Zaktualizuj przeglądarkę.

Wygląda na to, że używasz starej wersji przeglądarki Microsoft Edge. Aby czerpać jak najwięcej ze strony internetowej Busch, zaktualizuj używaną przeglądarkę.

COBRA Semicon

Suche śrubowe pompy próżniowe

cobra_bc_1000_f

Suche śrubowe pompy próżniowe COBRA Semicon to doskonały wybór do stosowania we wszystkich wymagających procesach w produkcji ogniw fotowoltaicznych, ekranów płaskich, półprzewodników oraz w wielu zastosowaniach przemysłowych związanych z powlekaniem.

Zasada działania pomp COBRA Semicon opiera się na naszej najnowocześniejszej technologii śrubowej. Dzięki zastosowaniu opatentowanej śruby samonastawnej określają one nowe standardy w zakresie wydajności.

Pompy COBRA Semicon łączą dużą przepustowość z wysoką tolerancją na działanie par i cząstek stałych. Dzięki temu możliwe jest bezproblemowe usuwanie mediów zawierających dużą ilość cząstek stałych.

Bezolejowa i bezstykowa zasada działania zapewnia niskie wymogi w zakresie konserwacji, niskie koszty eksploatacji oraz długi cykl życia.

Kompaktowe wymiary pomp COBRA Semicon ułatwiają instalację nawet w zamkniętych przestrzeniach.

Zasada działania

Wewnątrz suchej śrubowej pompy próżniowej COBRA Semicon obracają się przeciwbieżnie dwa wirniki śrubowe. Przepompowywane medium znajduje się między korpusem a komorami pompy. Tam jest ono sprężane i transportowane do wylotu. Podczas tego procesu wirniki śrubowe nie stykają się ze sobą ani z korpusem pompy.

Poznaj naszą serię COBRA Semicon

COBRA BA

cobra_ba_0100_c
Chłodzona powietrzem pompa do łatwego podłączenia

  • Zaawansowana konstrukcja śrubowa
  • Sucha i bezstykowa zasada działania
  • Wyjątkowy projekt „latającego łożyska”
  • Konstrukcja wspornikowa
  • Kompaktowa konstrukcja
  • Efektywne chłodzenie powietrzem
  • Opcjonalna przetwornica częstotliwości

Korzyści zapewniane przez serię COBRA BA

COBRA BA to sprawdzone suche próżniowe pompy śrubowe doskonale dostosowane do wymagających procesów, takich jak sterylizacja, odzysk gazów, w metalurgii lub zastosowania w piecach.

Opatentowana konstrukcja śruby samonastawnej zapewnia najniższe poziomy drgań i cichą pracę.

Pompy próżniowe COBRA BA posiadają wspornik w kształcie dzwonu. Dzięki takiej konstrukcji podwójny wirnik ze śrubami o zmiennym skoku jest zamontowany tylko po stronie silnika. Unikatowa budowa „latającego łożyska” eliminuje konieczność stosowania łożysk na wlocie. Dzięki temu rozwiązaniu przepompowywane medium nie styka się z łożyskami. Zapewnia to wytwarzanie czystej próżni i umożliwia pełne odzyskiwanie przepompowywanego medium.

Pompy próżniowe COBRA BA odznaczają się wydajnym chłodzeniem powietrzem.

Bezpośrednio zamontowany silnik zespolony pozwala na zmniejszenie wymiarów pomp serii COBRA BA.

Wszystkie produkty COBRA BA

COBRA BC

cobra_bc_1000_f
Idealne rozwiązanie do lekkich i średnio-ciężkich zastosowań w przemyśle półprzewodnikowym

  • Zaawansowana konstrukcja śrubowa
  • Sucha i bezstykowa zasada działania
  • Wyjątkowy projekt „latającego łożyska”
  • Konstrukcja wspornikowa
  • Kompaktowa dopasowana konstrukcja
  • Bezpośrednie chłodzenie wodą
  • W pełni otwarty protokół komunikacyjny

Wideo: jak działają pompy próżniowe COBRA BC

thumbnail_cobra_bc_series

The marketing-cookies have to be accepted to watch this video.

Accept marketing-cookies

Korzyści zapewniane przez serię COBRA BC

Pompy próżniowe COBRA BC są doskonale dostosowane do zadań w komorach typu load-lock i w komorach przejściowych. Inne zastosowania to m.in. metrologia, litografia, fizyczne osadzanie z fazy gazowej, szybkie spiekanie termiczne i trawienie krzemu.

