Sistemas de redução de gases
A nossa solução: GABA
A indústria de semicondutores utiliza gases tóxicos, inflamáveis e até nocivos, tanto para o ambiente como para o ser humano. Por exemplo, na produção de microchips. De acordo com a legislação nacional, estes gases têm de ser reduzidos. Isto significa que as suas emissões têm de ser reduzidas aquém do valor limiar limite (VLL).
Gases diferentes requerem tecnologias de tratamento diferentes, tais como a térmica, húmida ou mesmo uma combinação das duas tecnologias. Depois de tratados, os efluentes gasosos do processo poderão ser libertados para a atmosfera. Sem prejudicar a natureza. Para um mundo mais verde.
GABA AWE
- Tecnologia inovadora de lavador de gases
- Para processos EPI críticos na indústria de semicondutores
- Dispositivo de prevenção de entupimento patenteado
- Intervalos de manutenção mais longos
- Não requer aprisionamento para a recolha de subprodutos
- Unidade venturi com controlo de velocidade
- Quatro entradas do processo para ligação a quatro câmaras diferentes
Vantagens da série GABA AWE
Os GABA AWE são os nossos inovadores lavadores de gases, desenvolvidos especialmente para processos EPI críticos na indústria de semicondutores. Eles combinam a máxima fiabilidade operacional com o mais alto nível de estabilidade do processo.
A nossa série AWE está equipada com uma entrada de gases nocivos patenteada, que impede que a entrada do lavador fique entupida. Isto contribui para uma vida útil mais longa e, simultaneamente, para baixos custos operacionais. A manutenção é reduzida à troca do dispositivo de prevenção de entupimento da entrada em intervalos de serviço regulares. Esta troca pode ser efetuada sem ter de se desmontar a unidade.
O design especial dos GABA AWE torna a separação de subprodutos do processo de produção por aprisionamento obsoleta. O lavador de gases é apropriado para todos os resíduos do processo, impedindo a obstrução da entrada do gás. Os subprodutos hidrossolúveis reagem no líquido de lavagem, os sólidos são separados sob a forma de partículas ou são bombeados e removidos juntamente com a água residual durante a operação.
O vácuo para o processo de produção é fornecido e controlado ativamente através de uma unidade venturi com controlo de velocidade. Isto assegura uma pressão constante do processo na fábrica e uma operação livre de problemas. Todas as definições do processo podem ser efetuadas através de um controlador lógico programável (PLC) com visor a cores e ecrã tátil.
FAQ
O que é um sistema de redução de gás?
Os sistemas de redução de gás desintoxicam gases perigosos e poluentes do ar durante processos de fabrico. Este processo é necessário para libertá-los para a atmosfera de forma segura. Gases diferentes requerem tecnologias de tratamento diferentes, tais como a térmica, húmida ou mesmo uma combinação das duas tecnologias.
O que é a redução de gases?
A redução de gases é o processo através do qual as composições químicas de gases perigosos e poluentes do ar são alteradas. Isto é necessário para que sejam libertados para a atmosfera sem prejudicar animais ou humanos.
Princípio de funcionamento
Catalítico, sem chama
Este sistema catalítico combina a oxidação térmica/catalítica sem chama com tecnologia de tratamento húmido para suprimir gases inflamáveis, hidrossolúveis e NF₃. As poeiras e os gases hidrossolúveis que se podem formar durante a oxidação térmica serão captados nas zonas de humedecimento multiestágio a montante.
Térmica-Húmida
O calor elétrico e a tecnologia de tratamento húmido são combinados num só sistema para suprimir gases à base de hidreto, tais como NH₃, SiH₄, assim como NF₃. Na câmara de combustão, a composição química dos gases do processo inflamáveis e pirofóricos é alterada mediante oxidação térmica. Neste processo, os gases hidrossolúveis são dissolvidos na câmara de humedecimento a montante.
Lavador de gases em sistema húmido
O fluxo de efluentes gasosos – especialmente o dos processos epitaxiais – é pulverizado com água em quatro câmaras de reação individuais. Os subprodutos sólidos são captados por gotículas de água e dissolvidos. Em seguida, um dispositivo absorsor separa a água do fluxo de gases efluentes.