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乾式螺旋轉子真空泵浦

技術說明

幹式螺旋轉子真空泵浦利用兩套旋轉方向相反的螺旋轉子工作。泵送介質在各爪形轉子之間被截留,經壓縮後輸送至排氣口。在壓縮過程中,螺旋轉子不相互接觸,也不與泵缸接觸。在壓縮過程中,螺旋轉子間不相互接觸,也不與腔體接觸。這意味著壓縮室無需潤滑劑或工作液。

COBRA Industry
COBRA Semicon

 

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幹式螺旋轉子真空泵浦利用兩套旋轉方向相反的螺旋轉子工作。泵送介質在各爪形轉子之間被截留,經壓縮後輸送至排氣口。在壓縮過程中,螺旋轉子不相互接觸,也不與泵缸接觸。在壓縮過程中,螺旋轉子間不相互接觸,也不與腔體接觸。這意味著壓縮室無需潤滑劑或工作液。

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