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圖 1:Busch 的 VACTEST 真空量測設備的三大產品系列(從左至右):VACTEST 數位變送器、VACTEST 類比變送器、VACTEST 移動式計量表。來源:Busch 真空解決方案公司。

監控和控制真空製程輕而易舉

VACTEST

在製程工程中,準確遵守真空輔助製程中的壓力是確保卓越效率和出色產品品質之重要因素。Busch 的 VACTEST 真空量測設備旨在將真空量測技術的最新發展成果與卓越製造品質相結合——提供一系列創新、全面的有源真空錶和控制器產品。這使得為每項製程匹配合適的量測技術成為可能。

這些設備具有結構堅固、可靠性及量測精準度高等突出特性,無論是應用於工業生產或科研,都是監測和控制您的真空工藝流程的理想之選。憑藉諸多先進技術實現從 1600 到 5 · 10-10 毫巴的廣泛量測範圍,高精度覆蓋所有真空度。所有感應器均符合國際標準和法規,例如 CE 和 RoHS。

VACTEST產品系列中的眾多不同感應器技術涵蓋了粗真空和超高真空之間的整個範圍。它們基本上可以分為兩大類別:直接壓力量測和間接壓力量測。直接量測原理與製程氣體無關,而是基於分子流施加在膜片上的壓力。此方法主要用於粗真空和中真空製程。在更高的真空度下則使用間接量測原理,其以製程氣體之特殊屬性為基礎,例如熱導率或電離幾率。不同於直接量測方式,這些原理取決於製程氣體之類型。出於這個原因,必須為每種製程氣體應用特定的修正係數——除了空氣和氮氣。

選擇恰當的感應器時必須考慮大量因素。除了製程和環境條件外,壓力範圍、所需精度和氣體組成在實現優異量測結果中也起著關鍵作用。Busch VACTEST 擁有三條生產線,可以滿足每個真空系統或製程的精度、量測範圍和功能要求。

VACTEST 數位變送器是一款高端計量儀錶,帶有各種可選配置,符合各項標準要求。它們的智慧微控制器架構可實現出色感應器控制以及許多設定選項,使它們成為各類應用之理想解決方案。VACTEST 數位變送器以 Pirani 感應器技術或 Pirani/冷陰極或 Pirani/熱陰極技術之組合為基礎。

VACTEST 類比變送器採精巧、堅固的實用性設計。憑藉優異的測量精准度和穩定性,這些發射器成為集中監測和控制系統的理想之選。

VACTEST 移動式計量表是理想的手持式解決方案,確保真空製程和維護的品質。這些由電池供電的計量儀錶提供豐富功能,例如用於匯出和顯示資料的 USB 介面以及資料記錄器。它們甚至可以在真空環境下使用。例如,這些計量儀錶可以密封在真空包裝中,以量測包裝內的壓力。

VACTEST 有源感應器控制器是一款緊湊型控制單元,專為多個真空錶同時操作而設計,完善了產品系列。它們既可用作桌面設備,也可安裝於機架上,可實現直覺式選單導航並確保對每個變送器的完全控制。氣體類型修正因數、壓力單位、設定點等參數和其他有益功能可以輕鬆調節。

除量測設備外,還提供 VACTEST Viewer。這是一款免費藍牙監控應用程式,適用於搭載 Android 作業系統的行動裝置。它可以用於顯示多達 16 個連線感應器的壓力值。此工具設計用於軟體和感應器之間的藍牙資料交換,非常適合用於維護和校準。可以為最大和最小壓力值預設定視覺和聲音警報。