适用于轻型到中型半导体应用的理想解决方案
性能出色
先进的螺杆设计，钟形悬臂结构，荣获专利的自平衡螺杆，出色的运行品质，集成罗茨泵，非常适用于冷原子层沉积工艺、load lock 腔和传送腔、计量、平版印刷术、物理气相沉积、快速热退火以及和蚀刻工艺（如氧化物、硅和金属）等等
高效
拥有成本低，维护少，保养间隔长，正常运行时间长，直接水冷却
结构紧凑
密闭式设计，直联的罐装电机，前级泵和罗茨泵组合安装于底座上
技术规格
市场和应用
沼气处理
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升级 - 变压吸附
半导体生产
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中型
太阳能发电行业
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物理气相沉积（PVD）