罗茨真空泵
技术说明
在 Puma WY 罗茨真空泵腔体内有两
个同步旋转的转子。由于转子采用特
殊设计及精密制造，它们在运行时不
会相互或与腔体接触。这样无需借助
任何工作液即可泵送介质。同步旋转
的两个转子由一对齿轮驱动，其位于
齿轮箱的轴端，与压缩腔室相分离。
与配备水冷密封电机的 COBRA 螺杆
真空泵组合使用，Puma WY 罗茨真
空泵可以使用于半导体行业的众多领
域，诸如：光伏组件、平板显示器、
硅生产以及表面处理。
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