Prosím aktualizujte svůj prohlížeč.

Zdá se, že používáte starou verzi prohlížeče Microsoft Edge. Pro co nejlepší zobrazení webové stránky Busch prosím aktualizujte svůj prohlížeč.

  • cobra_bc_1200_a

COBRA BC 0601–1200 A/G

Suchoběžné šroubové vývěvy

Ideální řešení pro lehké až středně těžké polovodičové aplikace

Vysoká výkonnost

Pokročilý šroubový design, konstrukce ve tvaru zvonu, patentované samovyvažovací šrouby, vynikající provozní vlastnosti, integrovaný vakuový posilovač, dokonale vhodné pro studené procesy depozice tenkých vrstev zdymadla a přetlačovací komory, metrologii, litografii, fyzikální depozici par a rychlý tepelný ohřev a procesy leptání, jako například kyslík, silikon a kov

Účinné

Nízké pořizovací náklady, minimální údržba, dlouhé servisní intervaly, dlouhá provozní doba, přímé vodní chlazení

Kompaktnost

Prostorově úsporný design, přímo montovaný zapouzdřený motor, základová vývěva a vakuový posilovač zkombinované na kompaktním základovém rámu

Technické specifikace

Trhy a aplikace

Manipulace s bioplynem
  • Upgrade – adsorpce kolísání tlaku
Výroba polovodičů
  • Střední
Solární průmysl
  • Fyzikální depozice par (PVD)