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Schweiz

Abgasreinigungssysteme

Unsere Lösung: GABA

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Die Halbleiterindustrie verwendet Gase, die giftig, brennbar und oft sogar schädlich für Umwelt und Menschen sind. Beispielsweise bei der Herstellung von Mikrochips. Gemäß der nationalen Gesetzgebung müssen diese Gase gereinigt werden. Das bedeutet, dass sie unter den jeweiligen Grenzwert (TLV) gesenkt werden müssen.

Verschiedene Gase erfordern unterschiedliche Behandlungstechnologien, wie z. B. thermisch, nass oder auch eine Kombination aus beiden Technologien. Die Prozessabgase können dann in die Atmosphäre geleitet werden. Ohne dabei der Natur zu schaden. Für mehr Nachhaltigkeit.

Funktionsprinzip

Flammenlos katalytisch
Dieses Katalysesystem kombiniert flammenlose katalytische thermische Oxidation und Nassbehandlungstechnologie, um brennbare, wasserlösliche Gase und NF₃ zu reduzieren. Pulver und wasserlösliche Gase, die bei der thermischen Oxidation entstehen können, werden in einer vorgeschalteten mehrstufigen Befeuchtungszone aufgefangen.

Thermisch-nass
Elektrische Wärme- und Nassbehandlungstechnologie sind in einem System kombiniert, um hydridbasierte Gase wie NH₃, SiH₄, aber auch NF₃, zu reduzieren. In der Brennkammer werden die chemischen Eigenschaften brennbarer und pyrophorer Prozessgase durch thermische Oxidation verändert. Wasserlösliche Gase werden anschließend in der vorgeschalteten Nasskammer gelöst.

Nasswäscher
In vier einzelnen Reaktionskammern wird der Abgasstrom, insbesondere aus Epitaxieprozessen, mit Wasser besprüht. Feste Nebenprodukte werden in Wassertröpfchen aufgefangen und gelöst. Ein Abscheider trennt das Wasser dann vom Abgasstrom.

GABA AWE

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Nasswäscher-Gasreinigung für EPI-Prozesse

  • Innovative Nasswäschertechnologie
  • Für kritische EPI-Prozesse in der Halbleiterindustrie
  • Gaseintritt mit patentiertem Verblockungsschutz
  • Verlängerte Service-Intervalle
  • Keine Honigfalle zum Sammeln von Nebenprodukten erforderlich
  • Frequenzgeregelte Venturi-Einheit
  • Vier Prozesseinlässe für den Anschluss an vier verschiedene Kammern

Vorteile der Baureihe GABA AWE

GABA AWE sind unsere innovativen Nasswäscher, die speziell für kritische EPI-Prozesse in der Halbleiterindustrie entwickelt wurden. Sie vereinen maximale Betriebssicherheit mit einem Höchstmaß an Prozessstabilität.

Unsere AWE Baureihe ist mit einem patentierten Einlass für schädliche Gase ausgestattet, der ein Verstopfen des Wäschereinlasses verhindert. Dies sorgt für eine längere Lebensdauer und gleichzeitig für niedrige Betriebskosten. Die Wartung beschränkt sich auf den Austausch des Einlass-Verblockungsschutzes in festgelegten Service-Intervallen. Dieser lässt sich problemlos durchführen, ohne dass die Einheit demontiert werden muss.

Das besondere Design der GABA AWE macht die Abscheidung von Nebenprodukten aus dem Produktionsprozess in einer Honigfalle überflüssig. Der Nasswäscher kann alle Prozessrückstände behandeln, ohne den Gaseinlass zu blockieren. Wasserlösliche Nebenprodukte reagieren in der Waschflüssigkeit, Feststoffe werden als Partikel abgeschieden oder während des Betriebs mit dem Abwasser abgepumpt.

Das für den Produktionsprozess benötigte Vakuum wird von einer frequenzgeregelten Venturi-Einheit erzeugt und aktiv gesteuert. Dies sorgt für einen gleichmäßigen Prozessdruck in der Produktionsanlage und einen störungsfreien Betrieb. Alle Prozesseinstellungen können über eine speicherprogrammierbare Steuerung (SPS) mit Farbdisplay und Touchscreen vorgenommen werden.

Alle GABA AWE Produkte

GABA AFC

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Effiziente flammenlose katalytische Gasreinigung

  • Kombination flammenloser katalytischer thermischer Oxidation und Nassbehandlungstechnologie
  • Behandlung von brennbaren und löslichen Gasen
  • Hervorragende Reinigungsleistung
  • Elektrisches Hochtemperatur-Heizelement
  • Vollständiges Wechselsystem
  • Vier Prozesseinlässe für den Anschluss an vier verschiedene Kammern

Vorteile der Baureihe GABA AFC

GABA AFC Abgasreinigungssysteme sind so konzipiert, dass sie gefährliche Gase und Luftschadstoffe während des Herstellungsprozesses reduzieren oder entfernen. Im Wesentlichen verändern sie die chemische Zusammensetzung der Gase. Durch die Kombination flammenloser katalytischer thermischer Oxidation und Nassbehandlungstechnologie ist es möglich, sowohl brennbare als auch wasserlösliche Gase zu behandeln.

GABA AFC nutzen ein Hochtemperatur-Heizelement mit beheizten Katalysatoren. Dies ermöglicht eine perfekte Verbrennung ohne Flamme. Um die Abscheidungseffizienz der Zielgase zu erhöhen, sind eine geeignete Temperatur und die richtigen Betriebsflüssigkeiten entscheidend. Das thermische System bietet stabile Behandlungsbedingungen und erzeugt dabei wesentlich weniger Nebenprodukte (NOx, CO2usw.). Wasserlösliche Gase, Nebenprodukte und heiße Gase aus der Reaktorkammer werden dann in der Nasskammer behandelt.

Um Verunreinigungen bei der Wartung zu vermeiden, sind GABA AFC als vollständige Wechselsysteme konzipiert. Alle Module können einzeln ausgetauscht werden, ohne dass die Kammer geöffnet werden muss.

Die Abgasreinigungssysteme der Baureihe AFC sind standardmäßig mit vier Prozesseinlässen ausgestattet. So kann das System je nach Anwendung an vier verschiedene Kammern eines Prozesswerkzeugs oder an mehrere Werkzeuge angeschlossen werden.

Alle GABA AFC Produkte