Atualize o seu browser.

Ao que parece, está a usar uma versão desatualizada do browser Microsoft Edge. Para ter a melhor experiência possível no website da Busch, atualize o seu browser.

Fabrico de semicondutores com vácuo

semicon_stage_foto

As bombas de vácuo da Busch são aplicadas pelas empresas líderes no fabrico de semicondutores e são conhecidas pela sua fiabilidade. Isto resulta de muitos anos a ocuparmo-nos das necessidades dos nossos parceiros da área dos semicondutores e dos seus requisitos do processo.

Deixe-nos orientá-lo(a) na procura da solução perfeita para os seus requisitos de processo.

Encontre a sua solução de serviço de semicondutores com o Busch Group

O Busch Group, líder global em tecnologia de vácuo, une duas marcas especializadas: Busch Vacuum Solutions e Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions. Em conjunto, oferecem um portfólio abrangente de soluções de vácuo e serviços adaptados à indústria dos semicondutores.

A Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions contribui com experiência especializada nas gamas de vácuo alto e vácuo ultra-alto e deteção de fugas, especialmente para aplicações de semicondutores. Com a sua posição de longa data na indústria de semicondutores, a Pfeiffer irá oferecer a melhor experiência de serviço possível. Quer se trate da remanufatura de bombas de vácuo ou da gestão completa de subfábricas, a Pfeiffer garante que os seus processos de semicondutores estão em boas mãos.

Serviços de semicondutores

  • con23_293_newimagelandingpagesemiconsemciconlocation

    Localizações de serviço para semicondutores

    Encontre a sua localização de serviço para semicondutores.

    Saber mais

As Nossas Soluções Para O Fabrico de Semicondutores

As soluções de vácuo da Busch são a escolha de confiança para todas as aplicações de semicondutores nas quais a alta fiabilidade, baixo custo de propriedade e comunicações inteligentes entre ferramentas de semicondutores são imprescindíveis. Desde câmaras de bloqueio de carga aos processos mais árduos de geração de partículas, Nós fornecemos os nossos sistemas de vácuo às empresas líderes mundiais no fabrico de semicondutores. E com serviço de apoio pós-venda prestado também por nós no local.
VACTEST
Ligeiro (bloqueio de carga e câmaras de transferência, metrologia, litografia) ✓
Médio (processos PVD, pré-limpeza PVD, RTA, decapagem/incineração, decapagem de óxido, decapagem de silício) ✓
Exigente (decapagem de metal, fonte de implantação, HDP, CVD, RTP, epitaxia, SA CVD, MO CVD, PE CVD, LP CVD, ALD) ✓