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COBRA BC 0601–1200 A/G

螺杆

适用于轻型到中型半导体应用的理想解决方案

性能出色

先进的螺杆设计,钟形悬臂结构,荣获专利的自平衡螺杆,出色的运行品质,集成罗茨泵,非常适用于冷原子层沉积工艺、load lock 腔和传送腔、计量、平版印刷术、物理气相沉积、快速热退火以及和蚀刻工艺(如氧化物、硅和金属)等等

高效

拥有成本低,维护少,保养间隔长,正常运行时间长,直接水冷却

结构紧凑

密闭式设计,直联的罐装电机,前级泵和罗茨泵组合安装于底座上

技术规格
市场和应用
冶金
  • 涂层
半导体生产
  • 中型
太阳能发电行业
  • 物理气相沉积(PVD)