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TORRI BD 0100–0600 A

风机

用于 Load Lock 的紧凑、高效解决方案。

灵活

对 load lock 腔体实现最短抽真空时间

高效

能耗低,维护工作量少,正常运行时间长

结构紧凑

尺寸小巧、重量轻盈

技术规格
市场和应用
半导体生产
  • 轻型