Funktionsprinzip
Diffusions-Vakuumpumpen bestehen im Wesentlichen aus einem zylindrischen Pumpenkörper mit beheizbarem Boden. Öl wird als Treibmittel verwendet und aufgeheizt. Der Dampf des Öls steigt in einem Düsensystem auf. Er durchläuft dann mehrere Dampfstrahlstufen und tritt unter hohem Druck wieder aus diesem System aus.
Die Moleküle des Prozessgases werden von diesen Dampfstrahlen erfasst und nach unten zum Auslass der Vorpumpe befördert. Der Öldampf kondensiert an der Innenfläche des wassergekühlten Pumpenkörpers und fließt zum Boden zurück.