COBRA Semicon
Suche śrubowe pompy próżniowe
Suche śrubowe pompy próżniowe COBRA Semicon to doskonały wybór do stosowania we wszystkich wymagających procesach w produkcji ogniw fotowoltaicznych, ekranów płaskich, półprzewodników oraz w wielu zastosowaniach przemysłowych związanych z powlekaniem.
Zasada działania pomp COBRA Semicon opiera się na naszej najnowocześniejszej technologii śrubowej. Dzięki zastosowaniu opatentowanej śruby samonastawnej określają one nowe standardy w zakresie wydajności.
Pompy COBRA Semicon łączą dużą przepustowość z wysoką tolerancją na działanie par i cząstek stałych. Dzięki temu możliwe jest bezproblemowe usuwanie mediów zawierających dużą ilość cząstek stałych.
Bezolejowa i bezstykowa zasada działania zapewnia niskie wymogi w zakresie konserwacji, niskie koszty eksploatacji oraz długi cykl życia.
Kompaktowe wymiary pomp COBRA Semicon ułatwiają instalację nawet w zamkniętych przestrzeniach.
Zasada działania
Wewnątrz suchej śrubowej pompy próżniowej COBRA Semicon obracają się przeciwbieżnie dwa wirniki śrubowe. Przepompowywane medium znajduje się między korpusem a komorami pompy. Tam jest ono sprężane i transportowane do wylotu. Podczas tego procesu wirniki śrubowe nie stykają się ze sobą ani z korpusem pompy.Poznaj naszą serię COBRA Semicon
COBRA BA
- Zaawansowana konstrukcja śrubowa
- Sucha i bezstykowa zasada działania
- Wyjątkowy projekt „latającego łożyska”
- Konstrukcja wspornikowa
- Kompaktowa konstrukcja
- Efektywne chłodzenie powietrzem
- Opcjonalna przetwornica częstotliwości
Korzyści zapewniane przez serię COBRA BA
COBRA BA to sprawdzone suche próżniowe pompy śrubowe doskonale dostosowane do wymagających procesów, takich jak sterylizacja, odzysk gazów, w metalurgii lub zastosowania w piecach.
Opatentowana konstrukcja śruby samonastawnej zapewnia najniższe poziomy drgań i cichą pracę.
Pompy próżniowe COBRA BA posiadają wspornik w kształcie dzwonu. Dzięki takiej konstrukcji podwójny wirnik ze śrubami o zmiennym skoku jest zamontowany tylko po stronie silnika. Unikatowa budowa „latającego łożyska” eliminuje konieczność stosowania łożysk na wlocie. Dzięki temu rozwiązaniu przepompowywane medium nie styka się z łożyskami. Zapewnia to wytwarzanie czystej próżni i umożliwia pełne odzyskiwanie przepompowywanego medium.
Pompy próżniowe COBRA BA odznaczają się wydajnym chłodzeniem powietrzem.
Bezpośrednio zamontowany silnik zespolony pozwala na zmniejszenie wymiarów pomp serii COBRA BA.
COBRA BC
- Zaawansowana konstrukcja śrubowa
- Sucha i bezstykowa zasada działania
- Wyjątkowy projekt „latającego łożyska”
- Konstrukcja wspornikowa
- Kompaktowa dopasowana konstrukcja
- Bezpośrednie chłodzenie wodą
- W pełni otwarty protokół komunikacyjny
Wideo: jak działają pompy próżniowe COBRA BC
Korzyści zapewniane przez serię COBRA BC
Pompy próżniowe COBRA BC są doskonale dostosowane do zadań w komorach typu load-lock i w komorach przejściowych. Inne zastosowania to m.in. metrologia, litografia, fizyczne osadzanie z fazy gazowej, szybkie spiekanie termiczne i trawienie krzemu.
Opatentowana konstrukcja śruby samonastawnej zapewnia najniższe poziomy drgań i cichą pracę.
Śruby pomp próżniowych COBRA BC są wytwarzane z jednoelementowego odlewu zapewniającego bezszczelinowość. W praktyce uniemożliwia to wnikanie płynów procesowych lub cząstek stałych. Tym samym zapobiega to korozji i powstawaniu osadów.
Dzięki konstrukcji wspornika o kształcie dzwonu podwójny wirnik pomp próżniowych COBRA BC ze śrubami o zmiennym skoku jest zamontowany tylko po stronie silnika. Unikatowa budowa „latającego łożyska” eliminuje konieczność stosowania łożysk na wlocie. Dzięki temu rozwiązaniu przepompowywane medium nie styka się z łożyskami. Zapewnia to wytwarzanie czystej próżni i umożliwia pełne odzyskiwanie przepompowywanego medium.
W pompach próżniowych serii COBRA BC stosowane jest wydajne bezpośrednie chłodzenie wodą. Zapewnia ono równomierny rozkład temperatur w korpusie pompy. Ponadto skutkuje to stabilnością termiczną procesu.
W pełni otwarty protokół komunikacyjny (Modbus TCP-IP) pozwala na sterowanie wszystkimi funkcjami. Należą do nich tryby pracy bez obciążenia i napęd bezstopniowy. Protokół komunikacji można w łatwy sposób dostosować do konkretnego protokołu sieci za pomocą standardowych elementów interfejsu.
Bezpośrednio zamontowany silnik zespolony pozwala na zmniejszenie wymiarów pomp serii COBRA BC. Dzięki dopasowanej konstrukcji mogą być łatwo i szybko zamontowane w istniejących systemach.
COBRA DS
- Zaawansowana konstrukcja śrubowa
- Sucha i bezstykowa zasada działania
- Doskonałe przenoszenie proszków
- Efektywne pośrednie chłodzenie wodą
- Kompaktowa dopasowana konstrukcja
- Wysoka wydajność pompowania umożliwiająca wyprowadzanie wodoru
- Wysoce wydajny silnik
- Dostępne rozmiary ze zintegrowanym wspomaganiem próżniowym
Korzyści zapewniane przez serię COBRA DS
Suche śrubowe pompy próżniowe COBRA DS są idealnymi generatorami próżni do wymagających procesów. Nadają się nawet do zastosowań, w których wymagany jest duży przepływ wodoru. Dzięki temu stanowią doskonałe rozwiązanie do chemicznego osadzania z fazy gazowej, szybkiego przetwarzania termicznego lub osadzania warstw atomowych.
Pompy serii COBRA DS o różnych rozmiarach są wyposażone w wysokiej jakości zintegrowane wspomaganie próżniowe. To połączenie pompy wspomagającej i wspomagania próżniowego umożliwia osiągnięcie zwiększonych wydajności pompowania oraz ciśnień końcowych.
Opatentowana konstrukcja śruby samonastawnej zapewnia doskonałe parametry przenoszenia proszków i wysoki czas pracy.
Śruby pomp próżniowych COBRA DS są wytwarzane z jednoelementowego odlewu zapewniającego bezszczelinowość. W praktyce uniemożliwia to wnikanie płynów procesowych lub cząstek stałych. Tym samym zapobiega to korozji i powstawaniu osadów.
W pompach próżniowych serii COBRA DS zastosowano efektywne pośrednie chłodzenie wodą. Umożliwia ono kontrolę rozkładu temperatur na korpusie pompy. W każdej chwili możliwa jest reakcja na zmiany przebiegu procesów.
Dzięki dopasowanej konstrukcji produkty COBRA DS można łatwo i szybko zamontować w istniejących systemach.
