PANDA/PUMA

PANDA WZ sorgen für eine erhebliche Leistungssteigerung aller Arten von Vorpumpen im Fein- und Hochvakuumbereich. Sie wurden speziell für Halbleiterprozesse entwickelt.

Dank eines direkt angeflanschten wassergekühlten Motors sind PANDA WZ Vakuum-Booster absolut leckdicht. Sie eignen sich perfekt für die Förderung aggressiver oder toxischer Gase.

Da es keine Kupplung zwischen Motor und Gehäuse gibt, sind PANDA WZ extrem kompakt. Sie können direkt an die Vorpumpe oder in jeder anderen Position an das System geflanscht werden.


PANDA WZ Vakuum-Booster arbeiten völlig berührungsfrei und ohne Betriebsflüssigkeiten in der Prozesskammer. Die Wartungsarbeiten beschränken sich daher auf ein Minimum. Darüber hinaus verfügen PANDA WZ Vakuum-Booster über einen außergewöhnlichen volumetrischen Wirkungsgrad und einen niedrigen Energieverbrauch. All dies sorgt für niedrige Betriebskosten.

PANDA Vakuum-Booster sind standardmäßig mit einem Bypassventil ausgestattet. Dies schützt die Vakuum-Booster zuverlässig vor Überlastung oder Überhitzung und ermöglicht den Einsatz bei hohen Differenzdrücken. PANDA WZ sind außerdem mit einem drehzahlgeregeltem Antrieb kompatibel.

PANDA WV sorgen für eine erhebliche Leistungssteigerung aller Arten von Vorpumpen im Grob-, Fein- und Hochvakuumbereich.

Sie sind standardmäßig mit einem Bypassventil ausgestattet. Dies schützt die Vakuum-Booster zuverlässig vor Überlastung oder Überhitzung und ermöglicht den Einsatz bei hohen Differenzdrücken.

PANDA WV Vakuum-Booster arbeiten völlig berührungsfrei und ohne Betriebsflüssigkeiten in der Prozesskammer. Die Wartungsarbeiten beschränken sich daher auf ein Minimum. Darüber hinaus verfügen PANDA WV Vakuum-Booster über einen außergewöhnlichen volumetrischen Wirkungsgrad und einen niedrigen Energieverbrauch. All dies sorgt für niedrige Betriebskosten.

PANDA WV Vakuum-Booster können direkt an die Vorpumpe oder in jeder anderen Position an das System geflanscht werden. Sie sind zudem mit einem drehzahlgeregeltem Antrieb kompatibel.

PUMA WY sorgen für eine erhebliche Leistungssteigerung aller Arten von Vorpumpen im Fein- und Hochvakuumbereich. Sie wurden speziell für Halbleiterprozesse entwickelt.

Dank des direkt angeflanschten wassergekühlten Motors sind PUMA WY Vakuum-Booster absolut leckdicht. Sie eignen sich perfekt für die Förderung aggressiver oder toxischer Gase.

PUMA WY Vakuum-Booster arbeiten völlig berührungsfrei und ohne Betriebsflüssigkeiten in der Prozesskammer. Die Wartungsarbeiten beschränken sich daher auf ein Minimum. Darüber hinaus verfügen PUMA WY Vakuum-Booster über einen außergewöhnlichen volumetrischen Wirkungsgrad und einen niedrigen Energieverbrauch. All dies sorgt für niedrige Betriebskosten.

PUMA WY können über einen Druckschalter gesteuert werden. Der Druckschalter aktiviert den Vakuum-Booster, wenn der optimale Arbeitsdruck erreicht wurde. PUMA WY sind außerdem mit einem drehzahlgeregeltem Antrieb erhältlich.

Da es keine Kupplung zwischen Motor und Gehäuse gibt, sind PUMA WY extrem kompakt. Sie können direkt an die Vorpumpe oder in jeder anderen Position an das System geflanscht werden.

PUMA WP sorgen für eine erhebliche Leistungssteigerung aller Arten von Vorpumpen im Grob- und Feinvakuumbereich.

Sie können über einen Druckschalter gesteuert werden. Der Druckschalter aktiviert den Vakuum-Booster, wenn der optimale Arbeitsdruck erreicht wurde. PUMA WP sind außerdem mit einem drehzahlgeregeltem Antrieb erhältlich.

PUMA WP Vakuum-Booster arbeiten völlig berührungsfrei und ohne Betriebsflüssigkeiten in der Prozesskammer. Die Wartungsarbeiten beschränken sich daher auf ein Minimum. Darüber hinaus verfügen PUMA WP Vakuum-Booster über einen außergewöhnlichen volumetrischen Wirkungsgrad und einen niedrigen Energieverbrauch. All dies sorgt für niedrige Betriebskosten.

PUMA WP können direkt an die Vorpumpe oder in jeder anderen Position an das System geflanscht werden.

PUMA WG Vakuum-Booster bieten einen breiten Leistungsbereich im Grobvakuum. Sie eignen sich ideal für Anwendungen mit hohen Differenzdrücken und Gasdurchsätzen, selbst wenn gegen die Atmosphäre verdichtet wird, wie z. B. in der Stahlentgasung. Zwei in Reihe geschaltete Booster der PUMA WG Baureihe können den Enddruck sogar auf 20 bis 30 hPa (mbar) senken. In Kombination mit zusätzlichen Vakuum-Boostern sind noch niedrigere Drücke im Feinvakuumbereich möglich.

Dank einer internen Gasumlaufkühlung können PUMA WG Vakuum-Booster gegen Atmosphärendruck verdichten, ohne dass die Gefahr einer thermischen Überlastung besteht. Anstelle von Umgebungsluft oder Wasser nutzen gasumlaufgekühlte Vakuum-Booster für das Temperaturmanagement einen Teil des geförderten Mediums.

Während des Betriebs wird das geförderte Gas verdichtet und dadurch erwärmt, bevor es durch den Auslass austritt. Anschließend strömt es durch einen am Auslass installierten Gaskühler, wo es indirekt abgekühlt wird. Die Wärme des Mediums wird an die Wände des Wärmetauschers und von dort an das Kühlwasser transferiert, wodurch die Fluidtemperatur sinkt. Ein Teil dieses gekühlten Gases wird zurück in den Schöpfraum geleitet, wo es sich mit dem ankommenden Prozessgas vermischt und die innenliegenden Bauteile kühlt. Diese kontrollierte Zirkulation sorgt für eine ausgewogene Temperaturverteilung selbst bei Betrieb unter Vollast bei Enddruck.

Durch den Einsatz eines optionalen drehzahlgeregelten Antriebs (VSD) mit PUMA WG Boostern kann deren Drehzahl an das erforderliche Vakuumniveau angepasst werden, sodass der Energieverbrauch reduziert und die Effizienz verbessert wird.