Prosím aktualizujte svůj prohlížeč.

Zdá se, že používáte starou verzi prohlížeče Microsoft Edge. Pro co nejlepší zobrazení webové stránky Busch prosím aktualizujte svůj prohlížeč.

COBRA Semicon

Suchoběžné šroubové vývěvy

cobra_bc_1000_f

Suchoběžné šroubové vývěvy COBRA Semicon jsou ideální volbou pro všechny náročné procesy při výrobě fotovoltaických článků, plochých obrazovek, polovodičů a při mnoha dalších průmyslových aplikacích průmyslového povlakování.

Provozní princip COBRA Semicon je založen na moderní šroubové technologii. Díky patentovaným samovyvažovacím šroubům nastavují nové standardy účinnosti.

COBRA Semicon v sobě kombinuje vysokou propustnost a zároveň toleranci vůči parám a částicím. Média nabitá částicemi lze proto bez problémů evakuovat.

Bezolejový a bezkontaktní provozní princip zajišťuje nízké požadavky na údržbu, nízké provozní náklady a dlouhou životnost.

Kompaktní rozměry COBRA Semicon umožňují snadnou instalaci – i v omezených prostorech.

Provozní princip

Uvnitř suchoběžných šroubových vývěv COBRA Semicon se otáčejí v opačných směrech dva šroubové rotory. Čerpané médium je zachycováno mezi válcem a šroubovými komorami. Tam je médium stlačeno a poté dopraveno směrem ven k výstupu. Během tohoto procesu nepřicházejí šroubové rotory do vzájemného kontaktu ani do kontaktu s válcem.

Objevte naši sérii COBRA Semicon

COBRA BA

cobra_ba_0100_c
Vzduchem chlazené řešení plug&pump

  • Pokročilý šroubový design
  • Suchý a bezkontaktní provozní princip
  • Unikátní konstrukce „létajícího ložiska“
  • Konzolová konstrukce
  • Kompaktní design
  • Účinné vzduchové chlazení
  • Volitelný frekvenční měnič

Výhody série COBRA BA

COBRA BA jsou osvědčené suchoběžné šroubové vývěvy, které se dokonale hodí pro náročné procesy, jako například sterilizaci, metalurgii, rekuperaci plynů nebo pece.

Patentovaný samovyvažovací šroubový design zajišťuje nejnižší hladiny vibrací a tichý provoz.

Vývěvy COBRA BA mají konzolovou konstrukci ve tvaru zvonu: dvojitý rotor s variabilními závitovými šrouby je montován pouze na straně motoru. Díky unikátní konstrukci „létajícího ložiska“ nejsou zapotřebí vstupní ložiska. Proto se čerpané médium nedostane do kontaktu s ložisky. To zajišťuje generování čistého vakua a umožňuje kompletní regeneraci čerpaného média.

Vývěvy COBRA BA se vyznačují účinným vzduchovým chlazením.

Série COBRA BA je díky přímo namontovanému zapouzdřenému motoru velmikompaktní.

Všechny produkty COBRA BA

  • COBRA BA 0100 C
    COBRA BA 0100 C

    Koncový tlak:
    0,01 hPa (mbar)
    Jmenovitá čerpací rychlost:
    85 m³/h

    Více informací

COBRA BC

cobra_bc_1000_f
Ideální řešení pro lehké až středně těžké polovodičové aplikace

  • Pokročilý šroubový design
  • Suchý a bezkontaktní provozní princip
  • Unikátní konstrukce „létajícího ložiska“
  • Konzolová konstrukce
  • Kompaktní prostorově úsporný design
  • Přímé vodní chlazení
  • Plně otevřený komunikační protokol

Video: Na jakém principu fungují vývěvy COBRA BC

thumbnail_cobra_bc_series

The marketing-cookies have to be accepted to watch this video.

Accept marketing-cookies

Výhody série COBRA BC

Vývěvy COBRA BC se dokonale hodí pro práci ve zdymadlech a přetlačovacích komorách. K dalším oblastem využití patří metrologie, litografie, fyzikální depozice par, rychlý teplotní ohřev a silikonové leptání.

Patentovaný samovyvažovací šroubový design zajišťuje nejnižší hladiny vibrací a tichý provoz.

Šrouby vývěv COBRA BC jsou vyrobeny z jednoho kusu odlitku, který zamezuje vzniku mezer. Díky tomu je znemožněno pronikání procesních kapalin nebo částic. Takto je zabráněno korozi a depozici.

Vývěvy COBRA BC mají konzolovou konstrukci ve tvaru zvonu: dvojitý rotor s variabilními závitovými šrouby je montován pouze na straně motoru. Díky unikátní konstrukci „létajícího ložiska“ nejsou zapotřebí vstupní ložiska. Proto se čerpané médium nedostane do kontaktu s ložisky. To zajišťuje generování čistého vakua a umožňuje kompletní regeneraci čerpaného média.

Vývěvy série COBRA BC používají účinné přímé vodní chlazení. Díky tomu je udržováno rovnoměrné rozložení teploty po těle vývěvy. Navíc je během procesu zajištěna tepelná stabilita.

Plně otevřený komunikační protokol (Modbus TCP IP) umožňuje kontrolovat všechny funkce, včetně pohotovostního režimu a pohonu s proměnlivou rychlostí. Komunikační protokol lze pomocí standardních komponent rozhraní snadno upravit na konkrétní síťový protokol.

