Systémy pro snižování množství plynů

GABA AWE jsou naše inovativní mokré čističe, speciálně vyvinuté pro kritické procesy EPI v polovodičovém průmyslu. Kombinují maximální provozní spolehlivost s nejvyšší úrovní stability procesů.

Naše série AWE je vybavena patentovaným přívodem škodlivých plynů, který zabraňuje ucpávání přívodu čističe. To vede k prodloužení životnosti a zároveň k nízkým provozním nákladům. Údržba se omezuje na výměnu redukčního ventilu proti ucpávání přívodu v definovaných servisních intervalech. To lze snadno provést bez nutnosti demontáže jednotky.

Díky speciální konstrukci GABA AWE je separace vedlejších produktů z výrobního procesu v medometu zbytečná. Mokrý čistič si poradí se všemi zbytky z procesu, aniž by blokoval přívod plynu. Vedlejší produkty rozpustné ve vodě reagují v čisticí kapalině, pevné látky jsou během provozu oddělovány jako částice nebo odčerpávány s odpadní vodou.

Vakuum pro výrobní proces je zajištěno a aktivně řízeno pomocí Venturiho jednotky s ovládáním rychlosti. Tím je zajištěn konstantní procesní tlak ve výrobním závodě a bezproblémový provoz. Veškerá nastavení procesu lze provádět prostřednictvím programovatelného logického obvodu (PLC) s barevným displejem a dotykovou obrazovkou.

GABA AFC systémy ke snižování množství plynů jsou speciálně navržené pro snížení nebo odstranění nebezpečných plynů a látek znečišťujících ovzduší během výrobních procesů. V podstatě mění chemické složení plynů. Použití kombinace bezplamenné katalytické termické oxidace a technologie tepelně mokré redukce plynů je možné zpracování jak hořlavých, tak rozpustných plynů.

GABA AFC používá vysokoteplotní ohřívač s vyhřívanými katalyzátory. To umožňuje dokonalé spalování bez plamene. Pro zvýšení účinnosti odstraňování cílových plynů je rozhodující vhodná teplota a správné provozní kapaliny. Termální systém poskytuje stabilní podmínky zpracování a zároveň produkuje podstatně méně vedlejších produktů (tj. NO_x, emise CO₂, atd.). Plyny rozpustné ve vodě, vedlejší produkty a horké plyny z reaktorové komory se pak zpracovávají v mokré komoře.

Aby se zabránilo kontaminaci při údržbě, byly systémy GABA AFC navrženy jako plně výměnné. Všechny moduly lze vyměnit jednotlivě bez otevírání komory.

Systémy pro snižování množství plynů série AFC jsou standardně vybaveny čtyřmi procesními přívody. Systém tak může být připojen ke čtyřem různým komorám procesního nástroje nebo k více nástrojům v závislosti na aplikaci.

Systémy ke snižování množství plynů odstraňují nebezpečné plyny a látky znečišťující ovzduší během výrobních procesů. Tento proces je nutný pro bezpečné uvolnění těchto plynů do atmosféry. Různé plyny vyžadují různé technologie zpracování, jako například tepelné, mokré nebo kombinaci obou technologií.

Redukce plynů je proces, při kterém se mění chemické složení nebezpečných plynů a znečišťujících látek ve vzduchu. To je nezbytné k tomu, aby se mohly uvolňovat do atmosféry, aniž by škodily zvířatům nebo lidem.

Bezplamenná katalýza
Tento katalytický systém v sobě spojuje bezplamennou katalytickou tepelnou oxidaci a technologii mokrého zpracování za účelem snižování množství vznětlivých plynů, plynů rozpustných ve vodě a NF₃. Prášek a plyny rozpustné ve vodě, které lze generovat během tepelné oxidace, budou zachycovány v několikaúrovňové vlhčící zóně ve směru oběhu.

Teplo a mokro
Technologie zpracování pomocí elektricky vyráběného tepla a mokra jsou zkombinovány do jednoho systému, aby bylo možné snižovat množství plynů obsahujících vodík, jako například NH₃, SiH₄ ale také NF₃. Ve spalovací komoře se mění chemické složení hořlavých a samozápalných procesních plynů pomocí tepelné oxidace. Vodou rozpustné plyny se poté rozpouštějí v mokré komoře ve směru oběhu.

Mokrý proplachovač
Ve čtyřech jednotlivých reakčních komorách je proud výfukových plynů, zejména z epitaxních procesů, postřikován vodou. Pevné vedlejší produkty jsou zachycovány v kapkách vody a poté se rozpustí. Absorbér poté oddělí vodu od toku vyfukovaného plynu.