Opatentowana konstrukcja śruby samonastawnej zapewnia najniższe poziomy drgań i cichą pracę.

Śruby pomp próżniowych COBRA BC są wytwarzane z jednoelementowego odlewu zapewniającego bezszczelinowość. W praktyce uniemożliwia to wnikanie płynów procesowych lub cząstek stałych. Tym samym zapobiega to korozji i powstawaniu osadów.

Dzięki konstrukcji wspornika o kształcie dzwonu podwójny wirnik pomp próżniowych COBRA BC ze śrubami o zmiennym skoku jest zamontowany tylko po stronie silnika. Unikatowa budowa „latającego łożyska” eliminuje konieczność stosowania łożysk na wlocie. Dzięki temu rozwiązaniu przepompowywane medium nie styka się z łożyskami. Zapewnia to wytwarzanie czystej próżni i umożliwia pełne odzyskiwanie przepompowywanego medium.

W pompach próżniowych serii COBRA BC stosowane jest wydajne bezpośrednie chłodzenie wodą. Zapewnia ono równomierny rozkład temperatur w korpusie pompy. Ponadto skutkuje to stabilnością termiczną procesu.

W pełni otwarty protokół komunikacyjny (Modbus TCP-IP) pozwala na sterowanie wszystkimi funkcjami. Należą do nich tryby pracy bez obciążenia i napęd bezstopniowy. Protokół komunikacji można w łatwy sposób dostosować do konkretnego protokołu sieci za pomocą standardowych elementów interfejsu.

Bezpośrednio zamontowany silnik zespolony pozwala na zmniejszenie wymiarów pomp serii COBRA BC. Dzięki dopasowanej konstrukcji mogą być łatwo i szybko zamontowane w istniejących systemach.

Wszystkie produkty COBRA BC

  • COBRA BC 0100/0200 F
    COBRA BC 0100/0200 F

    Ciśnienie końcowe:
    0.01 hPa (mbar)
    Wydajność nominalna:
    min. 100.0 m³/h max. 165.0 m³/h

    Dowiedz się więcej
  • COBRA BC 0100/0200 F Premium Efficiency
    COBRA BC 0100/0200 F Premium Efficiency

    Ciśnienie końcowe:
    0.005 hPa (mbar)
    Wydajność nominalna:
    min. 115.0 m³/h max. 175.0 m³/h

    Dowiedz się więcej
  • COBRA BC 0101 G
    COBRA BC 0101 G

    Ciśnienie końcowe:
    0.01 hPa (mbar)
    Wydajność nominalna:
    100.0 m³/h

    Dowiedz się więcej
  • COBRA BC 0600 F
    COBRA BC 0600 F

    Ciśnienie końcowe:
    0.003 hPa (mbar)
    Wydajność nominalna:
    520.0 m³/h

    Dowiedz się więcej
  • COBRA BC 0600 F Premium Efficiency
    COBRA BC 0600 F Premium Efficiency

    Ciśnienie końcowe:
    0.001 hPa (mbar)
    Wydajność nominalna:
    530.0 m³/h

    Dowiedz się więcej
  • COBRA BC 0601–1200 A/G
    COBRA BC 0601–1200 A/G

    Ciśnienie końcowe:
    0.003 hPa (mbar)
    Wydajność nominalna:
    min. 550.0 m³/h max. 1200.0 m³/h

    Dowiedz się więcej
  • COBRA BC 1000/2000 F
    COBRA BC 1000/2000 F

    Ciśnienie końcowe:
    0.003 hPa (mbar)
    Wydajność nominalna:
    min. 930.0 m³/h max. 1580.0 m³/h

    Dowiedz się więcej
  • COBRA BC 1000 F Premium Efficiency
    COBRA BC 1000 F Premium Efficiency

    Ciśnienie końcowe:
    0.001 hPa (mbar)
    Wydajność nominalna:
    955.0 m³/h

    Dowiedz się więcej

COBRA DS

cobra_ds_1200_a
Nowa generacja suchych pomp próżniowych do wymagających zastosowań

