Sistemi di abbattimento dei gas

L'industria dei semiconduttori utilizza gas tossici, infiammabili e persino nocivi sia per l'uomo che per l'ambiente. Secondo la legislazione nazionale, questi gas devono essere abbattuti - ridotti al di sotto del rispettivo valore limite di soglia (TLV). Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions, parte del Busch Group, offre tecnologie all'avanguardia di abbattimento dei gas per il trattamento dei gas di scarico nel punto di utilizzo. Per un futuro più pulito.