Zasada działania
Podstawowym podzespołem dyfuzyjnych pomp próżniowych jest cylindryczny zespół pompy z opcjonalnie ogrzewanym spodem. Jako płyn stosowany jest podgrzewany olej. Pary oleju unoszą się do układu dysz. Następnie przepływają przez kilka stopni strumienia par i opuszczają układ pod wysokim ciśnieniem.
Cząstki zawarte w gazie procesowym są wychwytywane przez strumienie par i przenoszone w dół, do wylotu pompy wspomagającej. Pary oleju skraplają się na wewnętrznej powierzchni chłodzonego wodą zespołu pompy i są kierowane z powrotem na dół.