Řada COBRA BC je velmi kompaktní díky přímo namontovanému zapouzdřenému motoru. Vzhledem ke svému prostorově úspornému designu, lze snadno a rychle přizpůsobit stávajícím systémům.

Všechny produkty COBRA BC

  • COBRA BC 0100/0200 F
    COBRA BC 0100/0200 F

    Koncový tlak:
    0,01 hPa (mbar)
    Jmenovitá čerpací rychlost:
    min. 100 m³/h max. 165 m³/h

    Více informací
  • COBRA BC 0100/0200 F Premium Efficiency
    COBRA BC 0100/0200 F Premium Efficiency

    Koncový tlak:
    0,005 hPa (mbar)
    Jmenovitá čerpací rychlost:
    min. 115 m³/h max. 175 m³/h

    Více informací
  • COBRA BC 0101 G
    COBRA BC 0101 G

    Koncový tlak:
    0,01 hPa (mbar)
    Jmenovitá čerpací rychlost:
    100 m³/h

    Více informací
  • COBRA BC 0600 F
    COBRA BC 0600 F

    Koncový tlak:
    0,003 hPa (mbar)
    Jmenovitá čerpací rychlost:
    520 m³/h

    Více informací
  • COBRA BC 0600 F Premium Efficiency
    COBRA BC 0600 F Premium Efficiency

    Koncový tlak:
    0,001 hPa (mbar)
    Jmenovitá čerpací rychlost:
    530 m³/h

    Více informací
  • COBRA BC 0601–1200 A/G
    COBRA BC 0601–1200 A/G

    Koncový tlak:
    0,003 hPa (mbar)
    Jmenovitá čerpací rychlost:
    min. 870 m³/h max. 550 m³/h

    Více informací
  • COBRA BC 1000/2000 FBC 1000/2000 F
    COBRA BC 1000/2000 FBC 1000/2000 F

    Koncový tlak:
    0,003 hPa (mbar)
    Jmenovitá čerpací rychlost:
    min. 930 m³/h max. 1580 m³/h

    Více informací
  • COBRA BC 1000 F Premium Efficiency
    COBRA BC 1000 F Premium Efficiency

    Koncový tlak:
    0,001 hPa (mbar)
    Jmenovitá čerpací rychlost:
    955 m³/h

    Více informací

COBRA DS

cobra_ds_1200_a
Nová generace suchoběžných vývěv pro náročné procesy

  • Pokročilý šroubový design
  • Suchý a bezkontaktní provozní princip
  • Vynikající pro manipulaci s práškem
  • Účinné nepřímé vodní chlazení
  • Kompaktní prostorově úsporný design
  • Vysoká rychlost čerpání pro vypouštění vodíku
  • Vysoce účinný motor
  • K dispozici velikosti s integrovaným vakuovým posilovačem

Výhody série COBRA DS

Suchoběžné šroubové vývěvy COBRA DS jsou ideálními generátory vakua pro náročné procesy, I za podmínek, kdy je vyžadována vysoká propustnost vodíku. Proto se dokonale hodí pro depozici chemických par, rychlé tepelné zpracování nebo depozici atomových vrstev.

Různé velikosti řady COBRA DS mají integrovaný vysoce výkonný vakuový posilovač. Tato kombinace základové vývěvy a vakuového posilovače umožňuje dosáhnout vyšších rychlostí čerpání a koncových tlaků.

Patentovaná konstrukce vyvažovacího šroubu zajišťuje vynikající manipulaci s práškem a dlouhou provozní dobu.

Šrouby vývěv COBRA DS jsou vyrobeny z jednoho kusu odlitku, který zamezuje vzniku mezer. Díky tomu je znemožněno pronikání procesních kapalin nebo částic. Takto je zabráněno korozi a depozici.

Série vývěv COBRA DS využívá účinného, nepřímého vodního chlazení. Díky tomu lze řídit rozložení teploty po celém těle vývěvy. Kdykoli lze zareagovat na jakékoli změny procesu.

Vzhledem k jejich prostorově úspornému designu lze vývěvy COBRA DS snadno a rychle přizpůsobit stávajícím systémům.

Všechny produkty COBRA DS

  • COBRA DS 0080/0160 G
    COBRA DS 0080/0160 G

    Koncový tlak:
    0,03 hPa (mbar)
    Jmenovitá čerpací rychlost:
    min. 70 m³/h max. 140 m³/h

    Více informací
  • COBRA DS 0600 E
    COBRA DS 0600 E

    Koncový tlak:
    0,01 hPa (mbar)
    Jmenovitá čerpací rychlost:
    600 m³/h

    Více informací
  • COBRA DS 0700–2000 G
    COBRA DS 0700–2000 G

    Koncový tlak:
    0,003 hPa (mbar)
    Jmenovitá čerpací rychlost:
    min. 500 m³/h max. 1365 m³/h

    Více informací
  • COBRA DS 5161–9161 A/B/F
    COBRA DS 5161–9161 A/B/F

    Koncový tlak:
    0,001 hPa (mbar)
    Jmenovitá čerpací rychlost:
    min. 4200 m³/h max. 6000 m³/h

    Více informací
  • COBRA DS 8162/8163 B/F
    COBRA DS 8162/8163 B/F

    Koncový tlak:
    0,001 hPa (mbar)
    Jmenovitá čerpací rychlost:
    min. 7000 m³/h max. 7385 m³/h

    Více informací