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COBRA Semicon

Bombas de vácuo de parafuso a seco

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As bombas de vácuo de parafuso a seco COBRA Semicon são a opção perfeita para todos os processos exigentes no âmbito da produção de células fotovoltaicas, ecrãs planos, semicondutores e em numerosas aplicações de revestimento industriais.

O princípio de funcionamento das COBRA Semicon baseia-se na nossa avançada tecnologia de parafuso. Com os seus parafusos autoequilibrantes patenteados, definem novos padrões em termos de eficiência.

As COBRA Semicon combinam grandes caudais com elevada tolerância ao vapor e partículas. Por conseguinte, meios carregados de partículas podem ser evacuados sem quaisquer problemas.

O princípio de funcionamento sem óleo e sem contacto assegura uma necessidade reduzida de manutenção, baixos custos operacionais e um ciclo de vida longo.

As dimensões compactas das COBRA Semicon facilitam a sua instalação – mesmo em espaços confinados.

Princípio de funcionamento

No interior das bombas de vácuo de parafuso a seco COBRA Semicon, dois rotores de parafuso giram em sentidos opostos. O meio bombeado é retido entre o cilindro e o perfil do parafuso, onde é comprimido e transportado para a saída. Durante este processo, os rotores de parafuso não entram em contacto um com o outro ou com o cilindro.

Descubra a nossa série COBRA Semicon

  • cobra_ba_0100_c
    COBRA BA

    A nossa solução Plug&Pump refrigerada a ar

    Saber mais
  • cobra_bc_1000_f_1
    COBRA BC

    A solução ideal para aplicações de semicondutores ligeiras a médias

    Saber mais
  • cobra_ds_1200_a
    COBRA DS

    A nova geração de bombas de vácuo a seco para processos exigentes

    Saber mais

COBRA BA

cobra_ba_0100_c
A nossa solução Plug&Pump refrigerada a ar

  • Design de parafuso avançado
  • Princípio de funcionamento a seco e sem contacto
  • Design único de "apoio suspenso"
  • Construção em cantilever
  • Design compacto
  • Refrigeração por ar eficaz
  • Conversor de frequência opcional

Vantagens da série COBRA BA

As COBRA BA são bombas de vácuo de parafuso a seco de qualidade comprovada, perfeitamente adequadas para processos exigentes, tais como aplicações de esterilização, metalurgia, recuperação de gases e em fornos.

O design patenteado dos parafusos autoequilibrantes assegura os níveis de vibração mais baixos e um funcionamento silencioso.

As bombas de vácuo COBRA BA são de construção em cantilever em forma de sino: o rotor duplo com parafusos de passo variável é montado apenas do lado do motor. Graças ao design único de "apoio suspenso", são dispensados os rolamentos de entrada. Por conseguinte, o meio bombeado não entra em contacto com os rolamentos. Isto assegura uma geração de vácuo limpo e permite a recuperação total do meio bombeado.

As bombas de vácuo COBRA BA caracterizam-se pela refrigeração eficiente a ar.

Um motor monobloco montado diretamente torna as dimensões da série COBRA BA extremamente compactas.

Todos os produtos COBRA BA

  • COBRA BA 0100 C
    COBRA BA 0100 C

    Pressão final:
    0,01 hPa (mbar)
    Caudal nominal da bomba:
    85 m³/h

    Saber mais

COBRA BC

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A solução ideal para aplicações de semicondutores ligeiras a médias

  • Design de parafuso avançado
  • Princípio de funcionamento a seco e sem contacto
  • Design único de "apoio suspenso"
  • Construção em cantilever
  • Design compacto adaptado ao local de instalação
  • Refrigeração direta por água
  • Protocolo de comunicação totalmente aberto

Vídeo: como funcionam as bombas de vácuo COBRA BC

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Vantagens da série COBRA BC

As bombas de vácuo COBRA BC são perfeitamente adequadas para tarefas em bloqueio de carga e câmaras de transferência. Entre outras aplicações, incluem-se a metrologia, litografia, deposição física de vapor, recozimento térmico rápido e decapagem de silício.

O design patenteado dos parafusos autoequilibrantes assegura os níveis de vibração mais baixos e um funcionamento silencioso.

Os parafusos das bombas de vácuo COBRA BC são fabricados a partir de uma peça única fundida, evitando assim quaisquer interstícios. Isto impossibilita a infiltração de fluidos de processo ou partículas. Assim, previnem-se a corrosão e deposição.

As bombas de vácuo COBRA BC são de construção em cantilever em forma de sino: o rotor duplo com parafusos de passo variável é montado apenas do lado do motor. Graças ao design único de "apoio suspenso", são dispensados os rolamentos de entrada. Por conseguinte, o meio bombeado não entra em contacto com os rolamentos. Isto assegura uma geração de vácuo limpo e permite a recuperação total do meio bombeado.

As bombas de vácuo da série COBRA BC dispõem de uma eficiente refrigeração direta por água. Deste modo, a distribuição da temperatura pelo corpo da bomba é mantida uniforme. Além disso, é assegurada a estabilidade térmica durante o processo.

