最多種類的真空技術 —— 無需妥協

技术
Oil-Lubricated Rotary Vane Vacuum Pumps

油式迴轉葉片真空泵浦

技術說明

迴轉葉片技術簡化了真空泵浦的製程結構。油式迴轉葉片設計,輔以完美的製作材料,配以最先進的精密製造,確保其在持續運行時可以獲得穩定的高真空。高效的抽氣系統和集成式回油管路結合先進的排氣篩檢程式能確保排氣潔淨無油污染。當配備氣鎮閥(可選)時,可處理更大容量的蒸汽。當關閉真空泵浦時,入口法蘭內的單向閥可防止空氣回流至真空倉內。

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Dry Claw Vacuum Pumps and Compressors

幹式無油爪真空泵浦和壓縮機

技術說明

真空泵浦的兩個爪形轉子在缸體內以彼此相反的方向旋轉。憑藉這對轉子的形狀吸入、壓縮以及排出空氣或製程氣體。爪型轉子之間既不會互相接觸,也不會與其運轉所在的缸體發生接觸。爪型轉子與缸體之間的緊密間隙既對其密封性進行了優化,又保證了持續的高抽速。同步齒輪確保了轉子精確的同步運轉。

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Dry Screw Vacuum Pumps

乾式螺旋轉子真空泵浦

技術說明

幹式螺旋轉子真空泵浦利用兩套旋轉方向相反的螺旋轉子工作。泵送介質在各爪形轉子之間被截留,經壓縮後輸送至排氣口。在壓縮過程中,螺旋轉子不相互接觸,也不與泵缸接觸。在壓縮過程中,螺旋轉子間不相互接觸,也不與腔體接觸。這意味著壓縮室無需潤滑劑或工作液。

Roots Vacuum Pumps

魯式真空泵浦

技術說明

在旋轉葉片真空增壓泵浦內,兩個葉片同步旋轉。由於轉子採用特殊設計及精密製造,它們在運行時不會相互或與腔體接觸。這樣無需借助任何工作液即可泵送介質。同步旋轉的兩個轉子由一對齒輪驅動,其位於齒輪箱的軸端,與壓縮腔室相分離。

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Dry Running Rotary Vane Vacuum Pumps

幹式運行迴轉葉片真空泵浦

技術說明

真空泵浦的工作方式基於成熟的迴轉葉片技術原理。借助於自潤滑迴轉葉片,無需使用工作液。壓縮過程與整個流程一致,均為完全幹式運行。各種材料的完美整合、壓縮室配備的特殊石墨葉片、有效排熱以及採用最新的精密製造技術,共同保證了連續供應始終如一的高真空度。

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Rotary Lobe Blowers

魯式風機

技術說明

三葉魯式風機依照魯式系統原理工作:兩個平行的轉子在泵體內以相反的方向運轉。泵送介質被密封在轉子和泵腔之間,將其壓縮,並通過旋轉運動從機殼處泵送至排氣口,然後排放。 風機入口配備有集成消音功能的進氣篩檢程式。而被壓縮介質經風機排放之前,它也將由排氣消音器處理後排出。驅動設備由馬達及三角皮帶構成。三角皮帶的驅動方式可使風機轉速得到精確的調節以配合製程。

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Liquid Ring Vacuum Pumps

水封式真空泵浦

技術說明

水封式真空泵浦配備有偏置葉輪。水封式由在泵殼內同心旋轉的工作液(通常是水)形成。工業廢氣通過吸入口進入,在葉輪片之間傳送,壓縮之後通過排氣口排出,還會伴隨一些工作液。真空泵浦可採用水迴圈的開環或閉環進行操作。

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Side Channel Blowers

側流風機

技術說明

側風道再生風機根據脈衝原理運行。氣體通過風機進氣口抽入,隨著葉輪旋轉,產生的動能將傳送到要抽吸的氣體。這樣,氣體就會通過螺旋形通道向前移動並壓縮,然後通過壓力側排氣消音器排出。葉輪直接安裝在馬達軸上,與特殊形狀的機殼一同形成側通道。Samos 側風道再生風機可用於產生真空和壓力。馬達功率可影響風機的泵速或排氣速度。進氣端和排氣端分別安裝一個消音器,保證流風機安靜運行。

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Scroll Vacuum Pumps

渦捲式真空泵浦

技術說明

渦捲式真空泵浦包含固定渦捲盤和驅動渦捲盤。隨著驅動渦捲盤移動,真空泵浦進氣口處會形成空洞,吸入氣體。隨著轉子進一步移動,氣體穩定壓縮,直至排放到泵浦排氣口的大氣中。

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Turbomolecular Vacuum Pumps

渦輪分子真空泵浦

技術說明

渦輪分子真空泵浦根據渦輪葉片原理運行。高速旋轉的渦輪葉片將動量傳遞給氣體分子,使其最初雜亂無章的運動轉化成泵體內部的受控流。渦輪分子真空泵浦的泵浦過程將氣體分子通過真空泵浦從低壓法蘭口傳送至高壓排氣口。只有旋轉葉片端面高速度運轉,氣體分子才能產生這樣的動能。

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Diffusion Vacuum Pumps

擴散真空泵浦

技術說明

擴散真空泵浦的基本元件是一個圓柱形泵浦和可加熱底部。 擴散真空泵浦結構包含一個連接到中央多階段噴氣式配件的燃油鍋爐。加熱後的油以超音速從噴氣式配件中噴射出來,處理氣體分子被置入油噴氣流,並通過泵體由更重的油分子動量完成轉化。該過程將氣體分子從低壓入口法蘭移向擴散泵浦的前端真空口,油在此處彙集並返回鍋爐,處理氣體分子被初級泵浦移除。

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