Systémy pro snižování množství plynů
Naše řešení: GABA
Polovodičový průmysl využívá plyny, které jsou toxické, vznětlivé a dokonce škodlivé pro životní prostředí, ale také pro lidi. Například při výrobě mikročipů. Dle národní legislativy musí být množství těchto plynů sníženo pod příslušnou mezní hodnotu (TLV).Různé plyny vyžadují různé technologie zpracování, jako například tepelné, mokré nebo dokonce kombinaci obou technologií. Procesní výfukové plyny mohou být poté vypouštěny do atmosféry bez poškozování přírody pro zelenější svět.
GABA AWE
- Inovativní technologie mokrého čističe
- Pro kritické procesy EPI v polovodičovém průmyslu
- Patentovaný redukční ventil proti ucpávání přívodu
- Prodloužené servisní intervaly
- Ke sběru vedlejších produktů není nutný medomet
- Venturiho jednotka s ovládáním rychlosti
- Čtyři procesní přívody pro připojení ke čtyřem různým komorám
Výhody série GABA AWE
GABA AWE jsou naše inovativní mokré čističe, speciálně vyvinuté pro kritické procesy EPI v polovodičovém průmyslu. Kombinují maximální provozní spolehlivost s nejvyšší úrovní stability procesů.
Naše série AWE je vybavena patentovaným přívodem škodlivých plynů, který zabraňuje ucpávání přívodu čističe. To vede k prodloužení životnosti a zároveň k nízkým provozním nákladům. Údržba se omezuje na výměnu redukčního ventilu proti ucpávání přívodu v definovaných servisních intervalech. To lze snadno provést bez nutnosti demontáže jednotky.
Díky speciální konstrukci GABA AWE je separace vedlejších produktů z výrobního procesu v medometu zbytečná. Mokrý čistič si poradí se všemi zbytky z procesu, aniž by blokoval přívod plynu. Vedlejší produkty rozpustné ve vodě reagují v čisticí kapalině, pevné látky jsou během provozu oddělovány jako částice nebo odčerpávány s odpadní vodou.
Vakuum pro výrobní proces je zajištěno a aktivně řízeno pomocí Venturiho jednotky s ovládáním rychlosti. Tím je zajištěn konstantní procesní tlak ve výrobním závodě a bezproblémový provoz. Veškerá nastavení procesu lze provádět prostřednictvím programovatelného logického obvodu (PLC) s barevným displejem a dotykovou obrazovkou.
Všechny produkty GABA AWE
GABA ATW
- Kombinace technologie bezplamenné katalytické a tepelně mokré redukce plynů
- Úprava hořlavých a rozpustných plynů
- Vysokoteplotní elektrický ohřívač
- Čtyři procesní přívody pro připojení ke čtyřem různým komorám
Výhody série GABA ATW
GABA ATW systémy fungují na základě technologie snižování množství plynů pomocí tepelného vlhčení. To znamená, že mění chemické složení procesních plynů. Bezplamennou tepelnou oxidací v případě hořlavých a pyroforických plynů a rozpouštěním ve vodě v případě plynů rozpustných ve vodě.
Systém ATW může dosáhnout stejně vysokých teplot jako v systému hořákových čističů, aniž by využíval zemní plyn, ale elektrickou energii. Tím se eliminují veškerá rizika spojená s plyny ve výrobních procesech.
Naše zařízení GABA ATW jsou určena k připojení k celkovému výfukovému systému továrny. Tyto systémy pro snižování množství plynů jsou vybaveny čtyřmi procesními přívody. Systém tak může být připojen ke čtyřem různým komorám procesního nástroje nebo k více nástrojům v závislosti na aplikaci.
Všechny produkty GABA ATW
Často kladené dotazy
Co je systém pro snižování plynů?
Systémy ke snižování množství plynů odstraňují nebezpečné plyny a látky znečišťující ovzduší během výrobních procesů. Tento proces je nutný pro bezpečné uvolnění těchto plynů do atmosféry. Různé plyny vyžadují různé technologie zpracování, jako například tepelné, mokré nebo kombinaci obou technologií.
Co je snižování množství plynu?
Redukce plynů je proces, při kterém se mění chemické složení nebezpečných plynů a znečišťujících látek ve vzduchu. To je nezbytné k tomu, aby se mohly uvolňovat do atmosféry, aniž by škodily zvířatům nebo lidem.
Provozní princip
Bezplamenná katalýza
Tento katalytický systém v sobě spojuje bezplamennou katalytickou tepelnou oxidaci a technologii mokrého zpracování za účelem snižování množství vznětlivých plynů, plynů rozpustných ve vodě a NF₃. Prášek a plyny rozpustné ve vodě, které lze generovat během tepelné oxidace, budou zachycovány v několikaúrovňové vlhčící zóně ve směru oběhu.
Teplo a mokro
Technologie zpracování pomocí elektricky vyráběného tepla a mokra jsou zkombinovány do jednoho systému, aby bylo možné snižovat množství plynů obsahujících vodík, jako například NH₃, SiH₄ ale také NF₃. Ve spalovací komoře se mění chemické složení hořlavých a samozápalných procesních plynů pomocí tepelné oxidace. Vodou rozpustné plyny se poté rozpouštějí v mokré komoře ve směru oběhu.
Mokrý proplachovač
Ve čtyřech jednotlivých reakčních komorách je proud výfukových plynů, zejména z epitaxních procesů, postřikován vodou. Pevné vedlejší produkty jsou zachycovány v kapkách vody a poté se rozpustí. Absorbér poté oddělí vodu od toku vyfukovaného plynu.