可靠的技术,成熟的设计——缔造最佳解决方案

TORRI BD – 用于 Load Lock 的紧凑、高效解决方案。

Torri BD 是业内尺寸最小、重量最轻并且最高效的干式多级罗茨真空泵之一。因此,该款真空泵是用于抽空 Load Lock 腔体的理想解决方案。

依托其久经验证的工作原理,它们可以实现低极限压力。其最佳的腔体抽真空时间进一步缩短了总平均循环周期。

完全开放的通信协议(Modbus RTU)可以使用标准接口组件轻松适用特定的网络协议。

可选的 LCD 控制器可以轻松监控真空泵的状态。可以显示所有相关参数,如电机温度、电机电流、冷却水流量和泵体温度
 

带给您的优势:

  • 低振动、低噪音
  • 重量轻
  • 小尺寸
  • 干式和非接触式工作原理
  • 使用寿命长
  • 总拥有成本低

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