Provozní princip
Základní komponentou difúzních vývěv je válcová jednotka vývěvy s vyhřívatelným dnem. Olej je používán jako kapalina a je zahříván. Pára z tohoto oleje stoupá do systému hrdel. Poté prochází několika stupni parních trysek a dostává se pod vysokým tlakem z tohoto systému.
Molekuly v tomto procesním plynu jsou zachytávány těmito parními tryskami a poté jsou odnášeny směrem dolů k výpusti základové vývěvy. Olejová pára zkondenzuje na vnitřním povrchu vodou chlazené vakuové čerpací jednotky a je směřována zpět na dno.