Powlekanie próżniowe

Powlekanie próżniowe, zwane również nanoszeniem cienkich warstw, to proces, w którym cienkie warstwy materiału są nanoszone pod próżnią na powierzchnię podłoża. Takimi podłożami mogą być metal, drewno, tworzywo sztuczne czy skóra. Powlekanie pomaga chronić przed zużyciem, tarciem, wysoką temperaturą i innymi trudnymi warunkami.

Pompy próżniowe COBRA i R5 w połączeniu ze wspomaganiem próżniowym PUMA/PANDA spełniają wymagania procesów powlekania próżniowego. Dostarczamy zarówno pojedyncze pompy próżniowe, jak i kompletne systemy próżniowe. Przy wyborze odpowiedniego rozwiązania próżniowego do danego procesu należy uwzględnić kilka czynników.

Aby dowiedzieć się, które pompy próżniowe najlepiej odpowiadają Twoim potrzebom, skorzystaj z naszej wyszukiwarki produktów, aby porównać nasze pasujące produkty lub skontaktuj się z naszymi ekspertami firmy Busch.

Produkty do obróbki skrawaniem dla przemysłu metalurgicznego:
porównanie produktów

Produkty do obróbki skrawaniem dla analityki i R&D:
porównanie produktów

Istnieją trzy główne rodzaje powlekania.

Fizyczne osadzanie z fazy gazowej (PVD)

Materiał źródłowy w postaci cieczy lub ciała stałego jest odparowywany wewnątrz komory próżniowej i osadzany na powierzchni podłoża. Podłoże jest starannie ustawiane w odpowiedniej pozycji i obracane, aby zapewnić prawidłowe powlekanie obszarów. W rezultacie powstaje wysokiej jakości powłoka impregnowana, która z czasem nie pęka ani nie odpryskuje. Kuchenki, biżuteria i mikroelektronika to tylko kilka przykładów produktów, które mogą mieć powłokę PVD.

Chemiczne osadzanie z fazy gazowej (CVD)

Procesy CVD wykorzystują źródło pary gazowej. Lotny prekursor jest wprowadzany do komory próżniowej i podgrzewany do określonej temperatury reakcji. Wraz ze wzrostem temperatury gaz prekursorowy reaguje lub rozkłada się w substracie, przylegając bezpośrednio do powierzchni materiału. Powlekanie CVD jest stosowane w przemyśle półprzewodnikowym przez producentów paneli słonecznych do tworzenia ultracienkich powłok odpowiedzialnych za parametry nowoczesnych ogniw słonecznych. Proces powlekania jest często stosowany również na obrabiarkach i obwodach zintegrowanych w urządzeniach takich jak telefony i telewizory.

Osadzanie warstwy atomowej (ALD)

ALD umożliwia precyzyjne i równomierne nakładanie ultracienkich warstw na różne podłoża. Specjalna kombinacja zsynchronizowanych reakcji chemicznych służy do tworzenia błony z dokładnością na poziomie atomowym. W rezultacie powstają powłoki o doskonałej jednorodności i czystości. Jest to jeden z najbardziej kompleksowych rodzajów powlekania. Powłoki ALD są stosowane w różnych zastosowaniach, począwszy od uszczelniania urządzeń chirurgicznych i implantów tlenkiem tytanu po powłoki metalowe dla mechaniki precyzyjnej i części zegarków.

Zarówno PVD, jak i CVD to metody osadzania próżniowego. Główną różnicą między nimi jest to, że materiał powłoki jest ciałem stałym lub cieczą w procesach PVD oraz w formie gazowej w procesach CVD. ALD to specjalna forma CVD, która skupia się na osadzaniu materiałów jedną warstwę atomową po drugiej.

Systemy powlekania próżniowego umożliwiają nanoszenie cienkich warstw pożądanego materiału powłoki na podłoże w środowisku próżniowym. Zapewnia to wysoki stopień czystości i przyczepności powłoki. Próżnia jest stosowana w celu umożliwienia parowania materiałów źródłowych, uniknięcia utleniania i zapewnienia optymalnego środowiska wolnego od jakichkolwiek zanieczyszczeń do osadzania się powłoki. W procesach powlekania chemicznego próżnia jest również wymagana do sterowania reaktywnością.

Komory próżniowe odgrywają w procesach powlekania kluczową rolę. Tworzą optymalne środowisko niskociśnieniowe umożliwiające nanoszenie cienkich warstw i innych powłok na podłoże. Usuwając tlen i azot z komory, można wprowadzać, odparowywać i impregnować materiał powłoki na powierzchni podłoża w sposób kontrolowany. Komory próżniowe zapobiegają również zanieczyszczeniom ze źródeł zewnętrznych, takich jak pył i inne zanieczyszczenia. Zapewnia to wysoką jakość i spójność produktu końcowego.

Wymagany poziom próżni różni się w zależności od materiału źródłowego i jakości warstwy powłoki. Z każdą metodą wiążą się inne wymagania. Aby dowiedzieć się, jaki poziom próżni najlepiej odpowiada Twoim potrzebom, skontaktuj się z ekspertami firmy Busch.

Metody powlekania próżniowego mają kilka zalet, w tym:

Wadą, w zależności od materiału źródłowego, jest potencjalnie niska szybkość osadzania.