久經考驗的技術,行之有效的設計 — 選擇最佳解決方案

COBRA BC 0600 F Premium Efficiency

  • 高效:
    性價比高、運行時間長、節能
  • 維護簡易:
    維護間隔長
  • 運行可靠:
    運行可靠
  • 靈活:
    適用各種不同應用
  • 安靜:
    噪音等級 < 62 dB(A)
     

COBRA BC 0600 F Premium Efficiency 是 COBRA BC 系列產品組合中一款 成熟的乾式螺旋轉子真空泵浦。能夠 向要求最為苛刻的太陽能、平板和半 導體應用提供一流的抽吸速度。

由於採用獨特的螺旋轉子設 計,COBRA BC 系列具有卓越的粉末 和顆粒處理能力。前級泵浦和真空增 壓器組裝在精巧的底架上,體現其成 熟設計。

COBRA 系列真空泵浦能夠降低擁有 權總成本。高效馬達和怠速模式功能 提高能源效率。執行時間長、所需空 間小,在通常情況下可以輕鬆改裝, 因此能夠進一步節約成本。

應用

  • Load Lock負荷鎖定 (有條件)
  • 傳輸應用
  • 計量量測應用
  • 光刻
  • 物理氣相沉積 (PVD)
  • 快速熱退火 (RTA)
     

Premium Efficiency
Busch 的全新 Premium Efficiency 級產品將尖端技術與運行特性完美結 合,並樹立起新的標杆。配備 Busch 最新 VacBoost(真空增壓)技術的 Premium Efficiency 系列產品是一種 全面綜合性的解決方案,涵蓋能耗節 能、效率、可靠性、服務及永續發展 諸多優勢因素。

  • 高達 40%之節能效益
  • 整合性之技術平臺,為同級類產品中之最佳節能效率
  • 高可靠性能、低維護成本
  • Bucsh提供完全之備援服務
  • 降低整體生命週期之總成本
  • 較少之能源消耗以達環境永續發展

COBRA Premium Efficiency– 適用于嚴苛製程 的新一代高抽速真空泵浦

COBRA Premium Efficiency– 適用于嚴苛製程 的新一代高抽速真空泵浦

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技術說明

Technical specifications
COBRA BC 0600 F Premium Efficiency 螺旋轉子真空泵浦採用旋轉方向相反 的兩個螺旋轉子,口可快速壓縮並輸 送至出排氣口。此螺旋結構在最大程 度上減少了氣體在真空泵浦中的停滯 時間,因此具有最佳的粉末處理和重 啟能力。

與標準螺旋轉子設計相比,這種先進 的螺旋轉子設計耗電較少,同時壓縮 氣體的熱負荷也較低。BC 系列泵浦 採用直接的冷卻方法,可使整個泵浦 體的溫度保持均勻,從而消除冷點, 並提供具有熱穩定性的水冷套。

獨特的“flying bearing”螺旋轉子 設計消除了進氣口軸承的問題,可以 減少佔用的空間。

製圖
排氣量

空氣溫度 20°C 容許值 ±10%

50 Hz 60 Hz
排氣量
技術資料 COBRA BC 0600 F Premium Efficiency
額定抽速 530 m³/h
極限壓力 0.001 hPa (mbar)
前置真空泵浦馬達額定功率 1.5 kW
魯式泵浦馬達額定功率 4.0 kW
前级泵电机额定转速 3000 min-1
罗茨泵电机额定转速 3000 min-1
極限壓力/怠速模式下的功率消耗 1.3 / 0.45 kW
噪音(ISO 2151) 62 dB(A)
用水量 3.0 l/min
乾壓縮空氣消耗 25 l/min*
重量(約) 315 kg
尺寸(長 x 寬 x 高) 933 x 354 x 694 mm
進氣口/排氣口 DN 63 ISO-K / DN 40 ISO-KF
* Nitrogen can be used as alternative

技術說明

Technical specifications
COBRA BC 0600 F Premium Efficiency 螺旋轉子真空泵浦採用旋轉方向相反 的兩個螺旋轉子,口可快速壓縮並輸 送至出排氣口。此螺旋結構在最大程 度上減少了氣體在真空泵浦中的停滯 時間,因此具有最佳的粉末處理和重 啟能力。

與標準螺旋轉子設計相比,這種先進 的螺旋轉子設計耗電較少,同時壓縮 氣體的熱負荷也較低。BC 系列泵浦 採用直接的冷卻方法,可使整個泵浦 體的溫度保持均勻,從而消除冷點, 並提供具有熱穩定性的水冷套。

獨特的“flying bearing”螺旋轉子 設計消除了進氣口軸承的問題,可以 減少佔用的空間。

製圖
排氣量

空氣溫度 20°C 容許值 ±10%

50 Hz
60 Hz
排氣量
技術資料 COBRA BC 0600 F Premium Efficiency
額定抽速 530 m³/h
極限壓力 0.001 hPa (mbar)
前置真空泵浦馬達額定功率 1.5 kW
魯式泵浦馬達額定功率 4.0 kW
前级泵电机额定转速 3000 min-1
罗茨泵电机额定转速 3000 min-1
極限壓力/怠速模式下的功率消耗 1.3 / 0.45 kW
噪音(ISO 2151) 62 dB(A)
用水量 3.0 l/min
乾壓縮空氣消耗 25 l/min*
重量(約) 315 kg
尺寸(長 x 寬 x 高) 933 x 354 x 694 mm
進氣口/排氣口 DN 63 ISO-K / DN 40 ISO-KF
* Nitrogen can be used as alternative

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