Prověřená technologie, prověřené provedení –
rozhodněte se pro nejlepší řešení

COBRA BC 0100 / 0200 F

  • Účinná:
    nízké náklady, dlouhá doba provozuschopnosti, energeticky úsporná
  • Snadný servis:
    dlouhé intervaly mezi servisními zásahy
  • Spolehlivá:
    provozně spolehlivá
  • Flexibilní:
    orientovaná na různé aplikace
  • Tichá:
    hladina hluku < 58 dB(A)
     

COBRA BC 0100 F je suchá šroubová vývěva osvědčené řady výrobků COBRA BC, která nabízí kompaktní pokročilá řešení pro evakuaci se systémem „Load-lock“ pro nejnáročnější aplikace výroby solárních článků, plochých obrazovek a polovodičů. Tato vývěva nabízí vynikající schopnosti evakuace médií obsahujících částice, což je důsledkem její jedinečné šroubové konstrukce.

Vývěva COBRA BC 0100 F je vybavena vysoce účinnými motory a pokročilými schopnostmi volnoběžného režimu a nabízí tedy vynikající potenciál k úsporám energie.

Díky její optimalizované prostorově nenáročné konstrukci a potenciálu úspor energie jsou celkové náklady vlastnictví této vývěvy řady COBRA nízké.

Použití

  • Plasmové CVD vysoké hustoty (HDP CVD)
  • Rychlé tepelné zpracovávání (RTP)
  • Sub-atmosférické CVD (SACVD)
  • Kovové organické CVD (MOCVD)
  • Plazmaticky vylepšené CVD (PECVD)
  • Nízkotlaké CVD (LPCVD)
  • Nanášení vrstev tloušťky atomu (ALD)
  • Vysoce kapacitní „Load lock“ systémy

COBRA – další úroveň vysoce kapacitních vývěv pro náročný provoz.

COBRA – další úroveň vysoce kapacitních vývěv pro náročný provoz.

Chcete vědět víc?
Obraťte se na nás (Busch Česká republika):
+420 530 504 410 Kontaktovat

Technická data

Technická data
COBRA BC 0100 F pracuje se dvěma šroubovými rotory, které se otáčí proti sobě. Tím zachycují čerpané médium mezi válec a šroubové komory a přepravují jej na výtlak plynu. Šroubový mechanismus minimalizuje kluzné plochy uvnitř vývěvy a dosahuje tak optimálních schopností evakuace médií obsahujících částice a opětovného spouštění.

Pokročilá šroubová konstrukce má za následek nižší spotřebu elektrické energie v porovnání se standardními šroubovými konstrukcemi. Dále má za následek nižší tepelné zatížení stlačeného plynu. Vývěvy řady BC využívají přímý systém chlazení, který zajištuje rovnoměrnou teplotu v celém tělese vývěvy, eliminuje chladná místa a zajištuje tepelnou stabilitu vodního pláště.

Jedinečná šroubová konstrukce s „létajícím ložiskem“ eliminuje problémy se vstupním ložiskem a umožňuje menší půdorysnou plochu.

Šroubové vývěvy COBRA BC jsou také dostupné se speciálním povrchem pro manipulaci s korozivními plyny a výpary.

Kresba COBRA BC 0100 F
COBRA BC 0100 F
Sací výkon

Teplota vzduchu 20 °C. Tolerance: ±10 %

50 Hz 60 Hz
Sací výkon
Technická data COBRA BC 0100 F COBRA BC 0200 F
Jmenovitá čerpací rychlost 100 m³/h 165 m³/h
Koncový tlak 0,01 hPa (mbar) 0,01 hPa (mbar)
Jmenovitý výkon motoru 1,5 kW 2,9 kW
Jmenovité otáčky motoru 3600 min-1 4570 min-1
Spotřeba energie při koncovém tlaku 1,3 kW 1,6 kW
Hladina hluku (ISO 2151) 58 dB(A) 60 dB(A)
Spotřeba vody 1,0 l/min 2,0 l/min
Spotřeba dusíku 0 - 50 l/min 0 - 50 l/min
Přibližná hmotnost 120 kg 130 kg
Rozměry (L x W x H) 829 x 304 x 362 mm 806 x 304 x 392 mm
Přívod / výstup plynu DN 50 KF / DN 40 KF DN 50 KF / DN 40 KF

Technická data

Technická data
COBRA BC 0100 F pracuje se dvěma šroubovými rotory, které se otáčí proti sobě. Tím zachycují čerpané médium mezi válec a šroubové komory a přepravují jej na výtlak plynu. Šroubový mechanismus minimalizuje kluzné plochy uvnitř vývěvy a dosahuje tak optimálních schopností evakuace médií obsahujících částice a opětovného spouštění.

Pokročilá šroubová konstrukce má za následek nižší spotřebu elektrické energie v porovnání se standardními šroubovými konstrukcemi. Dále má za následek nižší tepelné zatížení stlačeného plynu. Vývěvy řady BC využívají přímý systém chlazení, který zajištuje rovnoměrnou teplotu v celém tělese vývěvy, eliminuje chladná místa a zajištuje tepelnou stabilitu vodního pláště.

Jedinečná šroubová konstrukce s „létajícím ložiskem“ eliminuje problémy se vstupním ložiskem a umožňuje menší půdorysnou plochu.

Šroubové vývěvy COBRA BC jsou také dostupné se speciálním povrchem pro manipulaci s korozivními plyny a výpary.

Kresba
COBRA BC 0100 F
COBRA BC 0100 F
Sací výkon

Teplota vzduchu 20 °C. Tolerance: ±10 %

50 Hz
60 Hz
Sací výkon
Technická data COBRA BC 0100 F COBRA BC 0200 F
Jmenovitá čerpací rychlost 100 m³/h 165 m³/h
Koncový tlak 0,01 hPa (mbar) 0,01 hPa (mbar)
Jmenovitý výkon motoru 1,5 kW 2,9 kW
Jmenovité otáčky motoru 3600 min-1 4570 min-1
Spotřeba energie při koncovém tlaku 1,3 kW 1,6 kW
Hladina hluku (ISO 2151) 58 dB(A) 60 dB(A)
Spotřeba vody 1,0 l/min 2,0 l/min
Spotřeba dusíku 0 - 50 l/min 0 - 50 l/min
Přibližná hmotnost 120 kg 130 kg
Rozměry (L x W x H) 829 x 304 x 362 mm 806 x 304 x 392 mm
Přívod / výstup plynu DN 50 KF / DN 40 KF DN 50 KF / DN 40 KF

Ke stažení

COBRA BC 0100 / 0200 F

Nenašli jste vhodný produkt?

Standard News

Nejnovější zprávy