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Abgasreinigungssysteme

Die Halbleiterindustrie verwendet Gase, die toxisch, leicht entflammbar und sogar schädlich für Mensch und Umwelt sind. Gemäß nationaler Gesetzgebung müssen diese Gase gereinigt werden – unter den jeweiligen Schwellenwert (TLV) reduziert werden. Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions, Teil der Busch Group, bietet modernste Technologien zur Abgasreinigung am Einsatzort. Für eine sauberere Zukunft.