Prosím aktualizujte svůj prohlížeč.

Zdá se, že používáte starou verzi prohlížeče Microsoft Edge. Pro co nejlepší zobrazení webové stránky Busch prosím aktualizujte svůj prohlížeč.

  • cobra_ds_3181_c

COBRA DS 3010/3161 C/G

Suchoběžné šroubové vývěvy

Nová generace suchoběžných vývěv pro náročné procesy

Vysoká výkonnost

Pokročilý šroubový design, vynikající provozní vlastnosti, integrovaný vakuový posilovač, dokonale vhodné pro chemickou depozici par, rychlé tepelné zpracování nebo depozici atomových vrstev

Účinnost

Nízké pořizovací náklady, minimální údržba, dlouhé servisní intervaly, dlouhá provozní doba, účinné nepřímé vodní chlazení, vysoká propustnost vodíku

Kompaktnost

Prostorově úsporný design, přímo montovaný zapouzdřený motor, základová vývěva a vakuový posilovač zkombinované na kompaktním základovém rámu

Technické specifikace

Trhy a aplikace

Manipulace s bioplynem
  • Upgrade – adsorpce kolísání tlaku
Výroba plochých displejů
  • Plazmaticky vylepšená chemická depozice par (PEVCD)
  • Komory pro vkládání vzorků
  • Organická světelná dioda (OLED)
  • Fyzikální depozice par (PVD)
Výroba lithium-iontových baterií
  • Odplyňování
Výroba polovodičů
  • Střední
  • Hrubé
  • Lehké
Solární průmysl
  • Komory pro vkládání vzorků
  • Plazmaticky vylepšená chemická depozice par (PEVCD)

Příslušenství

  • Volitelná verze pro práškový proces (pouze pro DS 3010 G a DS 3161 C)
  • Volitelné tantalové povlakování