Fabrico de semicondutores com vácuo

As bombas de vácuo da Busch são aplicadas pelas empresas líderes no fabrico de semicondutores e são conhecidas pela sua fiabilidade. Isto resulta de muitos anos a ocuparmo-nos das necessidades dos nossos parceiros da área dos semicondutores e dos seus requisitos do processo.

Deixe-nos orientá-lo(a) na procura da solução perfeita para os seus requisitos de processo.

Serviços de semicondutores

ARPQ
Novo serviço de recondicionamento de bombas de vácuo da Busch. Especialmente para os mercados de semicondutores e ecrãs planos.
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Gestão de fábrica de semicondutores completa
Solução holística de serviço no local para um ambiente de produção seguro e estável na sua fábrica de semicondutores.
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AS NOSSAS SOLUÇÕES PARA O FABRICO DE SEMICONDUTORES

As soluções de vácuo da Busch são a escolha de confiança para todas as aplicações de semicondutores nas quais a alta fiabilidade, baixo custo de propriedade e comunicações inteligentes entre ferramentas de semicondutores são imprescindíveis. Desde câmaras de bloqueio de carga aos processos mais árduos de geração de partículas, Nós fornecemos os nossos sistemas de vácuo às empresas líderes mundiais no fabrico de semicondutores. E com serviço de apoio pós-venda prestado também por nós no local.

	COBRA	TORRI	VACTEST	TAPIR
Ligeiro (bloqueio de carga e câmaras de transferência, metrologia, litografia)	✓	✓	✓	✓
Médio (processos PVD, pré-limpeza PVD, RTA, decapagem/incineração, decapagem de óxido, decapagem de silício)	✓		✓	✓
Exigente (decapagem de metal, fonte de implantação, HDP, CVD, RTP, epitaxia, SA CVD, MO CVD, PE CVD, LP CVD, ALD)	✓		✓	✓