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COBRA Semicon

干式螺杆真空泵

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COBRA Semicon 干式螺杆真空泵是光伏电池、平板显示器、半导体生产等高要求工艺以及众多工业镀膜应用的理想之选。

COBRA Semicon 的工作原理基于我们先进的螺杆技术。得益于荣获专利的自平衡螺杆,它们在效率方面树立了全新标准。

COBRA Semicon 兼具大气量与高蒸汽和颗粒耐受力。因此,它们可以顺利抽取含颗粒的介质。

无油和非接触式运行的工作原理可确保低维护需求、低运行成本及长使用寿命。

COBRA Semicon 尺寸紧凑,即使在狭小空间中也易于安装。

工作原理

在 COBRA Semicon 干式螺杆真空泵中,两个螺杆转子沿着相反方向旋转。泵送的介质被吸入泵腔和螺杆之间, 经压缩后输送至排气口。在此过程中,螺杆转子不会相互接触,也不与泵腔接触。

探索我们的 COBRA Semicon 系列

COBRA BA

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风冷型即插即抽解决方案

  • 先进的螺杆设计
  • 采用干式和非接触式工作原理
  • 独特的“悬空轴承”设计
  • 悬臂结构
  • 紧凑型设计
  • 高效风冷型
  • 可选装变频器
COBRA BA 系列的优势
COBRA BA 是久经验证的干式螺杆真空泵,特别适用于杀菌、冶金、气体回收或熔炉等高要求工艺。

荣获专利的自平衡螺杆设计可确保尽可能低的振动水平和静音运行。

COBRA BA 真空泵配备钟形悬臂结构:带有变螺距螺杆的双转子仅安装于电机一侧。得益于独特的“悬空轴承”设计,不需要入口轴承。因此,泵送介质不会接触到轴承。这样可以确保产生洁净真空,并可以基本回收泵送介质。

COBRA BA 真空泵采用高效的风冷方式。

直接安装的密闭式电机使 COBRA BA 系列的尺寸非常紧凑

所有 COBRA BA 产品
  • COBRA BA 0100 C

    COBRA BA 0100 C

    极限压力:
    0.01 hPa (mbar)
    额定抽速:
    85 m³/h

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COBRA BC

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适用于洁净至一般苛刻半导体应用的理想解决方案

  • 先进的螺杆设计
  • 采用干式和非接触式工作原理
  • 独特的“悬空轴承”设计
  • 悬臂结构
  • 紧凑的就地安装设计
  • 直接水冷
  • 完全开放的通信协议
视频:COBRA BC 真空泵的工作方式
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COBRA BC 系列的优势
COBRA BC 真空泵非常适合 load lock 腔和传送腔体中的抽空需求。此外,它还广泛适用于计量、平版印刷术、物理气相沉积、快速热退火和硅基板刻蚀等诸多应用。

荣获专利的自平衡螺杆设计可确保尽可能低的振动水平和静音运行。

COBRA BC 真空泵的螺杆由一体式铸件制成,可避免任何间隙, 从而避免工艺液体或颗粒进入。因此,可以防止受到腐蚀和出现沉积。

COBRA BC 真空泵配备钟形悬臂结构:带有变螺距螺杆的双转子仅安装于电机一侧。得益于独特的“悬空轴承”设计,不需要入口轴承。因此,泵送介质不会接触到轴承。这样可以确保产生洁净真空,并可以基本回收泵送介质。

COBRA BC 系列真空泵采用出色的直接水冷方式。由此可确保泵体均衡的温度分布, 亦可确保运行期间的热稳定性。

根据完全开放的通信协议(Modbus TCP-IP),您可以控制所有功能, 包括怠速模式和变速驱动装置。该通信协议可以使用标准接口组件轻松适用特定的网络协议。

直接安装的密闭式电机使 COBRA BC 系列的尺寸更加紧凑。凭借其就地安装设计,该系列产品可以被快速、轻松地加装到现有系统中。

所有 COBRA BC 产品
  • COBRA BC 0100/0200 F

    COBRA BC 0100/0200 F

    极限压力:
    0.01 hPa (mbar)
    额定抽速:
    min. 100 m³/h max. 165 m³/h

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  • COBRA BC 0100/0200 F Premium Efficiency

