Systemy obniżania emisji gazów

GABA AWE to nasze innowacyjne mokre płuczki, opracowane specjalnie do krytycznych procesów EPI w przemyśle półprzewodnikowym. Łączą maksymalną niezawodność eksploatacji ze stabilnością procesu na najwyższym poziomie.

Seria AWE jest wyposażona w opatentowany wlot toksycznych gazów, co zapobiega zatykaniu się wlotu płuczki. Oznacza to wydłużenie okresu użytkowania i niskie koszty eksploatacji. Konserwacja ogranicza się do wymiany elementu zapobiegającego zatykaniu się wlotu w zdefiniowanych interwałach serwisowych. To zadanie można łatwo wykonać bez konieczności demontażu jednostki.

Specjalna konstrukcja produktu GABA AWE sprawia, że separacja produktów ubocznych z procesu produkcyjnego metodą pułapkowania jest przestarzała. Mokra płuczka może być używana do wszystkich pozostałości procesu bez blokowania wlotu gazu. Produkty uboczne rozpuszczalne w wodzie reagują z cieczą płuczki, ciała stałe są oddzielane jako cząstki lub odpompowywane wraz ze ściekami podczas pracy.

Próżnia do procesu produkcji jest zapewniana i kontrolowana aktywnie przez dyszę Venturiego z regulacją częstotliwości. Zapewnia to stałe ciśnienie robocze w hali produkcyjnej i bezproblemowe działanie. Wszystkie ustawienia procesu mogą zostać wybrane za pomocą sterownika PLC z kolorowym wyświetlaczem i ekranem dotykowym.

Systemy GABA ATW do zmniejszania emisji gazów działają zgodnie z technologią termiczno-mokrego oczyszczania gazów. To oznacza, że skład chemiczny gazu procesowego zmienia się. Dzieje się tak na skutek bezpłomieniowego utleniania termicznego w przypadku gazów palnych i piroforycznych i poprzez rozpuszczenie w wodzie w przypadku gazów w niej rozpuszczalnych.

Układy ATW umożliwiają osiągnięcie temperatur na poziomie dostępnym w płuczkach ogniowych, ale bez używania gazu ziemnego – wystarczy energia elektryczna. Wyklucza to wszystkie ryzyka związane z gazem w procesie produkcyjnym.

Nasze systemy GABA ATW zostały zaprojektowane z myślą o podłączeniu do ogólnego systemu odprowadzania powietrza z fabryki. Te systemy do obniżania emisji gazu są wyposażone w cztery wejścia procesowe. System można więc podłączyć do czterech różnych komór narzędzia procesowego lub do wielu narzędzi. Wszystko zależy od zastosowania.

Układy redukcji zanieczyszczeń gazowych usuwają toksyny z niebezpiecznych gazów i zanieczyszczenia powietrza w procesach produkcyjnych. Proces ten jest niezbędny do bezpiecznego uwalniania ich do atmosfery. Różne gazy wymagają różnych technologii oczyszczania, takich jak termiczna, mokra lub nawet połączenia obu technologii.

Redukcja zanieczyszczeń gazowych to proces, w którym zmienia się skład chemiczny niebezpiecznych gazów i zanieczyszczeń powietrza. Jest to konieczne, aby mogły one zostać uwolnione do atmosfery bez szkody dla zwierząt i ludzi.

Bezpłomieniowy układ katalityczny
Ten układ katalizatora łączy bezpłomieniowe katalityczne utlenianie termiczne i technologię obróbki mokrej w celu zmniejszenia emisji gazów łatwopalnych, rozpuszczalnych w wodzie i NF₃. Proszki i rozpuszczalne w wodzie gazy, które mogą być wytwarzane w procesie utleniania termicznego, będą wychwytywane w poprzedzającej wielostopniowej strefie mokrej.

Obróbka cieplna i na mokro
Technologia elektrycznej obróbki cieplnej i obróbki na mokro są połączone w jeden system w celu zmniejszenia emisji gazów na bazie wodorków, takich jak NH₃, SiH₄, ale także NF₃. W komorze spalania skład chemiczny palnych i piroforycznych gazów procesowych ulega zmianie w procesie utleniania termicznego. Rozpuszczalne w wodzie gazy są następnie rozpuszczane w poprzedzającej mokrej komorze.

Mokra płuczka
W czterech oddzielnych komorach reakcyjnych strumień spalin, zwłaszcza z procesów epitaksji, jest spryskiwany wodą. Stałe produkty uboczne są wychwytywane w kropelkach wody i rozpuszczane. Następnie absorber oddziela wodę od strumienia gazu wylotowego.