GABA AWE 050 AE
Układ usuwania gazu
zmniejszanie emisji gazów dzięki zastosowaniu mokrej płuczki w procesach EPI
Niezawodność
Zaprojektowany specjalnie pod kątem wymagających procesów EPI, wydajny zespół płuczki Venturiego, opatentowany zespół zabezpieczający przed niedrożnością na wlocie gazu, brak konieczności pułapkowania produktów ubocznych przed usunięciem gazu
Minimalne wymagania w zakresie konserwacji
Dłuższy czas między czynnościami serwisowymi, wysoki czas pracy, łatwy serwis, szybkie wykonywanie prac serwisowych, brak konieczności demontażu
Wydajność
Sprawdzona technologia mokrej płuczki, niskie koszty eksploatacji, wbudowany układ recyrkulacji, łatwa obsługa za pomocą sterownika PLC z kolorowym ekranem dotykowym