Sistemas de redução de gases

Os GABA AWE são os nossos inovadores lavadores de gases, desenvolvidos especialmente para processos EPI críticos na indústria de semicondutores. Eles combinam a máxima fiabilidade operacional com o mais alto nível de estabilidade do processo.

A nossa série AWE está equipada com uma entrada de gases nocivos patenteada, que impede que a entrada do lavador fique entupida. Isto contribui para uma vida útil mais longa e, simultaneamente, para baixos custos operacionais. A manutenção é reduzida à troca do dispositivo de prevenção de entupimento da entrada em intervalos de serviço regulares. Esta troca pode ser efetuada sem ter de se desmontar a unidade.

O design especial dos GABA AWE torna a separação de subprodutos do processo de produção por aprisionamento obsoleta. O lavador de gases é apropriado para todos os resíduos do processo, impedindo a obstrução da entrada do gás. Os subprodutos hidrossolúveis reagem no líquido de lavagem, os sólidos são separados sob a forma de partículas ou são bombeados e removidos juntamente com a água residual durante a operação.

O vácuo para o processo de produção é fornecido e controlado ativamente através de uma unidade venturi com controlo de velocidade. Isto assegura uma pressão constante do processo na fábrica e uma operação livre de problemas. Todas as definições do processo podem ser efetuadas através de um controlador lógico programável (PLC) com visor a cores e ecrã tátil.

Os sistemas de redução de gases foram concebidos especificamente para a redução ou remoção de gases perigosos e poluentes do ar durante os processos de produção. No essencial, tais sistemas modificam a composição química dos gases. Através da utilização de uma combinação da oxidação térmica/catalítica sem chama e da tecnologia de redução de gases por via térmica e húmida, é possível o tratamento de gases combustíveis e solúveis.

Os GABA AFC utilizam um aquecedor de alta temperatura com catalisadores aquecidos. Isto assegura uma combustão perfeita sem chama. Para aumentar a eficiência da remoção dos gases alvo, a temperatura adequada e os fluidos operacionais corretos são de extrema importância. O sistema térmico proporciona condições de tratamento estáveis, produzindo, ao mesmo tempo, consideravelmente menos subprodutos (por ex., NO_x, CO₂, etc.). Em seguida, os gases hidrossolúveis, subprodutos e gases quentes da câmara do reator são processados na câmara de humedecimento.

Para evitar a contaminação durante a manutenção, os GABA AFC foram concebidos como sistemas de troca integral. Todos os módulos podem ser substituídos individualmente, sem ser necessário abrir a câmara.

Os sistemas de redução de gases da série AFC vêm equipados de série com quatro entradas do processo. Por conseguinte, o sistema pode ser ligado a quatro câmaras diferentes de uma ou de várias ferramentas do processo, dependendo da aplicação.

Os sistemas de redução de gás desintoxicam gases perigosos e poluentes do ar durante processos de fabrico. Este processo é necessário para libertá-los para a atmosfera de forma segura. Gases diferentes requerem tecnologias de tratamento diferentes, tais como a térmica, húmida ou mesmo uma combinação das duas tecnologias.

A redução de gases é o processo através do qual as composições químicas de gases perigosos e poluentes do ar são alteradas. Isto é necessário para que sejam libertados para a atmosfera sem prejudicar animais ou humanos.

Catalítico, sem chama
Este sistema catalítico combina a oxidação térmica/catalítica sem chama com tecnologia de tratamento húmido para suprimir gases inflamáveis, hidrossolúveis e NF₃. As poeiras e os gases hidrossolúveis que se podem formar durante a oxidação térmica serão captados nas zonas de humedecimento multiestágio a montante.

Térmica-Húmida
O calor elétrico e a tecnologia de tratamento húmido são combinados num só sistema para suprimir gases à base de hidreto, tais como NH₃, SiH₄, assim como NF₃. Na câmara de combustão, a composição química dos gases do processo inflamáveis e pirofóricos é alterada mediante oxidação térmica. Neste processo, os gases hidrossolúveis são dissolvidos na câmara de humedecimento a montante.

Lavador de gases em sistema húmido
O fluxo de efluentes gasosos – especialmente o dos processos epitaxiais – é pulverizado com água em quatro câmaras de reação individuais. Os subprodutos sólidos são captados por gotículas de água e dissolvidos. Em seguida, um dispositivo absorsor separa a água do fluxo de gases efluentes.