Abgasreinigungssysteme

GABA AWE sind unsere innovativen Nasswäscher, die speziell für kritische EPI-Prozesse in der Halbleiterindustrie entwickelt wurden. Sie vereinen maximale Betriebssicherheit mit einem Höchstmaß an Prozessstabilität.

Unsere AWE Baureihe ist mit einem patentierten Einlass für schädliche Gase ausgestattet, der ein Verstopfen des Wäschereinlasses verhindert. Dies sorgt für eine längere Lebensdauer und gleichzeitig für niedrige Betriebskosten. Die Wartung beschränkt sich auf den Austausch des Einlass-Verblockungsschutzes in festgelegten Service-Intervallen. Dieser lässt sich problemlos durchführen, ohne dass die Einheit demontiert werden muss.

Das besondere Design der GABA AWE macht die Abscheidung von Nebenprodukten aus dem Produktionsprozess in einer Honigfalle überflüssig. Der Nasswäscher kann alle Prozessrückstände behandeln, ohne den Gaseinlass zu blockieren. Wasserlösliche Nebenprodukte reagieren in der Waschflüssigkeit, Feststoffe werden als Partikel abgeschieden oder während des Betriebs mit dem Abwasser abgepumpt.

Das für den Produktionsprozess benötigte Vakuum wird von einer frequenzgeregelten Venturi-Einheit erzeugt und aktiv gesteuert. Dies sorgt für einen gleichmäßigen Prozessdruck in der Produktionsanlage und einen störungsfreien Betrieb. Alle Prozesseinstellungen können über eine speicherprogrammierbare Steuerung (SPS) mit Farbdisplay und Touchscreen vorgenommen werden.

GABA ATW Abgasreinigungssysteme arbeiten mit der thermisch-nassen Gasreinigungstechnologie. Das bedeutet, dass sie die Chemie der Prozessgase verändern, und zwar durch flammenlose thermische Oxidation im Falle von brennbaren und pyrophoren Gasen und durch Wasserauflösung im Falle von wasserlöslichen Gasen.

ATW können dieselben hohen Temperaturen erreichen wie ein Brennerwäschersystem. Sie verwenden dabei jedoch kein Erdgas, sondern elektrische Energie. Dadurch werden alle Risiken im Zusammenhang mit Gasen in Fertigungsprozessen eliminiert.

Unsere GABA ATW sind so ausgelegt, dass sie an das allgemeine Abgassystem des Werks angeschlossen werden können. Diese Abgasreinigungssysteme sind mit vier Prozesseinlässen ausgestattet. So kann das System je nach Anwendung an vier verschiedene Kammern eines Prozesswerkzeugs oder an mehrere Werkzeuge angeschlossen werden.

Abgasreinigungssysteme machen gefährliche Gase und Schadstoffe in der Abluft während des Herstellungsprozesses unschädlich. Dieser Prozess ist notwendig, um die Abgase sicher in die Atmosphäre abgeben zu können. Verschiedene Gase erfordern unterschiedliche Behandlungstechnologien, wie z. B. thermisch, nass oder auch eine Kombination aus beiden Technologien.

Bei der Abgasreinigung wird die chemische Zusammensetzung gefährlicher Gase und Luftschadstoffe verändert, damit sie in die Atmosphäre gelangen können, ohne dass Tiere oder Menschen gefährdet werden.

Flammenlos katalytisch
Dieses Katalysesystem kombiniert flammenlose katalytische thermische Oxidation und Nassbehandlungstechnologie, um brennbare, wasserlösliche Gase und NF₃ zu reduzieren. Pulver und wasserlösliche Gase, die bei der thermischen Oxidation entstehen können, werden in einer vorgeschalteten mehrstufigen Befeuchtungszone aufgefangen.

Thermisch-nass
Elektrische Wärme- und Nassbehandlungstechnologie sind in einem System kombiniert, um hydridbasierte Gase wie NH₃, SiH₄, aber auch NF₃, zu reduzieren. In der Brennkammer werden die chemischen Eigenschaften brennbarer und pyrophorer Prozessgase durch thermische Oxidation verändert. Wasserlösliche Gase werden anschließend in der vorgeschalteten Nasskammer gelöst.

Nasswäscher
In vier einzelnen Reaktionskammern wird der Abgasstrom, insbesondere aus Epitaxieprozessen, mit Wasser besprüht. Feste Nebenprodukte werden in Wassertröpfchen aufgefangen und gelöst. Ein Abscheider trennt das Wasser dann vom Abgasstrom.