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TORRI

多级罗茨真空泵

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TORRI 多级罗茨真空泵可为抽空 load lock 腔体提供结构紧凑、高效节能的解决方案。

该泵具有低极限压力和出色腔体抽真空时间等特点。

工作原理

TORRI BD 真空泵依据久经考验的旋转转子原理进行工作。通过转子的旋转运动,泵送介质被一级级输送至出口。

由于转子具有特殊轮廓且采用精密工艺制造,它们不会彼此触碰或触碰到壳体。此外,压缩腔内无需添加任何润滑液或工作液。

转子由直接耦合连接的同步水冷型电机驱动。

TORRI BD

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用于 load lock 腔体的紧凑、高效解决方案

  • 低振动、低噪声级
  • 重量轻盈
  • 尺寸小巧
  • 采用干式和非接触式工作原理
  • 使用寿命长
  • 总拥有成本低
TORRI BD 系列的优势
TORRI BD 是市场上小尺寸、低重量的 高效 干式多级罗茨真空泵之一。因此,该款真空泵是用于抽空 load lock 腔体的理想解决方案。

依托其久经验证的工作原理,它们可以实现 低极限压力 。其出色的腔体抽真空时间进一步缩短了总平均循环周期。

完全开放的通信协议 (Modbus RTU) 可以使用标准接口组件轻松适用特定的网络协议。

选配的 LCD 控制器可以 轻松监控 真空泵的状态。可以显示所有相关参数,如电机温度、电机电流、冷却水流量和泵体温度。

所有 TORRI BD 产品
  • TORRI BD 0100–0600 A

    TORRI BD 0100–0600 A

    极限压力:
    min. 0.01 hPa (mbar) max. 0.001 hPa (mbar)
    额定抽速:
    min. 100 m³/h max. 600 m³/h

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