揮發性有毒物質
有一組物質在土地污染中特別重要：揮發性有機物 (VOC)。它們包括比如大多數石油產品。它們作為以往遺留的廢棄物，在土壤中並不少見。VOC 有害甚至有毒。若是它們進入地下水，那麼便不再適合作為飲用水。作為揮發性物質，它們會擴散到地面附近的大氣中，污染與我們近在咫尺的呼吸空氣。受污染的土壤無法用於農業或建築工地，必須予以淨化。
土壤空氣和熱真空
透過土壤蒸汽提取法現場淨化。為此，在污染土壤中搭建豎直井道並插入穿孔管。用碎石予以充填，然後井道向表層土壤和下方地下水雙向密封。透過生成真空，從周圍土壤曾中提取 VOC 蒸汽並轉移至空氣淨化系統。製程效果還可進一步加強：在高水平超壓下，熱空氣透過附加管道和井道強制進入地面。高溫加劇 VOC 蒸發，並且從超壓到真空發生更劇烈的下表面氣體流動。熱真空製程尤其可用於重度污染土壤。在此，土壤被移除並轉移至加工廠。材料承受最高 270 攝氏度以及高達 10 mbar 的真空。揮發性物質可完整蒸發，然後冷凝並匯集。真空不僅有助於蒸發，還可確保安全排出污染物。各式各樣的 BUSCH 真空泵浦可用於兩種製程。