COBRA BC 0601–1200 A/G
Suchoběžné šroubové vývěvy
Ideální řešení pro lehké až středně těžké polovodičové aplikace
Vysoká výkonnost
Pokročilý šroubový design, konstrukce ve tvaru zvonu, patentované samovyvažovací šrouby, vynikající provozní vlastnosti, integrovaný vakuový posilovač, dokonale vhodné pro studené procesy depozice tenkých vrstev zdymadla a přetlačovací komory, metrologii, litografii, fyzikální depozici par a rychlý tepelný ohřev a procesy leptání, jako například kyslík, silikon a kov
Účinné
Nízké pořizovací náklady, minimální údržba, dlouhé servisní intervaly, dlouhá provozní doba, přímé vodní chlazení
Kompaktnost
Prostorově úsporný design, přímo montovaný zapouzdřený motor, základová vývěva a vakuový posilovač zkombinované na kompaktním základovém rámu
Technické specifikace
Trhy a aplikace
-
Střední
-
Fyzikální depozice par (PVD)