Systémy pro snižování množství plynů

V polovodičovém průmyslu se používají plyny, které jsou toxické, hořlavé a dokonce škodlivé pro člověka i životní prostředí. V souladu s národní legislativou musí být tyto plyny čištěny – sníženy pod příslušnou mezní hodnotu (TLV). Společnost Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions, která je dílem skupiny Busch Group, nabízí nejmodernější technologie čištění plynů pro úpravu výfukových plynů v místě použití. Pro čistší budoucnost.