受到影响。它们能够维持高运行效率，几乎免维护。
RANGU 扩散真空泵可在10-3 hPa (mbar) 的进气压力下运行。为了产生预真空，我们推荐使用 R5 旋片真空泵或 COBRA 螺杆真空泵，并为每台真空泵都配备一台罗茨泵。
