Die leckdichten Leistungsoptimierer für Fein- und Hochvakuumanwendungen
Zuverlässig
Spezielle Wälzkoben zur Vermeidung von Pulver- und Partikelablagerungen, robuste Bauweise aus GGG40, leckdicht
Herausragende Leistung
Speziell entwickelt für strapazierende Anwendungen im Fein- und Hochvakuumbereich, einschließlich Halbleiteranwendungen mit Partikeln und Staub, ausgezeichneter volumetrischer Wirkungsgrad
Flexibel
Zuverlässige Leistung unter unterschiedlichen Betriebsbedingungen, steigert die Leistung aller Arten von Vorpumpen
Technische Ausführung
Märkte und Anwendungen
Flachbildschirmproduktion
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Plasmagestützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)
Halbleiterproduktion
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Hart
Solarindustrie
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Plasmagestützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)