    COBRA BC 0100/0200 F Premium Efficiency

    极限压力:
    0.005 hPa (mbar)
    额定抽速:
    min. 115 m³/h max. 175 m³/h

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  • COBRA BC 0101 G

    COBRA BC 0101 G

    极限压力:
    0.01 hPa (mbar)
    额定抽速:
    100 m³/h

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  • COBRA BC 0600 F

    COBRA BC 0600 F

    极限压力:
    0.003 hPa (mbar)
    额定抽速:
    520 m³/h

    了解更多
  • COBRA BC 0600 F Premium Efficiency

    COBRA BC 0600 F Premium Efficiency

    极限压力:
    0.001 hPa (mbar)
    额定抽速:
    530 m³/h

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  • COBRA BC 0601–1200 A/G

    COBRA BC 0601–1200 A/G

    极限压力:
    0.003 hPa (mbar)
    额定抽速:
    min. 870 m³/h max. 550 m³/h

    了解更多
  • COBRA BC 1000/2000 F

    COBRA BC 1000/2000 F

    极限压力:
    0.003 hPa (mbar)
    额定抽速:
    min. 930 m³/h max. 1580 m³/h

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  • COBRA BC 1000 F Premium Efficiency

    COBRA BC 1000 F Premium Efficiency

    极限压力:
    0.001 hPa (mbar)
    额定抽速:
    955 m³/h

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COBRA DS

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适用于高要求工艺的新一代干式真空泵

  • 先进的螺杆设计
  • 采用干式和非接触式工作原理
  • 出色的粉末处理能力
  • 高效的间接水冷
  • 紧凑的就地安装设计
  • 高抽氢速率
  • 高效率电机
  • 尺寸丰富并配备集成罗茨泵
COBRA DS 系列的优势
COBRA DS 干式螺杆真空泵是适用于高要求工艺的理想真空获得设备。即使在需要高氢气吞吐量的条件下,亦能胜任。因此,它们非常适用于化学气相沉积、快速热处理或原子层沉积等应用。

不同型号的 COBRA DS 系列产品均配备集成的高性能罗茨泵, 前级泵和罗茨泵的组合使用提升了抽速和极限压力。

荣获专利的自平衡螺杆设计可确保出色的粉末处理能力和长时间正常运行。

COBRA DS 真空泵的螺杆由一体式铸件制成,可避免任何间隙, 从而避免工艺液体或颗粒进入。因此,可以防止受到腐蚀和出现沉积。

COBRA DS 系列真空泵采用高效的间接水冷方式。因此,可以控制整个泵体的温度分布, 可随时响应工艺变化。

凭借就地安装设计,COBRA DS 可以被快速、轻松地加装到现有系统中。

所有 COBRA DS 产品
  • COBRA DS 0080/0160 G

    COBRA DS 0080/0160 G

    极限压力:
    0.03 hPa (mbar)
    额定抽速:
    min. 70 m³/h max. 140 m³/h

    了解更多
  • COBRA DS 0600 E

    COBRA DS 0600 E

    极限压力:
    0.01 hPa (mbar)
    额定抽速:
    600 m³/h

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  • COBRA DS 0700–2000 G

    COBRA DS 0700–2000 G

    极限压力:
    0.003 hPa (mbar)
    额定抽速:
    min. 500 m³/h max. 1365 m³/h

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  • COBRA DS 1200/1800 A

    COBRA DS 1200/1800 A

    极限压力:
    0.003 hPa (mbar)
    额定抽速:
    min. 1200 m³/h max. 1700 m³/h

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  • COBRA DS 2610–3161 A/E

    COBRA DS 2610–3161 A/E

    极限压力:
    0.001 hPa (mbar)
    额定抽速:
    min. 1830 m³/h max. 3200 m³/h

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  • COBRA DS 3181 A

    COBRA DS 3181 A

    极限压力:
    0.001 hPa (mbar)
    额定抽速:
    3500 m³/h

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  • COBRA DS 5161–9161 A/B/F

    COBRA DS 5161–9161 A/B/F

    极限压力:
    0.001 hPa (mbar)
    额定抽速:
    min. 4200 m³/h max. 6000 m³/h

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  • COBRA DS 8162/8163 B/F

    COBRA DS 8162/8163 B/F

    极限压力:
    0.001 hPa (mbar)
    额定抽速:
    min. 7000 m³/h max. 7385 m³/h

    了解更多