Fabrico de semicondutores com vácuo
As bombas de vácuo da Busch são aplicadas pelas empresas líderes no fabrico de semicondutores e são conhecidas pela sua fiabilidade. Isto resulta de muitos anos a ocuparmo-nos das necessidades dos nossos parceiros da área dos semicondutores e dos seus requisitos do processo.
Deixe-nos orientá-lo(a) na procura da solução perfeita para os seus requisitos de processo.
Serviços de semicondutores
| COBRA | TORRI | VACTEST | TAPIR | |
| Ligeiro (bloqueio de carga e câmaras de transferência, metrologia, litografia) | ✓ | ✓ | ✓ | ✓ |
| Médio (processos PVD, pré-limpeza PVD, RTA, decapagem/incineração, decapagem de óxido, decapagem de silício) | ✓ | ✓ | ✓ | |
| Exigente (decapagem de metal, fonte de implantação, HDP, CVD, RTP, epitaxia, SA CVD, MO CVD, PE CVD, LP CVD, ALD) | ✓ | ✓ | ✓ |
