久經考驗的技術,行之有效的設計 — 選擇最佳解決方案

COBRA BC 0100 / 0200 F

  • 高效:
    性價比高、運行時間長、節能
  • 維護簡易:
    維護間隔長
  • 可靠:
    運行可靠
  • 靈活:
    適用各種不同應用
  • 安靜:
    噪音等級 < 58 dB(A)
     

COBRA BC 0100 F 是驗證過的 COBRA BC 系列產品組合中的一款乾 式螺旋式真空泵浦,處理能力更加強 大,可以為製程嚴苛的太陽能、平板 顯示器和半導體應用提供世界一流的 精巧型、高負荷和大氣體流量Load Lock解決方案。該真空泵浦採用獨特 的螺旋式泵浦設計,具有卓越的粉塵 處理能力。

COBRA BC 0100 F 配備有高能效馬 達和最世界先進的休眠模式功能,可 節省大量能耗。

由於該 COBRA 系列採用最優化的空 間設計,並具有節能潛力,因此運行 成本極低。

應用

  • 高密度等離子體化學氣相沉積 (HDP CVD)
  • 快速熱處理 (RTP)
  • 次大氣壓化學氣相沉積 (SACVD)
  • 金屬有機物化學氣相沉積 (MOCVD)
  • 等離子體增強化學氣相沉積 (PECVD)
  • 低壓化學氣相沉積(LPCVD)
  • 原子層沉積 (ALD)
  • 大容量進出片室 (Load Lock)

COBRA – 適用于嚴苛製程 的新一代高抽速真空泵浦

COBRA – 適用于嚴苛製程 的新一代高抽速真空泵浦

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技術說明

技術資料

COBRA BC 0100 F 螺旋式真空泵浦 採用反向旋轉的兩個轉子,透過螺旋 轉子螺桿與腔體間產生的腔室將抽取 的製程介質逐級輸送至排氣口。此螺 旋螺桿結構在最大程度上減少了氣體 介質在真空泵浦中的停滯時間,使其 具有最佳的粉塵處理及重啟能力。

與標準螺旋式螺桿設計相比,進階螺 旋式螺桿式設計使其能耗耗能更低, 壓縮後的氣體溫度也更低。BC 系列 採用直接間接冷卻方式製冷法,可使 整個泵浦本體保持恒定溫度,從而消 除冷點,並為冷卻水夾套提供穩定的 溫度。

特有的“flying bearing” 螺旋轉子 螺桿設計解決了進氣口軸承的問題, 佔用空間更小。

COBRA BC 螺旋式真空泵浦加裝特 殊塗層後還可以處理腐蝕性氣體和蒸 氣。

製圖 COBRA BC 0100 F
COBRA BC 0100 F
排氣量

空氣溫度 20°C 容許值 ±10%

50 Hz 60 Hz
排氣量
技術資料 COBRA BC 0100 F COBRA BC 0200 F
額定抽速 100 m³/h 165 m³/h
極限壓力 0.01 hPa (mbar) 0.01 hPa (mbar)
馬達額定功率 1.5 kW 2.9 kW
馬達額定轉速 3600 min-1 4570 min-1
極限壓力時的功率消耗 1.3 kW 1.6 kW
噪音(ISO 2151) 58 dB(A) 60 dB(A)
用水量 1.0 l/min 2.0 l/min
氮氣消耗 0 - 50 l/min 0 - 50 l/min
重量(約) 120 kg 130 kg
尺寸(長 x 寬 x 高) 829 x 304 x 362 mm 806 x 304 x 392 mm
進氣口/排氣口 DN 50 KF / DN 40 KF DN 50 KF / DN 40 KF

技術說明

技術資料

COBRA BC 0100 F 螺旋式真空泵浦 採用反向旋轉的兩個轉子,透過螺旋 轉子螺桿與腔體間產生的腔室將抽取 的製程介質逐級輸送至排氣口。此螺 旋螺桿結構在最大程度上減少了氣體 介質在真空泵浦中的停滯時間,使其 具有最佳的粉塵處理及重啟能力。

與標準螺旋式螺桿設計相比,進階螺 旋式螺桿式設計使其能耗耗能更低, 壓縮後的氣體溫度也更低。BC 系列 採用直接間接冷卻方式製冷法,可使 整個泵浦本體保持恒定溫度,從而消 除冷點,並為冷卻水夾套提供穩定的 溫度。

特有的“flying bearing” 螺旋轉子 螺桿設計解決了進氣口軸承的問題, 佔用空間更小。

COBRA BC 螺旋式真空泵浦加裝特 殊塗層後還可以處理腐蝕性氣體和蒸 氣。

製圖
COBRA BC 0100 F
COBRA BC 0100 F
排氣量

空氣溫度 20°C 容許值 ±10%

50 Hz
60 Hz
排氣量
技術資料 COBRA BC 0100 F COBRA BC 0200 F
額定抽速 100 m³/h 165 m³/h
極限壓力 0.01 hPa (mbar) 0.01 hPa (mbar)
馬達額定功率 1.5 kW 2.9 kW
馬達額定轉速 3600 min-1 4570 min-1
極限壓力時的功率消耗 1.3 kW 1.6 kW
噪音(ISO 2151) 58 dB(A) 60 dB(A)
用水量 1.0 l/min 2.0 l/min
氮氣消耗 0 - 50 l/min 0 - 50 l/min
重量(約) 120 kg 130 kg
尺寸(長 x 寬 x 高) 829 x 304 x 362 mm 806 x 304 x 392 mm
進氣口/排氣口 DN 50 KF / DN 40 KF DN 50 KF / DN 40 KF

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