Prosím aktualizujte svůj prohlížeč.

Zdá se, že používáte starou verzi prohlížeče Microsoft Edge. Pro co nejlepší zobrazení webové stránky Busch prosím aktualizujte svůj prohlížeč.

  • Busch Vacuum Solutions, Dry screw vacuum pump , COBRA DS 5161-9161 B,F

COBRA DS 5161–9161 B/F

Suchoběžné šroubové vývěvy

Nová generace suchoběžných vývěv pro náročné procesy

Vysoká výkonnost

Pokročilý šroubový design, vynikající provozní vlastnosti, integrovaný vakuový posilovač, dokonale vhodné pro chemickou depozici par, rychlé tepelné zpracování nebo depozici atomových vrstev

Účinnost

Nízké pořizovací náklady, minimální údržba, dlouhé servisní intervaly, dlouhá provozní doba, účinné nepřímé vodní chlazení, vysoká propustnost vodíku

Kompaktnost

Prostorově úsporný design, přímo montovaný zapouzdřený motor

Technické specifikace

Trhy a aplikace

Manipulace s bioplynem
  • Upgrade – adsorpce kolísání tlaku
Výroba plochých displejů
  • Plazmaticky vylepšená chemická depozice par (PEVCD)
  • Komory pro vkládání vzorků
  • Organická světelná dioda (OLED)
  • Fyzikální depozice par (PVD)
Výroba lithium-iontových baterií
  • Odplyňování
Výroba polovodičů
  • Střední
  • Hrubé
  • Lehké
Solární průmysl
  • Plazmaticky vylepšená chemická depozice par (PEVCD)