  • Zaawansowana konstrukcja śrubowa
  • Sucha i bezstykowa zasada działania
  • Doskonałe przenoszenie proszków
  • Efektywne pośrednie chłodzenie wodą
  • Kompaktowa dopasowana konstrukcja
  • Wysoka wydajność pompowania umożliwiająca wyprowadzanie wodoru
  • Wysoce wydajny silnik
  • Dostępne rozmiary ze zintegrowanym wspomaganiem próżniowym

Korzyści zapewniane przez serię COBRA DS

Suche śrubowe pompy próżniowe COBRA DS są idealnymi generatorami próżni do wymagających procesów. Nadają się nawet do zastosowań, w których wymagany jest duży przepływ wodoru. Dzięki temu stanowią doskonałe rozwiązanie do chemicznego osadzania z fazy gazowej, szybkiego przetwarzania termicznego lub osadzania warstw atomowych.

Pompy serii COBRA DS o różnych rozmiarach są wyposażone w wysokiej jakości zintegrowane wspomaganie próżniowe. To połączenie pompy wspomagającej i wspomagania próżniowego umożliwia osiągnięcie zwiększonych wydajności pompowania oraz ciśnień końcowych.

Opatentowana konstrukcja śruby samonastawnej zapewnia doskonałe parametry przenoszenia proszków i wysoki czas pracy.

Śruby pomp próżniowych COBRA DS są wytwarzane z jednoelementowego odlewu zapewniającego bezszczelinowość. W praktyce uniemożliwia to wnikanie płynów procesowych lub cząstek stałych. Tym samym zapobiega to korozji i powstawaniu osadów.

W pompach próżniowych serii COBRA DS zastosowano efektywne pośrednie chłodzenie wodą. Umożliwia ono kontrolę rozkładu temperatur na korpusie pompy. W każdej chwili możliwa jest reakcja na zmiany przebiegu procesów.

Dzięki dopasowanej konstrukcji produkty COBRA DS można łatwo i szybko zamontować w istniejących systemach.

Wszystkie produkty COBRA DS

  • COBRA DS 0080/0160 G
    COBRA DS 0080/0160 G

    Ciśnienie końcowe:
    0.03 hPa (mbar)
    Wydajność nominalna:
    min. 70.0 m³/h max. 140.0 m³/h

    Dowiedz się więcej
  • COBRA DS 0600 E
    COBRA DS 0600 E

    Ciśnienie końcowe:
    0.01 hPa (mbar)
    Wydajność nominalna:
    600.0 m³/h

    Dowiedz się więcej
  • COBRA DS 0700–2000 G
    COBRA DS 0700–2000 G

    Ciśnienie końcowe:
    0.003 hPa (mbar)
    Wydajność nominalna:
    min. 500.0 m³/h max. 1365.0 m³/h

    Dowiedz się więcej
  • COBRA DS 1200/1800 A/A H
    COBRA DS 1200/1800 A/A H

    Ciśnienie końcowe:
    0.003 hPa (mbar)
    Wydajność nominalna:
    min. 1200.0 m³/h max. 1700.0 m³/h

    Dowiedz się więcej
  • COBRA DS 2141 A
    COBRA DS 2141 A

    Ciśnienie końcowe:
    0.003 hPa (mbar)
    Wydajność nominalna:
    1875.0 m³/h

    Dowiedz się więcej
  • COBRA DS 2610–3161 B/E/F
    COBRA DS 2610–3161 B/E/F

    Ciśnienie końcowe:
    0.001 hPa (mbar)
    Wydajność nominalna:
    min. 1830.0 m³/h max. 3200.0 m³/h

    Dowiedz się więcej
  • COBRA DS 3181 B
    COBRA DS 3181 B

    Ciśnienie końcowe:
    0.001 hPa (mbar)
    Wydajność nominalna:
    3500.0 m³/h

    Dowiedz się więcej
  • COBRA DS 5161–9161 A/B/F
    COBRA DS 5161–9161 A/B/F

    Ciśnienie końcowe:
    0.001 hPa (mbar)
    Wydajność nominalna:
    min. 4200.0 m³/h max. 6160.0 m³/h

    Dowiedz się więcej
  • COBRA DS 8162/8163 B/F
    COBRA DS 8162/8163 B/F

    Ciśnienie końcowe:
    0.001 hPa (mbar)
    Wydajność nominalna:
    min. 7000.0 m³/h max. 7385.0 m³/h

    Dowiedz się więcej