O protocolo de comunicação totalmente aberto (Modbus TCP-IP) permite-lhe controlar todas as funcionalidades, incluindo modos de inatividade e o acionamento de velocidade variável. O protocolo de comunicação pode ser facilmente adaptado a um protocolo de rede específico, usando componentes de interface padrão.

Um motor monobloco montado diretamente torna as dimensões da série COBRA BC extremamente compactas. Graças ao seu design adaptado ao local de instalação, são fáceis e rápidas de instalar posteriormente em sistemas existentes.

Todos os produtos COBRA BC

  • COBRA BC 0100/0200 F
    COBRA BC 0100/0200 F

    Pressão final:
    0,01 hPa (mbar)
    Caudal nominal da bomba:
    min. 100 m³/h max. 165 m³/h

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  • COBRA BC 0100/0200 F Premium Efficiency
    COBRA BC 0100/0200 F Premium Efficiency

    Pressão final:
    0,005 hPa (mbar)
    Caudal nominal da bomba:
    min. 115 m³/h max. 175 m³/h

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  • COBRA BC 0101 G
    COBRA BC 0101 G

    Pressão final:
    0,01 hPa (mbar)
    Caudal nominal da bomba:
    100 m³/h

    Saber mais
  • COBRA BC 0600 F
    COBRA BC 0600 F

    Pressão final:
    0,003 hPa (mbar)
    Caudal nominal da bomba:
    520 m³/h

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  • COBRA BC 0600 F Premium Efficiency
    COBRA BC 0600 F Premium Efficiency

    Pressão final:
    0,001 hPa (mbar)
    Caudal nominal da bomba:
    530 m³/h

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  • COBRA BC 0601–1200 A/G
    COBRA BC 0601–1200 A/G

    Pressão final:
    0,003 hPa (mbar)
    Caudal nominal da bomba:
    min. 870 m³/h max. 550 m³/h

    Saber mais
  • COBRA BC 1000/2000 F
    COBRA BC 1000/2000 F

    Pressão final:
    0,003 hPa (mbar)
    Caudal nominal da bomba:
    min. 930 m³/h max. 1580 m³/h

    Saber mais
  • COBRA BC 1000 F Premium Efficiency
    COBRA BC 1000 F Premium Efficiency

    Pressão final:
    0,001 hPa (mbar)
    Caudal nominal da bomba:
    955 m³/h

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COBRA DS

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A nova geração de bombas de vácuo a seco para processos exigentes

  • Design de parafuso avançado
  • Princípio de funcionamento a seco e sem contacto
  • Excelente manipulação de pó
  • Eficaz refrigeração indireta por água
  • Design compacto adaptado ao local de instalação
  • Caudal elevado para descarga de hidrogénio
  • Motor de grande eficiência
  • Tamanhos com booster de vácuo integrado disponíveis

Vantagens da série COBRA DS

As bombas de vácuo de parafuso a seco COBRA DS são os geradores de vácuo ideais para processos exigentes. Mesmo sob condições que requeiram um caudal elevado de hidrogénio. Por este motivo, são perfeitamente adequadas para a deposição de vapor químico, processamento térmico rápido ou deposição de camada atómica.

Diversos tamanhos da série COBRA DS incluem um booster de vácuo de alto desempenho integrado. Esta combinação de bomba primária e booster de vácuo permite alcançar caudais e pressões finais superiores.

O design de parafuso autoequilibrante patenteado assegura uma excelente manipulação de pó e um elevado tempo de atividade.

Os parafusos das bombas de vácuo COBRA DS são fabricados a partir de uma peça única fundida, evitando quaisquer interstícios. Isto impossibilita a infiltração de fluidos de processo ou partículas. Assim, previnem-se a corrosão e deposição.

As bombas de vácuo da série COBRA DS dispõem de uma eficaz refrigeração indireta por água. Consequentemente, a distribuição da temperatura pelo corpo da bomba pode ser controlada. É possível responder a variações do processo em qualquer momento.

Graças ao seu design adaptado ao local de instalação, as COBRA DS são fáceis e rápidas de instalar posteriormente em sistemas existentes.

Todos os produtos COBRA DS

  • COBRA DS 0080/0160 G
    COBRA DS 0080/0160 G

    Pressão final:
    0,03 hPa (mbar)
    Caudal nominal da bomba:
    min. 70 m³/h max. 140 m³/h

    Saber mais
  • COBRA DS 0600 E
    COBRA DS 0600 E

    Pressão final:
    0,01 hPa (mbar)
    Caudal nominal da bomba:
    600 m³/h

    Saber mais
  • COBRA DS 0700–2000 G
    COBRA DS 0700–2000 G

    Pressão final:
    0,003 hPa (mbar)
    Caudal nominal da bomba:
    min. 500 m³/h max. 1365 m³/h

    Saber mais
  • COBRA DS 5161–9161 A/B/F
    COBRA DS 5161–9161 A/B/F

    Pressão final:
    0,001 hPa (mbar)
    Caudal nominal da bomba:
    min. 4200 m³/h max. 6000 m³/h

    Saber mais
  • COBRA DS 8162/8163 B/F
    COBRA DS 8162/8163 B/F

    Pressão final:
    0,001 hPa (mbar)
    Caudal nominal da bomba:
    min. 7000 m³/h max. 7385 m³/h

    Saber mais