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  • torri_bd_0100_a

TORRI BD 0100–0600 A

迴轉魯式

用於預抽腔的緊湊、高能效解決方案。

靈活

對預抽腔實現最短抽真空時間

高效

極低的耗能量、最少維護工作量、長效運行

結構精巧

小巧輕質

技術規範

市場和應用

半導體生產
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