
工作原理
罗茨泵如何运行?
罗茨泵能够提高真空泵的抽速和极限压力, 它们可以将真空系统的性能提升约十倍。
罗茨泵依据久经考验的罗茨原理工作:在罗茨泵的外壳中,两个转子同步旋转。它们既不相互接触,也不与外壳接触。因此,工艺室内无需添加任何润滑液或工作液。
在转子旋转过程中,转子和外壳之间的气体被传输到前级泵中。
两个转子由位于齿轮箱轴端并与压缩腔室分离的一对齿轮驱动, 如此可确保精确的同步转子运转。
罗茨泵在有无机械旁通阀的情况下均可工作。在无机械旁路的情况下,必须注意在操作过程中保持入口和出口之间的最大允许压差。在有旁通阀的罗茨泵中,一部分泵送介质被转移。因此,入口和出口之间的压差会自动受到限制,并且可以防止罗茨泵过载。