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Svizzera
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PUMA WY 3600 A

Booster per vuoto

Ottimizzatori di prestazioni a tenuta stagna per applicazioni di medio e alto vuoto

Affidabilità

Design del lobo speciale per prevenire depositi di polvere e particelle, struttura robusta in materiale GGG40, a tenuta stagna

Prestazioni elevate

Progettata appositamente per applicazioni gravose nell'intervallo di medio e alto vuoto, inclusi i processi di semiconduttori con polveri, eccellente efficienza volumetrica

Flessibilità

Prestazioni affidabili in condizioni di esercizio variabili, incrementa le prestazioni di tutti i tipi di pompe per vuoto iniziale

Specifiche tecniche

Settori e applicazioni

Produzione di schermi piatti
  • Deposizione chimica da vapore potenziata dal plasma (PECVD)
Produzione di semiconduttori
  • Gravose
Settore dell'energia solare
  • Deposizione chimica da vapore potenziata dal plasma (PECVD)