Sistemi di abbattimento dei gas

GABA AWE sono i nostri innovativi scrubber a umido, sviluppati specificamente per processi EPI, critici nel settore dei semiconduttori. Abbinano la massima affidabilità di esercizio con il livello più elevato di stabilità di processo.

La nostra serie AWE è dotata di un'entrata brevettata dei gas nocivi, che impedisce l'intasamento dell'entrata dello scrubber. Questo comporta una maggiore durata utile e, al contempo, anche costi di esercizio inferiori. Oltre alla sostituzione del dispositivo anti intasamento dell'ingresso a specifici intervalli di assistenza, non sono infatti necessari altri interventi di manutenzione. Questa operazione può essere facilmente effettuata senza dover smontare l'unità.

Lo speciale design di GABA AWE rende obsoleta la separazione dei sottoprodotti del processo di produzione in un filtro apposito. Lo scrubber a umido è in grado di gestire tutti i residui del processo, senza bloccare l'entrata del gas. I sottoprodotti idrosolubili reagiscono nel liquido di lavaggio, i solidi vengono separati in particelle oppure pompati via con le acque reflue durante il funzionamento.

Il vuoto per il processo di produzione viene fornito e controllato attivamente tramite una unità Venturi con controllo della velocità. Questo assicura una pressione del processo costante nell'impianto produttivo e un funzionamento affidabile. Tutte le impostazioni del processo possono essere configurate mediante un controllore logico programmabile (PLC), con display a colori e touchscreen.

I sistemi di abbattimento del gas GABA AFC sono progettati per ridurre o eliminare i gas pericolosi e gli inquinanti dell'aria durante i processi di produzione. Sostanzialmente, modificano la composizione chimica dei gas. Grazie a una combinazione di ossidazione termica catalitica senza fiamma e a una tecnologia di abbattimento di gas termico-umido, è possibile trattare sia i gas combustibili che solubili.

I sistemi GABA AFC utilizzano un riscaldatore ad alta temperatura con catalizzatori riscaldati, assicurando una perfetta combustione senza fiamma. Per aumentare l'efficienza di rimozione dei gas target, sono fondamentali una temperatura appropriata e fluidi operativi corretti. Il sistema termico offre condizioni di trattamento stabili e produce sostanzialmente meno sottoprodotti (ovvero NO_x, CO₂, ecc.). I gas idrosolubili, i sottoprodotti e i gas caldi provenienti dalla camera del reattore vengono quindi trattati nella camera umida.

Per evitare la contaminazione durante la manutenzione, i sistemi GABA AFC sono stati progettati come sistemi interamente sostituibili. Tutti i moduli possono essere sostituiti singolarmente senza aprire la camera.

I sistemi di abbattimento del gas serie AFC sono dotati di serie di quattro ingressi di processo; il sistema può quindi essere collegato a quattro diverse camere di un utensile di processo o a più strumenti, a seconda dell'applicazione.

I sistemi di abbattimento del gas eliminano i gas pericolosi e gli inquinanti dell'aria durante i processi di produzione. Questo processo è necessario per rilasciarli nell'atmosfera in modo sicuro. Gas diversi richiedono tecnologie di trattamento diverse, ad es. termica, a umido o persino una combinazione di entrambe.

L'abbattimento dei gas è il processo attraverso il quale vengono modificate le composizioni chimiche dei gas pericolosi e degli inquinanti atmosferici. Questo è necessario affinché vengano rilasciate nell'atmosfera senza danneggiare gli esseri umani o gli animali.

Catalitico senza fiamma
Questo sistema catalizzatore unisce l'ossidazione termica catalitica senza fiamma alla tecnologia di trattamento umido per ridurre i gas infiammabili idrosolubili e NF₃. Polvere e gas idrosolubili che possono essere generati durante l'ossidazione termica vengono catturati in ingresso in una zona umida multifase.

Termico umido
La tecnologia termoelettrica e quella di trattamento umido sono riunite in un unico sistema per ridurre i gas a base di idruro come NH₃, SiH₄ ma anche NF₃. Nella camera di combustione, la chimica dei gas di processo infiammabili e piroforici viene cambiata attraverso l'ossidazione termica. I gas idrosolubili vengono quindi dissolti in ingresso nella camera umida.

Abbattitore a umido
In quattro camere di reazione singole, il flusso di gas di scarico, in particolare proveniente dai processi epitassiali, viene irrorato con spruzzi d'acqua. I sottoprodotti solidi vengono catturati in goccioline d'acqua e quindi si dissolvono. Un assorbitore separa quindi l'acqua dal flusso di gas in uscita.