Systemy obniżania emisji gazów
Nasze rozwiązanie: GABA
Przemysł półprzewodnikowy wykorzystuje gazy, które są toksyczne, łatwopalne, czasem nawet szkodliwe dla środowiska i dla ludzi. Są one stosowane np. podczas produkcji mikroczipów. Krajowe przepisy wymagają zmniejszania emisji tych gazów. Oznacza to, że ich ilość jest sprowadzana poniżej odpowiedniej progowej wartości granicznej (TLV).
Różne gazy wymagają różnych technologii oczyszczania, takich jak termiczna, mokra lub nawet połączenia obu technologii. Następnie spaliny procesowe mogą być uwolnione do atmosfery. Bez szkody dla środowiska. Świat bardziej przyjazny dla środowiska.
GABA AWE
- Innowacyjna technologia mokrej płuczki
- Do krytycznych procesów EPI w przemyśle półprzewodnikowym
- Opatentowany element zapobiegający zatykaniu się wlotu
- Dłuższe odstępy międzyserwisowe
- korzystania z pułapki do zebrania produktów ubocznych
- Dysza Venturiego z przetwornikiem częstotliwości
- Cztery wejścia procesowe umożliwiają podłączenie nawet czterech różnych komór
Korzyści serii GABA AWE
GABA AWE to nasze innowacyjne mokre płuczki, opracowane specjalnie do krytycznych procesów EPI w przemyśle półprzewodnikowym. Łączą maksymalną niezawodność eksploatacji ze stabilnością procesu na najwyższym poziomie.
Seria AWE jest wyposażona w opatentowany wlot toksycznych gazów, co zapobiega zatykaniu się wlotu płuczki. Oznacza to wydłużenie okresu użytkowania i niskie koszty eksploatacji. Konserwacja ogranicza się do wymiany elementu zapobiegającego zatykaniu się wlotu w zdefiniowanych interwałach serwisowych. To zadanie można łatwo wykonać bez konieczności demontażu jednostki.
Specjalna konstrukcja produktu GABA AWE sprawia, że separacja produktów ubocznych z procesu produkcyjnego metodą pułapkowania jest przestarzała. Mokra płuczka może być używana do wszystkich pozostałości procesu bez blokowania wlotu gazu. Produkty uboczne rozpuszczalne w wodzie reagują z cieczą płuczki, ciała stałe są oddzielane jako cząstki lub odpompowywane wraz ze ściekami podczas pracy.
Próżnia do procesu produkcji jest zapewniana i kontrolowana aktywnie przez dyszę Venturiego z regulacją częstotliwości. Zapewnia to stałe ciśnienie robocze w hali produkcyjnej i bezproblemowe działanie. Wszystkie ustawienia procesu mogą zostać wybrane za pomocą sterownika PLC z kolorowym wyświetlaczem i ekranem dotykowym.
GABA AFC
- Połączenie bezpłomieniowego katalitycznego utleniania termicznego i technologii termiczno-mokrej
- Obróbka gazów palnych i rozpuszczalnych
- Doskonała skuteczność zmniejszania emisji
- Wysokotemperaturowa nagrzewnica elektryczna
- System w pełni wymienny
- Cztery wejścia procesowe umożliwiają podłączenie nawet czterech różnych komór
Korzyści serii GABA AFC
Systemy GABA AFC do zmniejszania emisji gazów zostały specjalnie zaprojektowane do redukcji lub usuwania niebezpiecznych gazów i zanieczyszczeń powietrza podczas procesów produkcyjnych. Zasadniczo zmieniają one skład chemiczny gazu. Połączenie bezpłomieniowego katalitycznego utleniania termicznego i technologii termiczno-mokrej do zmniejszania emisji gazów umożliwia obróbkę gazów palnych i rozpuszczalnych.
Produkty GABA AFC używają nagrzewnicy wysokotemperaturowej z katalizatorami ogrzewanymi. Umożliwia to idealne utlenianie bez płomieni. Aby zwiększyć efektywność usuwania gazów, istotne jest zapewnienie właściwej temperatury i odpowiednich cieczy roboczych. Układ termiczny zapewnia stałe warunki reakcji, a przy tym rezultatem jest mniej produktów ubocznych (np. NOx, CO2 itd.). Rozpuszczalne w wodzie gazy, produkty uboczne i gorące gazy z komory reaktora są następnie przetwarzane mokrej komorze.
Aby zapobiec zanieczyszczeniom podczas prac konserwacyjnych, systemy GABA AFC zostały zaprojektowane jako w pełni wymienne. Wszystkie moduły można wymienić osobno bez otwarcia komory.
Systemy AFC do zmniejszania emisji gazu standardowo są wyposażone w cztery wejścia procesowe. System można więc podłączyć do czterech różnych komór narzędzia procesowego lub do wielu narzędzi. Wszystko zależy od zastosowania.
Wszystkie produkty GABA AFC
FAQ
Co to jest układ redukcji zanieczyszczeń gazowych?
Układy redukcji zanieczyszczeń gazowych usuwają toksyny z niebezpiecznych gazów i zanieczyszczenia powietrza w procesach produkcyjnych. Proces ten jest niezbędny do bezpiecznego uwalniania ich do atmosfery. Różne gazy wymagają różnych technologii oczyszczania, takich jak termiczna, mokra lub nawet połączenia obu technologii.
Co to jest redukcja zanieczyszczeń gazowych?
Redukcja zanieczyszczeń gazowych to proces, w którym zmienia się skład chemiczny niebezpiecznych gazów i zanieczyszczeń powietrza. Jest to konieczne, aby mogły one zostać uwolnione do atmosfery bez szkody dla zwierząt i ludzi.
Zasada działania
Bezpłomieniowy układ katalityczny
Ten układ katalizatora łączy bezpłomieniowe katalityczne utlenianie termiczne i technologię obróbki mokrej w celu zmniejszenia emisji gazów łatwopalnych, rozpuszczalnych w wodzie i NF₃. Proszki i rozpuszczalne w wodzie gazy, które mogą być wytwarzane w procesie utleniania termicznego, będą wychwytywane w poprzedzającej wielostopniowej strefie mokrej.
Obróbka cieplna i na mokro
Technologia elektrycznej obróbki cieplnej i obróbki na mokro są połączone w jeden system w celu zmniejszenia emisji gazów na bazie wodorków, takich jak NH₃, SiH₄, ale także NF₃. W komorze spalania skład chemiczny palnych i piroforycznych gazów procesowych ulega zmianie w procesie utleniania termicznego. Rozpuszczalne w wodzie gazy są następnie rozpuszczane w poprzedzającej mokrej komorze.
Mokra płuczka
W czterech oddzielnych komorach reakcyjnych strumień spalin, zwłaszcza z procesów epitaksji, jest spryskiwany wodą. Stałe produkty uboczne są wychwytywane w kropelkach wody i rozpuszczane. Następnie absorber oddziela wodę od strumienia gazu wylotowego.